植球机用全密封供锡球装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种涉及半导体制造设备领域的植球机用全密封供锡球装置，包括供球盒和铺球盒，供球盒通过供球导管连接铺球盒，供球盒上设有供气接头，供气接头通气后将供球盒内的锡球通过气吹向供球导管，供球导管将锡球传入铺球盒上的供球入口接头，锡球从供球入口接头进入铺球盒内腔中，铺球盒内腔中设有匀球斜坡，匀球斜坡将锡球均匀掉落至铺球盒各处。本发明专利技术采用全密封结构，解决锡球被吹飞的问题，提高锡球利用率，减少锡球浪费，提高机台的安全性；拆换快捷方便，能解决更换不同的锡球供球导管中容易残留球与其他的球混合的问题，排除这方面对植球良率的不利影响；匀球斜坡能够让锡球进入铺球盒后，均匀的掉落到铺球盒的腔体各处。体各处。体各处。

【技术实现步骤摘要】
植球机用全密封供锡球装置


[0001]本专利技术涉及半导体制造设备领域，具体地，涉及植球机用全密封供锡球装置。

技术介绍

[0002]现有的植球机的供球装置是由供球导管、供球瓶、植球导管组成。通过供球导管将锡球添加到供球瓶中，开始植球前将锡球通过植球导管吹入铺球盒机构，实现供球的功能。通过气吹的方式将锡球吹入铺球盒时，由于铺球盒给供球管中球进入的开口较大，部分锡球会被气流吹飞，散落在机台中，这样不仅造成了锡球的浪费，如果锡球进入一些电气元件中还可能会带来其他不可预知的风险；还有现有技术在需要更换不同直径大小的锡球的情况下，无法保证供球瓶和供球导管中是否还残留有其他直径大小的锡球，当更换不同的锡球时可能与残留的锡球混合，影响植球的良率。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种植球机用全密封供锡球装置。
[0004]根据本专利技术提供的一种植球机用全密封供锡球装置，包括供球盒和铺球盒，供球盒通过供球导管连接铺球盒，供球盒上设有供气接头，供气接头通气后将供球盒内的锡球通过气吹向供球导管，供球导管将锡球传入铺球盒上的供球入口接头，锡球从供球入口接头进入铺球盒内腔中，铺球盒内腔中设有匀球斜坡，匀球斜坡将锡球均匀掉落至铺球盒各处。
[0005]优选的，铺球盒上设有与之相匹配的铺球盒盖板，铺球盒盖板上设有排气穴和匀球斜坡，排气穴上设有钢网压板，匀球斜坡上设有供球腔盖板。
[0006]优选的，铺球盒盖板侧壁上设有球头顶丝，铺球盒盖板通过球头顶丝连接于铺球盒。
[0007]优选的，供球入口接头连接于铺球盒盖板一侧，且供球入口接头与匀球斜坡连通。
[0008]优选的，供球入口接头位于匀球斜坡上侧。
[0009]优选的，匀球斜坡与水平面的夹角为10
‑
80
°
。
[0010]优选的，钢网压板和排气穴之间设有小孔隙钢网。
[0011]优选的，供气接头包括第一供气接口和第二供气接口，第一供气接口位于供球盒顶部，第二供气接口位于供球盒侧壁底部。
[0012]优选的，供球盒包括箱体、盖板以及搭扣，盖板通过搭扣连接于箱体上形成密封结构，第一供气接口位于盖板上，第二供气接口位于箱体侧壁底部。
[0013]优选的，第二供气接口的接口与水平面呈10
‑
90
°
。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0015](1)本专利技术采用全密封结构，解决锡球被吹飞的问题，提高锡球利用率，减少锡球浪费，提高机台的安全性；
[0016](2)本专利技术拆换快捷方便，能解决更换不同的锡球供球导管中容易残留球与其他
的球混合的问题，排除这方面对植球良率的不利影响；
[0017](3)本专利技术在供球入铺球盒处有匀球斜坡，能够让锡球进入铺球盒后，均匀的掉落到铺球盒的腔体各处。
附图说明
[0018]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0019]图1为本专利技术的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术中铺球盒结构示意图；
[0021]图3为本专利技术中供球盒结构示意图；
[0022]图4为本专利技术中铺球盒盖板结构示意图；
[0023]图5为本专利技术中铺球盒盖板爆炸图；
[0024]图6为本专利技术中铺球盒盖板俯视图；
[0025]图7为图6中A
‑
A剖视图。
[0026]图中标号：
[0027]供球盒1、箱体11、盖板12、搭扣13、第一供气接口14、第二供气接口15、铺球盒2、铺球盒盖板21、球头顶丝22、供球腔盖板23、钢网压板24、供球入口接头25、排气穴26、匀球斜坡27、小孔隙钢网28。
具体实施方式
[0028]下面结合具体实施例对本专利技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本专利技术，但不以任何形式限制本专利技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本专利技术的保护范围。
[0029]实施例
[0030]根据本专利技术提供的一种植球机用全密封供锡球装置，如图1
‑
7所示，包括供球盒1和铺球盒2，供球盒1通过供球导管连接铺球盒2，供球盒1上设有供气接头，供球盒1的供气接头连通气路通过电磁阀控制气的通断。供气接头通气后将供球盒1内的锡球通过气吹向供球导管，供球导管将锡球传入铺球盒2上的供球入口接头25，锡球从供球入口接头25进入铺球盒2内腔中，铺球盒2内腔中设有匀球斜坡27，匀球斜坡27将锡球均匀掉落至铺球盒各处。
[0031]供气接头包括第一供气接口14和第二供气接口15，第一供气接口14位于供球盒1顶部，第二供气接口15位于供球盒1侧壁底部。供球盒1包括箱体11、盖板12以及搭扣13，盖板12通过搭扣13连接于箱体11上形成密封结构，第一供气接口14位于盖板12上，第二供气接口15位于箱体11侧壁底部，第二供气接口15的接口与水平面呈10
‑
90
°
。
[0032]铺球盒2上设有与之相匹配的铺球盒盖板21，铺球盒盖板21侧壁上设有球头顶丝22，铺球盒盖板21由左右两侧的四颗球头顶丝22固定在移动铺球盒2上，安装与拆卸都快捷方便。铺球盒盖板21上设有排气穴26和匀球斜坡27，排气穴26上设有钢网压板24，钢网压板24和排气穴26之间设有小孔隙钢网28，钢网有小于球直径的孔隙，能够排气并保证锡球不
会被气流带出。匀球斜坡27上设有供球腔盖板23，供球腔盖板可以保证锡球不会飞出。
[0033]供球入口接头25连接于铺球盒盖板21一侧，且供球入口接头25与匀球斜坡27连通，且供球入口接头25位于匀球斜坡27上侧。优选的，匀球斜坡27与水平面的夹角为10
‑
80
°
。锡球由供球导管进入铺球盒盖板21后经由匀球斜坡27均匀的掉落到铺球盒2的各处，不会在铺球盒腔体内堆积起一坐锡球山包，进而影响铺球效率。
[0034]更为具体的，锡球从供球盒1到铺球盒2全密封，锡球供给丢失率在给铺球盒2供球过程中造成的锡球丢失、消失等铺球盒2内的锡球数量少于供球盒1供给的锡球的数量的概率为0，即不会在供给过程中丢失锡球；可拆卸组件都使用便于拆卸的零件或结构设计，一个是铺球盒盖板21由左右两侧的四颗球头顶丝22固定在移动铺球盒2上，安装与拆卸快捷方便；另一个是供球盒1通过搭扣13连接在机台上，安装与拆卸快捷方便；这种便利性有利用在一台植球机上切换不同直径的锡球，只需要将铺球盒盖板21到供球盒1所连接组成的系统部分进行一体式替换，方便快捷，省时省力；在锡球由供球导管进入铺球盒盖板21后经由匀球斜坡27均匀的掉落到铺球盒的各处，不会在铺球盒腔2体内堆积起一坐锡球山包，进而影响铺球效率。
[0035]在本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种植球机用全密封供锡球装置，其特征在于，包括供球盒(1)和铺球盒(2)，所述供球盒(1)通过供球导管连接所述铺球盒(2)，所述供球盒(1)上设有供气接头，所述供气接头通气后将所述供球盒(1)内的锡球通过气吹向所述供球导管，所述供球导管将锡球传入所述铺球盒(2)上的供球入口接头(25)，锡球从所述供球入口接头(25)进入所述铺球盒(2)内腔中，所述铺球盒(2)内腔中设有匀球斜坡(27)，所述匀球斜坡(27)将锡球均匀掉落至所述铺球盒各处。2.根据权利要求1所述的植球机用全密封供锡球装置，其特征在于，所述铺球盒(2)上设有与之相匹配的铺球盒盖板(21)，所述铺球盒盖板(21)上设有排气穴(26)和匀球斜坡(27)，所述排气穴(26)上设有钢网压板(24)，所述匀球斜坡(27)上设有供球腔盖板(23)。3.根据权利要求2所述的植球机用全密封供锡球装置，其特征在于，所述铺球盒盖板(21)侧壁上设有球头顶丝(22)，所述铺球盒盖板(21)通过所述球头顶丝(22)连接于所述铺球盒(2)。4.根据权利要求2所述的植球机用全密封供锡球装置，其特征在于，所述供球入口接头(25)连接于所述铺球盒盖板(21)一侧，且所述供球入口接头(25)与所述匀球斜坡(27)连通。5.根据权利要求,2所述的植球机...

【专利技术属性】
技术研发人员：林海涛，赵凯，梁猛，邵嘉裕，杨铖嵩，刘钰，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：