一种反应烧结碳化硅悬臂桨制造技术

本实用新型专利技术公开了一种反应烧结碳化硅悬臂桨，属于反应烧结碳化硅悬臂桨技术领域，包括固定区、过渡区和承载区，固定区和承载区通过过渡区固定连接，所述悬臂桨成对使用，两个所述悬臂桨相向外侧的过渡区和承载区共面设置，两个所述悬臂桨的相向内侧设有第一倒角，所述第一倒角位于所述过渡区和承载区之间，所述第一倒角使得所述承载区比所述过渡区窄，所述固定区和过渡区的横截面为正方形结构，所述承载区的横截面为长方形结构，所述承载区为内部设有空腔，所述固定区和过渡区的分界位置设有法兰盘。本实用新型专利技术提供一种反应烧结碳化硅悬臂桨，可以提高悬臂桨的承载能力，使悬臂桨不容易断裂，而且加工方便，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种反应烧结碳化硅悬臂桨


[0001]本技术涉及一种反应烧结碳化硅悬臂桨，属于反应烧结碳化硅悬臂桨


技术介绍

[0002]在太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，反应烧结碳化硅悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命。工作时，将多个硅晶圆片放置在悬臂桨上，放到高温炉中进行加热烤制，悬臂桨起到支撑作用。
[0003]公告号为CN211041827U的中国专利公开了一种反应烧结碳化硅悬臂桨，承载区包括底部和与底部连接的第一侧壁和第二侧壁，由于将第一侧壁的第一外侧面和第二侧壁的第二外侧面设置为倾斜面，并通过第一侧壁、第二侧壁和底部围成一梯形凹槽。
[0004]上述悬臂桨作为单桨单独支撑硅晶圆片，其承载能力不超过80kg，承载能力有限，单次烘烤的硅晶圆片重量有限；而且在加工时上述承载区设有多个斜面形成的凹槽，加工不方便。

技术实现思路

[0005]本技术针对
技术介绍
中的不足，提供一种反应烧结碳化硅悬臂桨，可以提高悬臂桨的承载能力，使悬臂桨不容易断裂，而且加工方便，降低成本。
[0006]为解决以上技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种反应烧结碳化硅悬臂桨，包括固定区、过渡区和承载区，固定区和承载区通过过渡区固定连接，所述悬臂桨成对使用，两个所述悬臂桨相向外侧的过渡区和承载区共面设置，两个所述悬臂桨的相向内侧设有第一倒角，所述第一倒角位于所述过渡区和承载区之间，所述第一倒角使得所述承载区比所述过渡区窄。
[0008]进一步地，所述固定区和过渡区的横截面为正方形结构，所述承载区的横截面为长方形结构。
[0009]进一步地，所述承载区为内部设有空腔。
[0010]进一步地，所述固定区和过渡区的分界位置设有法兰盘。
[0011]进一步地，两个所述悬臂桨的相向外侧的下端设有第二倒角。
[0012]进一步地，所述承载区上设置有至少一个长条孔 。
[0013]进一步地，所述长条孔贯穿承载区的内外两侧面。
[0014]本技术采用以上技术方案后，与现有技术相比，具有以下优点：
[0015]1.两个所述悬臂桨通过固定区固定在夹持设备上，硅晶圆片放置到承载区的上表面，硅晶圆片通过两个悬臂桨的承载区支撑，使得悬臂桨的承载能力更强，使得在炉内单次
烘烤的硅晶圆片的数量更多，烘烤的效率更高。
[0016]2.所述悬臂梁的横截面为规则的正方形或长方形结构，结构比较简单，便于加工，使得加工成本更低。
[0017]下面结合附图和实施例对本技术进行详细说明。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体图；
[0019]图2是本技术的正视图；
[0020]图3是本技术的俯视图；
[0021]图4图2中沿A
‑
A的剖视图；
[0022]图5是本技术承载硅晶圆片的示意图。
[0023]图中，1
‑
固定区，2
‑
承载区，3
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过渡区，4
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第一倒角，5
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法兰盘，6
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长条孔，7
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第二倒角，8
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空腔，9
‑
硅晶圆片。
具体实施方式
[0024]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本技术的具体实施方式。
[0025]如图1
‑
图5所示，本技术提供一种反应烧结碳化硅悬臂桨，包括固定区1、过渡区3和承载区2，固定区1和承载区2通过过渡区3固定连接，所述悬臂桨成对使用，所述固定区1和过渡区3的横截面为正方形结构，所述承载区2的横截面为长方形结构，两个所述悬臂桨的相向外侧的过渡区3和承载区2共面设置，两个所述悬臂桨的相向内侧设有第一倒角4，所述第一倒角4位于所述过渡区3和承载区2之间，所述第一倒角4使得所述承载区2比所述过渡区3窄。
[0026]两个所述悬臂桨通过固定区1固定在夹持设备上，硅晶圆片9放置到承载区3的上表面，硅晶圆片9通过两个悬臂桨的承载区3支撑，使得悬臂桨的承载能力更强，承载能力可以超过160kg，使得在炉内单次烘烤的硅晶圆片的数量更多，烘烤的效率更高。
[0027]两个所述悬臂桨的相向内侧设有第一倒角4，使得所述承载区2比所述过渡区3窄，夹持端在固定区1，受力端在承载区3，根据受力分析，在固定区1和过渡区3承受的应力更大，悬臂桨断裂往往也是发生在固定区1或承载区2，因而承载区2可以设计的相对窄一些，这样以来，一方面可以减轻承载区2自身的重量，另一方面可以减少承载区2和硅晶圆片9接触面积，从而避免承载区2阻挡热量。
[0028]所述悬臂桨的横截面为规则的正方形或长方形结构，结构比较简单，便于加工，使得加工成本更低。
[0029]在一些实施例当中，所述承载区2为内部设有空腔8，这样可以进一步减轻悬臂桨的重量，且减少了材料使用。
[0030]在一些实施例当中，固定区1和过渡区2的分界位置设有法兰盘5；烘烤时，悬臂桨伸入炉内，固定区1固定在夹持设备上，在炉门的外侧，过渡区3和承载区2放置于炉内进行烘烤，这样以来，炉门和悬臂桨形成空隙，所述空隙一方面使炉内的热量外溢，另一方面，外部的灰尘和杂质会进入炉内，对硅晶圆片9造成污染，悬臂桨上设有法兰盘5，将炉门和悬臂
桨之间的间隙挡住，从而避免了以上两个缺陷。
[0031]在一些实施例当中，在两个所述悬臂桨的相向外侧的下端设有第二倒角7，悬臂桨伸入圆形的炉腔内，悬臂桨外侧的下端很容易碰到炉腔内壁，第二倒角7可以避免悬臂桨碰到炉腔内壁。
[0032]在一些实施例当中，承载区2上设置有至少一个长条孔6，长条孔6贯穿承载区2的内外两侧面，这种结构不影响悬臂梁的承载能力，使得气流的流通更加顺畅，从而使得烤火温度更加均匀。
[0033]以上所述为本技术最佳实施方式的举例，其中未详细述及的部分均为本领域普通技术人员的公知常识。本技术的保护范围以权利要求的内容为准，任何基于本技术的技术启示而进行的等效变换，也在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于：包括固定区(1)、过渡区(3)和承载区(2)，固定区(1)和承载区(2)通过过渡区(3)固定连接，所述悬臂桨成对使用，两个所述悬臂桨相向外侧的过渡区(3)和承载区(2)共面设置，两个所述悬臂桨的相向内侧设有第一倒角(4)，所述第一倒角(4)位于所述过渡区(3)和承载区(2)之间，所述第一倒角(4)使得所述承载区(2)比所述过渡区(3)窄。2.如权利要求1所述的一种反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于：所述固定区(1)和过渡区(3)的横截面为正方形结构，所述承载区(2)的横截面为长方形结构。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋炳善，齐小君，
申请(专利权)人：潍坊盛润特种陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：