【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如用于平面型图像显示装置、布线基板、IC标签等的制造的图案形成装置以及图案形成方法。
技术介绍
以往，作为在基材的表面形成微细图案的技术，光刻技术起着重要的作用。但是，该光刻技术虽不断提高其分辨率和性能，但反之，需要巨大的昂贵的制造设备，制造成本也与分辨率相应地越来越高。 另一方面，半导体器件本来在图像显示装置等制造领域中，对改善性能、同时降低价格的要求不断提高，上述的光刻技术无法充分满足这样的要求。在这样的状况下，使用数字印刷技术的图案形成技术越来越受到关注。 对此，例如喷墨技术作为一种装置简便和有效利用非接触图案形成这样的特征的图案形成技术开始被实用化，但是必须承认在高分辨率和高生产率方面有限度。即，在这一点，电子照相技术、也就是使用所谓的湿墨(liquid toner)的电子照相技术有可能比较好。 例如，提出有一种方法，该方法使用这样的电子照相技术，形成平板显示器用的前面基板的荧光层、黑底、滤色片等(例如，参照日本专利特开2004—30980号公报、以及日本专利特开平6—265712号公报)。 但是，在平板显示器领域中，高分辨率的...
【技术保护点】
一种图案形成装置，其特征在于，包括： 具有互相电独立的第１以及第２图案电极的版； 将使带电的第１显影剂粒子分散在绝缘性液体中的第１液体显影剂通过第１提供构件提供给所述版、同时在该第１提供构件和所述第１图案电极之间形成第１电位差、将所述第１液体显影剂中的所述第１显影剂粒子汇集在所述第１图案电极以进行显影的第１显影装置； 将使带电的第２显影剂粒子分散在绝缘性液体中的第２液体显影剂通过第２提供构件提供给所述版、同时在该第２提供构件和所述第２图案电极之间形成第２电位差、将所述第２液体显影剂中的所述第２显影剂粒子汇集在所述第２图案电极以进行显影的第２显影装置； 以及在使所述第１图案电...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
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