一种真空镀膜机腔体冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体，箱体内设有真空镀膜机腔体，箱体内壁底部设有底部冷却装置，箱体内壁顶部设有水流冷却装置以及气流冷却装置；底部冷却装置包括对称设于箱体内壁底部的多个支撑柱，设于多个支撑柱顶部的圆弧形支撑块，设于圆弧形支撑块顶部的圆弧形安装板，嵌设于圆弧形支撑块顶部的滑动部件，嵌设于圆弧形安装板顶部的降温部件，以及设于箱体内壁底部的储水箱；水流冷却装置包括水盒、喷水部件以及引流部件；气流冷却装置包括对称设于箱体内壁顶部的连接柱，以及设于连接柱底部的气流冷却部件。本发明专利技术是一种便于多种冷却方式共同进行冷却，便于提高冷却效率的真空镀膜机腔体冷却装置。提高冷却效率的真空镀膜机腔体冷却装置。提高冷却效率的真空镀膜机腔体冷却装置。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机腔体冷却装置


[0001]本专利技术主要涉及真空镀膜机的
，具体为一种真空镀膜机腔体冷却装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机在操作过程中会产生大量热量，当腔体温度较高时，容易导致真空镀膜机的零部件的损坏，因此需要通过冷却装置对热量进行吸收，降低工作环境的热度，保障机器正常运行现有的冷却装置在使用时,冷却方式较为单一，不便对真空镀膜机进行快速冷却，需要冷却的时间较长，对真空镀膜机的冷却效率不佳。
[0003]根据申请号为CN201820766848.9的专利文献所提供的一种真空镀膜机腔体冷却装置可知，该装置包括真空镀膜机、镀膜机闭合门、底座和冷却腔，真空镀膜机的侧壁均匀向内安装有冷却筒，冷却筒内设置有空腔与冷却腔连通，真空镀膜机的侧壁固定设置有两组滑动槽，滑动槽内活动连接有隔热板，隔热板的顶部固定设置有拉动环，冷却腔的底壁设置有两组滑动限位板，两组滑动限位板之间活动配合有滑动支撑座，本技术通过外部带动拉动环，带动隔热板上升，冷却液在冷却棒内吸收内腔传递到冷却筒内腔上的热量，通过冷却筒和冷却棒石墨烯材料的设置，增加导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体（10），其特征在于,所述箱体（10）一侧设有闭合门（101），所述箱体（10）内设有真空镀膜机腔体（11），所述箱体（10）内壁底部且位于所述真空镀膜机腔体（11）下方设有底部冷却装置（20），所述箱体（10）内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体（11）上方设有水流冷却装置（30），所述箱体（10）内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体（11）侧壁对称设有气流冷却装置（40）；所述底部冷却装置（20）包括对称设于所述箱体（10）内壁底部的多个支撑柱（21），设于多个所述支撑柱（21）顶部的圆弧形支撑块（22），设于所述圆弧形支撑块（22）顶部的圆弧形安装板（23），嵌设于所述圆弧形支撑块（22）顶部且用于带动所述圆弧形安装板（23）滑动的滑动部件（24），嵌设于所述圆弧形安装板（23）顶部的降温部件（25），以及设于所述箱体（10）内壁底部且位于多个所述支撑柱（21）之间的储水箱（26）；所述水流冷却装置（30）包括设于所述箱体（10）内壁顶部的水盒（31），设于所述水盒（31）底部的喷水部件（32），以及设于所述水盒（31）底部且位于所述喷水部件（32）下方的引流部件（33）；所述气流冷却装置（40）包括对称设于箱体（10）内壁顶部的连接柱（41），以及设于所述连接柱（41）底部的气流冷却部件（42）。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述滑动部件（24）包括嵌设于所述圆弧形支撑块（22）顶部的滑槽（241），设于所述圆弧形支撑块（22）侧壁的转动电机（242），一端转动连接所述滑槽（241）一侧侧壁、另一端贯穿所述圆弧形支撑块（22）侧壁连接所述转动电机（242）执行端的螺纹杆（243），以及套设于所述螺纹杆（243）外壁的滑块（244）。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述降温部件（25）包括嵌设于所述圆弧形安装板（23）顶部的多个半导体制冷片（251）。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述喷水部件（32）包括穿设于所述水盒（31）底部的喷水管（321），以及设于所述喷水管（321）靠近所述水盒（31）一端内壁的阀门（322）。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述引流部件（...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩大凯，谈琦，陈冬，
申请(专利权)人：青岛久越新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：