光干涉式彩色显示面板的制造方法技术

本发明专利技术是有关于一种光干涉式彩色显示面板的制造方法，首先是在一基板上形成一第一电极结构。之后在第一电极结构上定义出至少一第一区域、第二区域与第三区域。接着，在第一区域、第二区域与第三区域内的第一电极结构上形成一第一牺牲层，在第二区域与第三区域内的第一牺牲层上形成一第二牺牲层，并在第三区域内的第二牺牲层上形成一第三牺牲层，而对于相同或不同的蚀刻液而言，各牺牲层的被蚀刻速率皆不相同。接着，形成一图案化支撑层在第一电极结构上，随后形成一第二电极层并移除所有的牺牲层，以形成多个空气间隙。因此，由于各牺牲层的被蚀刻速率不相同，故可有效控制所形成的空气间隙。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种能够有效控制空气间隙的。
技术介绍
目前具有重量轻、厚度薄的平面显示器，例如液晶显示器(LCD)、有机电激发光显示元件(OLED)与电浆显示器(PDP)等已被广泛的应用于日常生活中。其中，液晶显示器已经渐渐成为显示器的主流，但液晶显示器仍然存在有许多的问题，例如是视角不够广、应答时间不够快以及需要使用偏光片(polarizer)而使光源利用效率不佳等问题。现今已有一种光干涉式显示面板被发展出来，请参阅图1所示，其绘示为现有习知光干涉式彩色显示面板的结构示意图。现有习知光干涉式彩色显示面板100主要是由一透明基板110、一第一电极结构120、一图案化支撑层130以及第二电极层140所构成。其中，第一电极结构120由下至上依序是由多个第一电极122、吸收膜层(absorption layer)124与光学膜层126所构成。值得留意的是，在第一电极结构120与光学膜层126之间会间隔出多个空气间隙(Air Gap)G1、G2与G3。当光线由透明基板110进入至第一电极结构120后，会经过空气间隙G1、G2与G3并入射至第二电极层140上。接着，再藉由第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光干涉式彩色显示面板的制造方法，其特征在于其包括以下步骤：提供一基板，在该基板上形成一第一电极结构；在该第一电极结构上定义出一第一区域、一第二区域与一第三区域；在该第一区域、该第二区域与该第三区域内的该第一电极结 构上形成一第一牺牲层；在该第二区域与该第三区域内的该第一牺牲层上形成一第二牺牲层；在该第三区域内的该第二牺牲层上形成一第三牺牲层，而该第一牺牲层、第二牺牲层与第三牺牲层的被蚀刻速率皆不相同；在该第一电极结构上形成一图 案化支撑层；形成一第二电极层在该第一区域的该第一牺牲层、该第二区域的该第...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林文坚，
申请(专利权)人：高通MEMS科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]