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本发明公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体，箱体内设有真空镀膜机腔体，箱体内壁底部设有底部冷却装置，箱体内壁顶部设有水流冷却装置以及气流冷却装置；底部冷却装置包括对称设于箱体内壁底部的多个支撑柱，设于多个支撑柱顶部的圆弧形支撑块，设于...
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