一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨制造技术

本实用新型专利技术提供了一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，包括：固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，在所述底部上设有长条孔，所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有若干通孔。本实用新型专利技术提供的反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，可以使得气流更加流畅，温度更加均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨
本技术涉及反应烧结碳化硅悬臂桨
，特别涉及一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨。
技术介绍
在太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，可以保证晶圆与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀。特别是反应烧结碳化硅质悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命。然而现有的反应烧结碳化硅悬臂桨也存在一些问题：比如在烤炉火过程中，会对炉火产生的气流进行阻碍，使得气流不够流畅，从而导致烤火温度不够均匀。
技术实现思路
本技术提供一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，可以使得气流更加流畅，温度更加均匀。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为：本技术实施例提供了一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，包括：固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，在所述底部上设有长条孔，所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有若干通孔。优选地，所述第一侧壁和所述第二侧壁上设置的若干通孔对称设置。优选地，所述通孔为圆形孔。优选地，所述承载区为铲子状。优选地，所述第一侧壁连接有第一过渡部，所述第二侧壁连接有第二过渡部，所述第一过渡部与所述底部连接，所述第二过渡部与所述底部连接，所述第一过渡部、所述第二过渡部和所述底部围成一梯形凹槽，在所述第一侧壁和所述第二侧壁上设置的若干所述通孔分别贯穿所述第一过渡部和所述第二过渡部。优选地，所述悬臂桨为中空结构。优选地，所述过渡区包括第一底部和与所述第一底部连接的第三侧壁和第四侧壁，所述第三侧壁和所述第四侧壁分别与所述第一侧壁和所述第二侧壁连接，所述第三侧壁和所述第四侧壁的宽度沿靠近所述承载区的方向逐渐减小。优选地，所述长条孔为跑道型通孔。优选地，所述长条孔从所述承载区的一端延伸到另一端设置。优选地，若干所述通孔从所述第一侧壁和所述第二侧壁的一端延伸到另一端排布。采用上述技术方案，由于包括固定区、过渡区和承载区，且在承载区底部上设有长条孔，第一侧壁和第二侧壁上均设有若干通孔，这样使得在炉火烤制过程中，气流的流通更加顺畅，升温快，且温度均匀，温差小，节能，并且烧结的产品尺寸变化小，既提高了产品的烧结效率，又提高产品的合格率。附图说明图1为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨的结构示意图；图2为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨的俯视图；图3为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨的另一结构示意图；图4为本技术实施例所提供的一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨的部分结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。其中，在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“/”表示或的意思，例如，A/B可以表示A或B；本文中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，在本申请实施例的描述中，“多个”是指两个或多于两个。以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。本技术实施例提供了一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，如图1-图4所示，包括：固定区01、过渡区02和承载区03，固定区01通过过渡区02与承载区03连接在一起，承载区03包括底部31和与底部31连接的第一侧壁32和第二侧壁33，在底部31上设有长条孔311，第一侧壁32和第二侧壁33上均设有若干通孔34。采用上述技术方案，由于包括固定区、过渡区和承载区，且在承载区底部上设有长条孔，第一侧壁和第二侧壁上均设有若干通孔，这样使得在炉火烤制过程中，气流的流通更加顺畅，升温快，且温度均匀，温差小，节能，并且烧结的产品尺寸变化小，既提高了产品的烧结效率，又提高产品的合格率。该反应烧结碳化硅多孔悬臂桨不仅可以通过石英舟或碳化硅陶瓷舟载着硅晶圆片移入和移出加热炉，还可以直接将承载硅晶圆片的石英舟或碳化硅陶瓷舟放在加热炉上进行加热，进而更加节能高效。其中，固定区、过渡区和承载区可以为一体结构，一体成型。作为一种优选的实施方式，第一侧壁32和第二侧壁33上设置的若干通孔34对称设置。即第一侧壁上设置的每个通孔和第二侧壁上设置的每个通孔位置对应设置，这样可以使得气流的流通更加顺畅。作为一种优选的实施方式，通孔34为圆形孔。设置圆孔不影响悬臂桨的承载力，使得两个侧壁不容易断。需要说明的是：长条孔的长度可以根据实际需求而定，本申请对此并不进行具体限定。若干通孔的设置长度也可以根据实际需求而定，两个通孔之间的间距也可以根据实际情况而定，本申请对此并不进行具体限定。其中，第一侧壁上的通孔数量和第二侧壁上的通孔数量可以相同，也可以不同，形状可以相同也可以不同。优选地，承载区03为铲子状。这样方便更好地承载产品。具体地，第一侧壁32连接有第一过渡部35，第二侧壁33连接有第二过渡部36，第一过渡部35与底部31连接，第二过渡部36与底部31连接，第一过渡部35、第二过渡部36和底部31围成一梯形凹槽。这样可以更加方便地将产品置入承载区，进行良好地定位，并且增加承载区的承载力，使其在使用过程中不容易断。其中，在第一侧壁32和第二侧壁33上分别设置的若干通孔分别贯穿第一过渡部35和第二过渡部36。这样使得烤火过程中，气流可以通畅地流通。其中，第一过渡部和第二过渡部分别包括相互连接的第一平面、第二平面和第三平面，第一平面分别和第一侧壁、第二侧壁连接，第三平面和底部连接。作为一种优选的实施方式，第一过渡部和第二过渡部为梯形结构。这样可以使得该反应烧结碳化硅多孔悬臂桨的承载力更大，且不容易断。优选地，悬臂桨为中空结构。这样可以减轻悬臂桨的重量、减少材料的使用，节省成本。作为一种优选的实施方式，过渡区02包括第一底部21和与第一底部21连接的第三侧壁22和第四侧壁23，第三侧壁22和第四侧壁23分别与第一侧壁32和第二侧壁33连接，第三侧壁22和第四侧壁23的宽度沿靠近承载区03的方向逐渐减小。其中，第一底部21和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，其特征在于，包括：/n固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，在所述底部上设有长条孔，所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有若干通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，其特征在于，包括：
固定区、过渡区和承载区，所述固定区通过所述过渡区与所述承载区连接在一起，所述承载区包括底部和与所述底部连接的第一侧壁和第二侧壁，在所述底部上设有长条孔，所述第一侧壁和所述第二侧壁上均设有若干通孔。


2.根据权利要求1所述的反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，其特征在于，所述第一侧壁和所述第二侧壁上设置的若干通孔对称设置。


3.根据权利要求1所述的反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，其特征在于，所述通孔为圆形孔。


4.根据权利要求1所述的反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，其特征在于，所述承载区为铲子状。


5.根据权利要求1所述的反应烧结碳化硅多孔悬臂桨，其特征在于，所述第一侧壁连接有第一过渡部，所述第二侧壁连接有第二过渡部，所述第一过渡部与所述底部连接，所述第二过渡部与所述底部连接，所述第一过渡部、所述第二过渡部和所述底部围成一梯形凹槽，在所述第一侧壁和所述第二侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐小君，
申请(专利权)人：潍坊盛润特种陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37