【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微结构形貌测试系统及其测试方法，特别是公开一种基于白光干涉术的测试系统及其测试方法，应用于微结构三维形貌非接触测量中。
技术介绍
超精密加工技术以及各种微型器械如MEMS（微机电系统）和NEMS（纳机电系统）的快速发展，相关加工器件的结构特征尺寸越来越小、复杂程度越来越高、尺寸跨度越来越大，对于测量和表征的要求也越来越高。超精密测量不仅包含纵向高度信息尺寸和横向线间隔、结构周期等尺寸的测量，同时被测微结构的三维表面形貌也有着非常重要的测量意义。超精密测量技术具有被测量尺寸在微纳米尺度、定位误差对测量结果影响增大、测量结果易受灰尘或异物影响等特点，据此超精密检测领域开发出许多检测技术和设备，如自动聚焦法、条纹投影法、扫描探针显微法、光学显微干涉法。其中光学显微干涉术将干涉原理与现代光学显微技术结合，利用干涉条纹对空间位置变化所具有的极高敏感度，实现纳米级的测量分辨力，且其以整个视场为分析对象，通过一次扫描可以得到微结构的三维形貌，具有很高的测试效率，因此受到国内外研究机构的广泛关注。单色光相移干涉术和白光扫描干涉术是光学显微干涉术中的两种重要方法...
【技术保护点】
一种基于白光干涉术的测试系统，包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、与压电陶瓷相连的压电陶瓷控制器和气浮平台，其特征在于：所述的测试系统还包括向显微光学系统提供光源的白光卤素光源和PC机；所述的PC机通过图像采集卡与数字CCD摄像机相连接，PC机还通过USB与控制压电陶瓷运动的压电陶瓷控制器连接；所述的压电陶瓷设置在气浮平台上；所述干涉系统的输入端对应于放置在压电陶瓷上的被测样品。
【技术特征摘要】
1.一种基于白光干涉术的测试系统，包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、与压电陶瓷相连的压电陶瓷控制器和气浮平台，其特征在于：所述的测试系统还包括向显微光学系统提供光源的白光卤素光源和PC机；所述的PC机通过图像采集卡与数字CCD摄像机相连接，PC机还通过USB与控制压电陶瓷运动的压电陶瓷控制器连接；所述的压电陶瓷设置在气浮平台上；所述干涉系统的输入端对应于放置在压电陶瓷上的被测样品。2.一种基于权利要求 1 所述的基于白光干涉术的测试系统的测试方法，其特征在于：所述测试系统的测试方法通过PC机操作压电陶瓷控制器，控制压电陶瓷带动放置于压电陶瓷上的被测样品进行垂直扫描，使干涉条纹扫过被测区域，并由数字CCD摄像机记录采集的图像；PC机通过图像采集卡读取存储采集的图像，PC机对采集的图像滤波后提取单个像素点的白光干涉信号，得到白光干涉条纹，对所得到的白光干涉条纹，首先要减去其背...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵杨锋，魏佳斯，李源，蔡潇雨，雷李华，傅云霞，李东升，
申请(专利权)人：中国计量大学，上海市计量测试技术研究院，
类型：发明
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。