一种真空用双向密封水路接头制造技术

本发明专利技术提供了一种真空用双向密封水路接头，包括流入接头，通过螺母连接于所述流入接头一侧的流出接头，所述流入接头远离所述流出接头一侧连接有流入侧接管，所述流出接头远离所述流入接头一侧连接有流出侧接管；所述流入接头的进水端连接有第一密封圈，所述流入接头的内部设有与所述第一密封圈相连接的流入侧单向机构；所述流出接头的出水端连接有流出侧水环，所述流出侧水环的壳体上滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的一端外表面连接有第一流出侧封堵盘，所述滑动杆的另一端贯穿所述流出侧水环连接有第二流出侧封堵盘。本发明专利技术密封住水路接头两侧的水，防止管道中的水流入真空室内，造成下个工作循环抽真空困难的问题。造成下个工作循环抽真空困难的问题。造成下个工作循环抽真空困难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空用双向密封水路接头


[0001]本专利技术主要涉及真空蒸发镀膜的
，具体涉及一种真空用双向密封水路接头。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是在真空条件下利用蒸发、溅射或电弧等方式将镀膜材料沉积到工件表面的装置。
[0003]根据申请号为CN202121793547.3的专利文献所提供的一种真空镀膜用双水路接头部件可知，该接头部件采用在密封法兰上独特的进出水孔位置以及水头部进水孔、水头部出水孔位置与水头部进水孔的开口端、水头部出水孔的开口端呈夹角的设计特点，巧妙的解决了两只大流量水头与一只密封法兰之间的连接，在使用中其水气密封非常可靠，在大量使用时节约成本非常可观。该专利技术适用于真空镀膜用双水路接头部件，解决现有真空镀膜中电子枪大流量、离子源的大流量的冷却水回路只能采用两个独立的法兰水件来完成，造成安装成本增加、安装不方便的问题。
[0004]传统的密封接头由于的限制，在接头组件处不能采用常见的阀门开关形式，通常的做法是要先清空工件架管道内的残余水量，然后才能断开水路接头组件，如果不进行上述操作，大量管道中的残留水流到真空室内，直接影响下个工作周期的抽空时间。

技术实现思路

[0005]本专利技术主要提供了一种真空用双向密封水路接头用以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0006]本专利技术解决上述技术问题采用的技术方案为：一种真空用双向密封水路接头，包括流入接头，通过螺母连接于所述流入接头一侧的流出接头，所述流入接头远离所述流出接头一侧连接有流入侧接管，所述流出接头远离所述流入接头一侧连接有流出侧接管；所述流入接头的进水端连接有第一密封圈，所述流入接头的内部设有与所述第一密封圈相连接的流入侧单向机构；所述流出接头的出水端连接有流出侧水环，所述流出侧水环的壳体上滑动连接有滑动杆，所述滑动杆的一端外表面连接有第一流出侧封堵盘，所述第一流出侧封堵盘与所述流出侧水环之间设有套设于所述滑动杆外部的第一弹簧，所述滑动杆的另一端贯穿所述流出侧水环连接有第二流出侧封堵盘。
[0007]进一步的，所述流入侧单向机构包括设于所述流入接头靠近所述第一密封圈一侧的第一安装槽，设于所述第一安装槽的槽体内、且穿插于所述第一密封圈内部的流入侧封堵件，与所述流入侧封堵件相连接的导向杆，以及安装于所述导向杆远离所述流入侧封堵件一侧外表面的流入侧水环，所述流入侧水环与所述流入侧封堵件之间设有套设于所述导向杆外部的第二第二弹簧，在本专利技术中，通过流入侧封堵件的阻挡，从而防止水流回流，防
止泵及驱动电机反转，保持水路中机械功能正常发挥。
[0008]进一步的，所述流入侧封堵件包括安装于所述第一安装槽内部、且套设于所述导向杆外部的支撑环，设于所述支撑环靠近所述流入侧水环一侧的凹槽，以及设于所述凹槽的槽体内、且与所述导向杆的外表面滑动连接的流入侧封堵盘，所述流入侧封堵盘的一侧表面与所述第二第二弹簧相抵接，在本专利技术中，通过水流推动流入侧封堵盘，以使流入侧封堵盘沿导向杆在流入侧水环上的凹槽槽体内反向滑动，从而利用流入侧封堵盘的滑动封堵其与流入侧水环之间所产生的间隙。
[0009]进一步的，所述流入接头与流入侧接管之间通过第一锁紧装置相连接，所述第一锁紧装置包括通过螺纹啮合连接于所述流入接头外表面的螺套，设于所述螺套的内部、且连接于所述流入侧接管外表面的凸环，以及安装于所述螺套的一侧表面、且与所述凸环相抵接的终止环，在本专利技术中，通过第一安装槽容纳，第一安装槽位于流入接头进水端，从而将第一密封圈和流入侧封堵件锁紧在第一安装槽内，减小第一密封圈和流入侧封堵件之间的间隙，提高水路接头的密封性。
[0010]进一步的，所述流出接头与流出侧接管之间通过第二锁紧装置相连接，所述第二锁紧装置与所述第一锁紧装置的结构相同，在本专利技术中，通过与第一锁紧装置结构相同的第二锁紧装置，将流出侧水环锁紧在流出接头内。
[0011]进一步的，所述流出接头靠近所述流入接头的一侧表面以及所述流入接头靠近所述流出接头的一端外表面均嵌入有第二密封圈，在本专利技术中，通过流出接头与流出接头之间通过第二密封圈减小间隙，提高水路接头的密封性。
[0012]进一步的，所述流入侧水环的内环表面安装有多个引流叶片，多个所述引流叶片环绕所述导向杆阵列设置，在本专利技术中，经过流入侧水环的水流通过呈圆形阵列设置的引流叶片的引导，从而引导水流在流入接头内进行均流流动。
[0013]进一步的，所述流出侧水环的壳体上设有多个供水流通过的通孔。
[0014]进一步的，所述第二流出侧封堵盘靠近所述流出侧水环的一侧表面安装有多个导流叶片，所述导流叶片与所述通孔相插接，在本专利技术中，通过流出侧水环的水流通过第二流出侧封堵盘上的导流叶片的引导在流出接头内进行均流流动。
[0015]进一步的，所述流出侧水环的外表面套设有第三密封圈，所述第三密封圈安装于所述流出接头的内部，在本专利技术中，通过第三密封圈的设置，减小第三密封圈与流出侧水环之间的间隙，提高水路接头的密封性。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：其一，本专利技术密封住水路接头两侧的水，防止管道中的水流入真空室内，造成下个工作循环抽真空困难的问题，具体为：通过流入接头和流出接头内部的液体配合第二第二弹簧推动流入侧封堵盘，利用流入侧封堵盘的滑动封堵其与流入侧水环之间所产生的间隙，防止液体流出，于此同时，通过第一弹簧推动第一流出侧封堵盘，利用第二流出侧封堵盘封堵流出侧水环的开口，通过在流入接头和流出接头相互远离的一端设置密封，以密封住水路接头两侧的水，防止管道中的水流入真空室内，造成下个工作循环抽真空困难的问题。
[0017]其二，本专利技术经过流入侧水环的水流通过呈圆形阵列设置的引流叶片的引导，从而引导水流在流入接头内进行均流流动，通过流出侧水环的水流通过第二流出侧封堵盘上
的导流叶片的引导在流出接头内进行均流流动。
[0018]以下将结合附图与具体的实施例对本专利技术进行详细的解释说明。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的结构示意图；图2为图1中A区结构放大图；图3为本专利技术的分解图；图4为本专利技术流入侧接管的剖视图；图5为本专利技术流入侧封堵件的结构示意图；图6为本专利技术第二流出侧封堵盘的结构示意图；图7为本专利技术流出接头的结构示意图；图8为本专利技术的右视图。
[0020]图中：10、流入接头；11、第一密封圈；12、流入侧单向机构；121、第一安装槽；122、流入侧封堵件；1221、支撑环；1222、凹槽；1223、流入侧封堵盘；123、导向杆；124、流入侧水环；125、第二弹簧；126、引流叶片；20、流出接头；21、流出侧水环；211、通孔；212、第三密封圈；22、滑动杆；23、第一流出侧封堵盘；24、第二流出侧封堵盘；241、导流叶片；25、第一弹簧；30、流入侧接管；40、流出侧接管；50、第一锁紧装置；51、螺套；52、凸环；53、终止环；60、第二锁紧装置。
具体实施方式
[0021]为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空用双向密封水路接头，其特征在于，包括流入接头（10），通过螺母连接于所述流入接头（10）一侧的流出接头（20），所述流入接头（10）远离所述流出接头（20）一侧连接有流入侧接管（30），所述流出接头（20）远离所述流入接头（10）一侧连接有流出侧接管（40）；所述流入接头（10）的进水端连接有第一密封圈（11），所述流入接头（10）的内部设有与所述第一密封圈（11）相连接的流入侧单向机构（12）；所述流出接头（20）的出水端连接有流出侧水环（21），所述流出侧水环（21）的壳体上滑动连接有滑动杆（22），所述滑动杆（22）的一端外表面连接有第一流出侧封堵盘（23），所述第一流出侧封堵盘（23）与所述流出侧水环（21）之间设有套设于所述滑动杆（22）外部的第一弹簧（25），所述滑动杆（22）的另一端贯穿所述流出侧水环（21）连接有第二流出侧封堵盘（24）。2.根据权利要求1所述的一种真空用双向密封水路接头，其特征在于，所述流入侧单向机构（12）包括设于所述流入接头（10）靠近所述第一密封圈（11）一侧的第一安装槽（121），设于所述第一安装槽（121）的槽体内、且穿插于所述第一密封圈（11）内部的流入侧封堵件（122），与所述流入侧封堵件（122）相连接的导向杆（123），以及安装于所述导向杆（123）远离所述流入侧封堵件（122）一侧外表面的流入侧水环（124），所述流入侧水环（124）与所述流入侧封堵件（122）之间设有套设于所述导向杆（123）外部的第二弹簧（125）。3.根据权利要求2所述的一种真空用双向密封水路接头，其特征在于，所述流入侧封堵件（122）包括安装于所述第一安装槽（121）内部、且套设于所述导向杆（123）外部的支撑环（1221），设于所述支撑环（1221）靠近所述流入侧水环（124）一侧的凹槽（1222），以及设于所述凹槽（1222）的槽体内、且与所述导向杆（123）的外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩大凯，王治安，陈冬，
申请(专利权)人：青岛久越新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：