一种用于真空镀膜的自动冷却系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种用于真空镀膜的自动冷却系统，包括冷却装置、排液装置、储气装置、集液装置与控制装置；所述排液装置分别通过第一管路与第二管路循环连接所述冷却装置，用于冷却液循环，所述储气装置通过进气管道接入所述第一管路，所述集液装置通过出气管道接入所述第二管路，用于吹气排液；所述控制装置用于切换所述冷却装置进行冷却液循环或吹气排液，所述集液装置还通过泄压管路连接所述冷却装置。本实用新型专利技术集成了冷却液循环、排液以及泄压功能，缩短加热器的维护时间，并且不会对加热器造成损坏。对加热器造成损坏。对加热器造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的自动冷却系统


[0001]本技术属于真空薄膜制备
，涉及一种用于真空镀膜的自动冷却系统。

技术介绍

[0002]膜腔加热器作为镀膜设备必备的单元之一，当镀膜达到一定炉数之后，需要对膜腔加热器进行维护保养作业。然而，加热器长时间稳定运行在高温工况下(约400℃)，且加热器本身具有保温护板等元件，使得加热器在停机后冷却过程缓慢，需要占用很多时间降温冷却，延长了生产过程，提高生产成本。此外，由于加热器长时间在高温下运行，若持续对加热器进行冷却处理，无疑会增加加热器的恒温功耗，若维护保养作业前对加热器进行单独冷却处理，则作业后的残液也会对加热器材料产生影响，造成损坏。
[0003]因此，需要开发出一种适用于膜腔加热器的冷却系统，缩短冷却时间，且能够实时自动化调用。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种用于真空镀膜的自动冷却系统，集成冷却液循环、排液以及泄压功能，可以吹除管路中的残余液，冷却液循环实现定时冷却，泄压管路则用于保护管路避免超压，提高了冷却系统的安全性能，缩短热源的维护时间，并且长期使用也不会对热源造成损坏。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]本技术提供了一种用于真空镀膜的自动冷却系统，所述用于真空镀膜的自动冷却系统包括冷却装置、排液装置、储气装置、集液装置与控制装置；
[0007]所述排液装置分别通过第一管路与第二管路循环连接所述冷却装置，用于冷却液循环，所述储气装置通过进气管道接入所述第一管路，所述集液装置通过出气管道接入所述第二管路，用于吹气排液；
[0008]所述控制装置用于切换所述冷却装置进行冷却液循环或吹气排液，所述集液装置还通过泄压管路连接所述冷却装置。
[0009]本技术中所述排液装置分别通过第一管路与第二管路循环连接所述冷却装置，所述排液装置内冷却液依次经过第一管路、冷却装置与第二管路后回流至所述排液装置内实现冷却液循环。所述储气装置通过进气管道接入所述第一管路，所述集液装置通过出气管道接入所述第二管路，所述储气装置内气源依次经过进气管道、第一管路、冷却装置、第二管路与出气管道后进入所述集液装置内实现吹气排液。
[0010]本技术提供的一种用于真空镀膜的自动冷却系统中，冷却装置分别通过第一管路与第二管路循环连接排液装置，进行冷却液循环，实现定时冷却；储气装置内气源将进气管道、第一管路、冷却装置、第二管路与出气管道内的残留液吹入集液装置内，实现吹气排液，避免因热源温度过高将管内冷却液加热沸腾，从而产生大量气体引起管路的压力升
高；泄压管路则用于保护管路，当管路压力过高时，进行自动泄压并排放至集液装置内，提高系统安全性能；控制装置的设置能够自动切换冷却循环与吹气排液，实现自动化，提高生产效率。
[0011]本技术集成了冷却、排液和保压功能，适用范围广泛，对于需要冷却降温的场合都可以进行借鉴转化，只需要对管路口径及接口等进行适配改造，使之满足使用环境，即可达到相应的冷却排液功能，尤其适用于真空薄膜制备工艺中加热器的冷却。
[0012]需要说明的是，本技术对于储气装置内的气源不作具体要求或特殊限定，可以为任何能够实现吹除管路内残余液的气体，示例性地，可以为氮气，当然可以理解的是能够实现吹除管路内残余液的其他气体同样落入本技术的保护范围和公开范围之内。
[0013]作为本技术一个优选技术方案，所述排液装置的出口端通过进液管道连接所述第一管路，所述排液装置的进口端通过出液管道连接所述第二管路。
[0014]需要说明的是，本技术中的第一管路与第二管路可采用直接接入的方式连接排液装置，也可以分别通过进液管道与出液管道间接连接排液装置。当采用直接接入排液装置时，冷却液依次经过第一管路、冷却装置与第二管路后直接回流至排液装置中进行冷却液循环；当采用间接连接排液装置时，冷却液依次经过进液管道、第一管路、冷却液装置、第二管路与出液管道后回流至排液装置内进行冷却液循环。本领域技术人员可根据实际情况与适用环境进行相应地调整与适配。另外，当采用间接连接方式时，储气装置连接的进气管道与排液装置连接的进液管道分别接入第一管路的进口端，集液装置连接的出气管道与排液装置连接的出液管道分别接入第二管路的出口端，并采用控制装置实现第一管路内进气或进液的切换。
[0015]作为本技术一个优选技术方案，所述进液管道上沿冷却液流动方向依次设置有流量测量组件与第一控制阀，所述出液管道上设置有第二控制阀。
[0016]作为本技术一个优选技术方案，所述进气管道与所述出气管道上分别设置有第三控制阀与第四控制阀。
[0017]作为本技术一个优选技术方案，所述控制装置分别电性连接所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀与所述第四控制阀。
[0018]本技术中所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀与所述第四控制阀均为电磁阀。当控制装置控制第一控制阀与第二控制阀的开启，其余阀门关闭，使得冷却液进入第一管路，进行冷却循环作业；当控制装置控制第三控制阀与第四控制阀的开启，其余阀门关闭，使得气体进入第一管路，进行吹气排液。
[0019]作为本技术一个优选技术方案，所述第一管路与进液管道的对接处设置有第一三通调节阀，所述第一三通调节阀还外接所述进气管道，所述第一三通调节阀用于连通所述冷却装置与所述排液装置，或连通所述冷却装置与所述储气装置，所述第一三通调节阀电性连接所述控制装置。
[0020]作为本技术一个优选技术方案，所述第二管路与出液管道的对接处设置有第二三通调节阀，所述第二三通调节阀还外接所述出气管道，所述第二三通调节阀用于连通所述冷却装置与所述排液装置，或连通所述冷却装置与所述集液装置，所述第二三通调节阀电性连接所述控制装置。
[0021]本技术中采用控制装置自动切换第一三通调节阀和/或第二三通调节阀，第
一三通调节阀用于切换向第一管路内送入冷却液或送入气体，第二三通调节阀用于切换将第二管路内的冷却液送入排液装置，或将第二管路内的气体送入集液装置，以实现冷却液循环与吹气排液的切换。
[0022]作为本技术一个优选技术方案，所述泄压管路上设置有安全阀。
[0023]作为本技术一个优选技术方案，所述冷却装置还设有压力测量组件，所述压力测量组件电性连接所述控制装置。
[0024]本技术中压力测量组件采集冷却装置内的实时压力，并输送至控制单元。安全阀用于释放冷却装置内的压力，并排入至集液装置，起到超压保护的作用，其中释放压力等参数根据实际使用工况进行调节设置。
[0025]作为本技术一个优选技术方案，所述冷却装置为冷却铜管。
[0026]本技术对于冷却铜管的设置方式不作具体要求或特殊限定，本本领域技术人员可根据实际情况调整冷却铜管与热源的配置方式。
[0027]为了帮助本领域技术人员本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的自动冷却系统，其特征在于，所述用于真空镀膜的自动冷却系统包括冷却装置、排液装置、储气装置、集液装置与控制装置；所述排液装置分别通过第一管路与第二管路循环连接所述冷却装置，用于冷却液循环，所述储气装置通过进气管道接入所述第一管路，所述集液装置通过出气管道接入所述第二管路，用于吹气排液；所述控制装置用于切换所述冷却装置进行冷却液循环或吹气排液，所述集液装置还通过泄压管路连接所述冷却装置。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的自动冷却系统，其特征在于，所述排液装置的出口端通过进液管道连接所述第一管路，所述排液装置的进口端通过出液管道连接所述第二管路。3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的自动冷却系统，其特征在于，所述进液管道上沿冷却液流动方向依次设置有流量测量组件与第一控制阀，所述出液管道上设置有第二控制阀。4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的自动冷却系统，其特征在于，所述进气管道与所述出气管道上分别设置有第三控制阀与第四控制阀。5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜的自动冷却系统，其特征在于，所述控制装置分别电性连接所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐政，余海春，于海滨，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：