一种反应烧结碳化硅悬臂桨制造技术

本实用新型专利技术提供了一种反应烧结碳化硅悬臂桨，包括固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁包括第一外侧面，所述第二侧壁包括第二外侧面，所述第一外侧面和所述第二外侧面为倾斜面，所述第一侧壁、所述第二侧壁和所述底部围成一梯形凹槽。本实用新型专利技术提供的反应烧结碳化硅悬臂桨，用于解决现有的悬臂桨承载力不强，使用过程中容易断裂的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种反应烧结碳化硅悬臂桨
本技术涉及反应烧结碳化硅悬臂桨
，特别涉及一种反应烧结碳化硅悬臂桨。
技术介绍
在太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，可以保证晶圆与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀。特别是反应烧结碳化硅质悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命。然而现有的反应烧结碳化硅悬臂桨也存在一些问题：承载力不强，在使用过程中容易导致断裂。
技术实现思路
本技术提供一种反应烧结碳化硅悬臂桨，用于解决现有的悬臂桨承载力不强，使用过程中容易断裂的技术问题。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为：本技术实施例提供了一种反应烧结碳化硅悬臂桨，包括：固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁包括第一外侧面，所述第二侧壁包括第二外侧面，所述第一外侧面和所述第二外侧面为倾斜面，所述第一侧壁、所述第二侧壁和所述底部围成一梯形凹槽。优选地，所述第一侧壁还包括与所述第一外侧面连接的第一倾斜面，所述第二侧壁还包括与所述第二外侧面连接的第二倾斜面，所述第一外侧面和所述第一倾斜面之间的夹角为钝角，所述第二外侧面和所述第二倾斜面之间的夹角为钝角。优选地，所述第一侧壁还包括与所述第一倾斜面连接的第一顶面，所述第二侧壁还包括与所述第二倾斜面连接的第二顶面，所述第一倾斜面与所述第一顶面之间的夹角为钝角，所述第二倾斜面与所述第二顶面之间的夹角为钝角。优选地，所述第一侧壁还包括与所述第一顶面连接的第一内侧面，所述第二侧壁还包括与所述第二顶面连接的第二内侧面，所述第一顶面与所述第一内侧面之间的夹角为钝角，所述第二顶面与所述第二内侧面之间的夹角为钝角，所述第一内侧面、所述第二内侧面和所述底部围成所述梯形凹槽。优选地，在所述底部上设有长条孔，所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有若干通孔。优选地，所述第一侧壁和所述第二侧壁上设置的若干通孔对称设置。优选地，所述通孔为圆形孔。优选地，所述悬臂桨为中空结构。优选地，所述长条孔从所述承载区的一端延伸到另一端设置。优选地，若干所述通孔从所述第一侧壁和所述第二侧壁的一端延伸到另一端排布。采用上述技术方案，包括固定区、过渡区和承载区，承载区包括底部和与底部连接的第一侧壁和第二侧壁，由于将第一侧壁的第一外侧面和第二侧壁的第二外侧面设置为倾斜面，并通过第一侧壁、第二侧壁和底部围成一梯形凹槽，这样使得承载区的承载力更强，悬臂桨的承载力更强，在使用过程中更不容易断。附图说明图1为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅悬臂桨的部分结构示意图；图2为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅悬臂桨的立体图；图3为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅悬臂桨的俯视图；图4为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅悬臂桨的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。其中，在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“/”表示或的意思，例如，A/B可以表示A或B；本文中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，在本申请实施例的描述中，“多个”是指两个或多于两个。以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。本技术实施例提供了一种反应烧结碳化硅悬臂桨，如图1-图4所示，包括：固定区01、过渡区02和承载区03，固定区01通过过渡区02与承载区03连接在一起，承载区03包括底部31和与底部31连接的第一侧壁32和第二侧壁33，第一侧壁32包括第一外侧面321，第二侧壁33包括第二外侧面331，第一外侧面321和第二外侧面331为倾斜面，第一侧壁32、第二侧壁33和底部31围成一梯形凹槽。采用上述技术方案，包括固定区、过渡区和承载区，承载区包括底部和与底部连接的第一侧壁和第二侧壁，由于将第一侧壁的第一外侧面和第二侧壁的第二外侧面设置为倾斜面，并通过第一侧壁、第二侧壁和底部围成一梯形凹槽，这样使得承载区的承载力更强，悬臂桨的承载力更强，在使用过程中更不容易断。并且，这样可以更加方便地将产品置入承载区，进行良好地定位。作为一种优选的实施方式，第一侧壁32还包括与第一外侧面321连接的第一倾斜面322，第二侧壁33还包括与第二外侧面331连接的第二倾斜面332，第一外侧面321和第一倾斜面322之间的夹角为钝角，第二外侧面331和第二倾斜面332之间的夹角为钝角。作为一种优选的实施方式，第一侧壁32还包括与第一倾斜面322连接的第一顶面323，第二侧壁33还包括与第二倾斜面332连接的第二顶面333，第一倾斜面322与第一顶面323之间的夹角为钝角，第二倾斜面332与第二顶面333之间的夹角为钝角。作为一种优选的实施方式，第一侧壁32还包括与第一顶面323连接的第一内侧面324，第二侧壁33还包括与第二顶面333连接的第二内侧面334，第一顶面323与第一内侧面324之间的夹角为钝角，第二顶面333与第二内侧面334之间的夹角为钝角，第一内侧面324、第二内侧面334和底部31围成该梯形凹槽。第一侧壁和第二侧壁采用这样的结构设计，可以使得承载区的承载力更强，在用该悬臂桨进行烧制过程中，不容易断。优选地，在底部31上设有长条孔311，第一侧壁32和第二侧壁33上均设有若干通孔34。通过在承载区底部上设有长条孔，第一侧壁和第二侧壁上均设有若干通孔，使得在炉火烤制过程中，气流的流通更加顺畅，升温快，且温度均匀，温差小，节能，并且烧结的产品尺寸变化小，既提高了产品的烧结效率，又提高产品的合格率。该反应烧结碳化硅悬臂桨不仅可以通过石英舟或碳化硅陶瓷舟载着硅晶圆片移入和移出加热炉，还可以直接将承载硅晶圆片的石英舟或碳化硅陶瓷舟放在加热炉上进行加热，进而更加节能高效。其中，固定区、过渡区和承载区可以为一体结构，一体成型。作为一种优选的实施方式，第一侧壁32和第二侧壁33上设置的若干通孔34对称设置。即第一侧壁上设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于，包括：/n固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁包括第一外侧面，所述第二侧壁包括第二外侧面，所述第一外侧面和所述第二外侧面为倾斜面，所述第一侧壁、所述第二侧壁和所述底部围成一梯形凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于，包括：
固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁包括第一外侧面，所述第二侧壁包括第二外侧面，所述第一外侧面和所述第二外侧面为倾斜面，所述第一侧壁、所述第二侧壁和所述底部围成一梯形凹槽。


2.根据权利要求1所述的反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于，所述第一侧壁还包括与所述第一外侧面连接的第一倾斜面，所述第二侧壁还包括与所述第二外侧面连接的第二倾斜面，所述第一外侧面和所述第一倾斜面之间的夹角为钝角，所述第二外侧面和所述第二倾斜面之间的夹角为钝角。


3.根据权利要求2所述的反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于，所述第一侧壁还包括与所述第一倾斜面连接的第一顶面，所述第二侧壁还包括与所述第二倾斜面连接的第二顶面，所述第一倾斜面与所述第一顶面之间的夹角为钝角，所述第二倾斜面与所述第二顶面之间的夹角为钝角。


4.根据权利要求3所述的反应烧结碳化硅悬臂桨，其特征在于，所述第一侧壁还包括与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐小君，
申请(专利权)人：潍坊盛润特种陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37