一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微电子技术领域，具体涉及用于屏蔽的金属盒盖连接装置。本发明专利技术公开的一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，包括：金属盒、金属盒窗口、金属盒盖，其中，在金属盒窗口与金属盒盖之间设有粘扣。本发明专利技术具有拆卸方便、连接牢靠；能够保证电磁波不会外泄，不会污染超净间环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子
，具体涉及用于屏蔽的金属盒盖连接装置。
技术介绍
在现代电子设备中，经常需要用金属盒来屏蔽电磁场，以免特定电路影响其它设备或者被其它设备影响。一般来说，金属屏蔽盒都需要留有可以打开的窗口以便对内部电路进行检修。此窗口盖子与屏蔽盒的连接一般情况下采用螺丝。然而在某些场合，这种螺丝连接是不合适的，比如说在需要频繁拆卸的场合以及对洁净度要求很高的场合。在半导体刻蚀设备中，需要使用通有高频电流的线圈，此线圈必使用金属盒进行屏蔽，且屏蔽盒上要留有维修用的窗口，此窗口在维修时打开，正常工作时关闭。现有的线圈须金属盒侧面板(窗口盖子)和线圈盒之间使用普通螺钉连接。这种连接存在以下几点不足1.因为线圈盒侧面板需要经常拆卸，所以螺丝用过一段时间后就会滑丝；2.固定螺丝多，拆卸费时费力；3.因为应力关系，铝板总有一定程度的翘曲，即使拧上螺丝也仍然有缝隙存在，导致电磁波外泄；4.螺丝在经常装卸中会产生金属颗粒，污染超净间环境。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种拆卸方便、连接牢靠、密封性能好的用于屏蔽的金属盒盖连接装置。(二)技术方案为了达到上述目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于屏蔽的金属盒盖连接装置，包括金属盒（３）、金属盒窗口（８）、金属盒盖（９），其特征在于：在金属盒窗口（８）与金属盒盖（９）之间设有粘扣。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：申浩南，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]