Al布线材料制造技术

本发明专利技术提供一种抑制常温强度的上升，并且显示出良好的高温可靠性的新的Al布线材料。该Al布线材料的特征在于，含有从由Er、Yb及Gd构成的组中选择的1种以上，在将其含量的总计记为x1[质量％]时，0.001≤x1≤0.6，剩余部分包含Al。含Al。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】Al布线材料


[0001]本专利技术涉及一种Al布线材料。进一步地，涉及一种包含该Al布线材料的半导体装置。

技术介绍

[0002]在工业设备或电子部件中被用于电连接及/或机械连接的线状的材料中，伴随汽车电子化的需要，为了比以往的铜(Cu)更为轻量、低成本，铝(Al)的使用正在增加。在被使用于输送设备、机器人等工业设备的Al线(圆形)、Al条(扁平形、椭圆)中，根据使用目的，要求断裂强度、伸长率等机械特性、或导电性、导热性等。
[0003]在半导体装置中，通过接合线或接合带，对被形成在半导体芯片上的电极与引线框架或电路基板(也简称为“基板”)上的电极之间进行连接，在功率半导体装置中，作为其材质，主要使用Al。例如，在专利文献1中，示出了在功率半导体模块中使用的Al接合线的例子。在使用了Al接合线或Al接合带的功率半导体装置中，作为接合方法，与半导体芯片上电极的第1连接、以及与引线框架或基板上的电极的第2连接均使用楔接合。
[0004]以下，将上述Al线、Al条、Al接合线、Al接合带等统称为Al布线材料。r/>[0005]使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种Al布线材料，其含有从由Er、Yb及Gd构成的组中选择的1种以上，在将其含量的总计以质量％计记为x1时，0.001≤x1≤0.6，剩余部分包含Al。2.如权利要求1所述的Al布线材料，其中，还含有从由Sc及Zr构成的组中选择的1种以上，在将其含量的总计以质量％计记为x2时，0.005≤x2≤0.6。3.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：宇野智裕，小山田哲哉，小田大造，栗原佑仁，大石良，
申请(专利权)人：日铁化学材料株式会社，
类型：发明
国别省市：