【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及薄膜图案形成方法、具有使用该薄膜图案形成方法制造的薄膜的半导体器件、电光学装置、电子仪器。
技术介绍
以往，在基板上层叠配置由导体构成的薄膜(以下称作配线膜)的电路配线、覆盖电路配线的绝缘膜等薄膜、由半导体构成的薄膜，形成了所述半导体器件。作为薄膜的高效的形成方法，知道专利文献1中记载的从液滴喷头喷出将薄膜材料等作为溶质包含的功能液的液滴，使弹落的功能液干燥，除去溶剂，形成薄膜的所谓的喷墨方式。在喷墨方式中，薄膜通过在基板上以包围薄膜形成区的形态配置围堰(bank)，形成与薄膜图案相同的平面形状的凹部。通过向该凹部喷出功能液，使弹落在凹部的功能液干燥，形成薄膜，形成为由薄膜的功能规定的图案形状。为了弹落在凹部而喷出的功能液的液滴优选进入凹部，但是有时一部分挂在围堰的上表面。为了功能液不附着在围堰的上表面，而流入凹部，优选对于功能液，围堰的上表面为疏液性，凹部在其底面和侧面都为亲液性。作为使凹部为亲液性的方法，提出如专利文献2中记载的通过付与亲液性的亲液性处理剂表面处理凹部的方法；如专利文献3中记载的形成凹部后，通过照射能量射线，控制亲液性的方法。...
【技术保护点】
一种薄膜图案形成方法，是在基板上形成层叠多个薄膜而形成的薄膜图案的方法，其中具有：在所述基板上形成对于包含构成第一薄膜的薄膜材料的功能液具有亲液性的第二薄膜的步骤；在所述第二薄膜的表面进行对所述功能液付与疏液性的疏液化处理的 步骤；除去所述第二薄膜的一部分，形成规定所述第一薄膜图案形状的凹部的步骤；向所述凹部喷出所述功能液的步骤；和使向所述凹部喷出的所述功能液干燥，形成所述第一薄膜的步骤。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：守屋克之，平井利充，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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