一种金属回收装置（６６），其从用由有机金属化合物原料形成的原料气体而在被处理体的表面上形成薄膜的处理容器（１０）所排出的排气气体中回收金属成分，将排气气体进行除害。金属回收装置具有：捕集单元（８０），其具有捕集部件，所述捕集部件构成为，加热所述排气气体，使排气气体中含有的未反应的原料气体热分解，将原料气体中含有的金属成分附着；除害单元（８２），其具有氧化通过捕集单元的排气气体中含有的有害气体成分而进行除害的催化剂（１００）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种回收从成膜装置排出的排气气体中的未反应原料气体中的金属 成分的金属回收方法、金属回收装置、排气系统及使用其的成膜装置。
技术介绍
一般而言，为了形成IC等集成电路、逻辑器件，在半导体晶片、LCD基板等的表面 上重复进行实施所希望的薄成膜的工序和将其蚀刻成所希望的图案的工序。但是，以成膜工序为例，该工序中，通过使规定的处理气体(原料气体)在处理容 器内反应，将硅薄膜、硅氧化物薄膜、硅氮化物薄膜、金属薄膜、金属氧化物薄膜、金属氮化 物薄膜等形成在被处理体的表面。这时，伴随该成膜反应产生多余的反应副产物，并与排气 气体一同被排出。另外，未反应的处理气体也被排出。该反应副产物和未反应的处理气体，若原样被排放到大气中，则成为环境污染等 的原因。为了防止污染环境，一般而言，在从处理容器延伸出来的排气系统上设置捕获装 置，由此，捕获并去除排气气体中含有的反应副产物、未反应的处理气体等。对于该捕获装置的结构，根据应捕获去除的反应副产物等的特性提出有各种方 案。例如，在去除常温下凝结(液化)、凝固(固化)的反应副产物时，该捕获装置的一个构 成例是在具有排气气体的导入口和排出口的筐体内设置有多个散热片。然后，由于该散热 片沿排气气体的流动方向排列，所以在排气气体通过这些散热片中间时，将排气气体中的 反应副产物等附着在散热片表面而将其捕获并废弃。另外，还有将该散热片通过冷却媒介等而进行冷却，提高捕获效率的方案(例如 JP2001-214272A)。另外，还有利用散布水等的滤净器装置作为捕获装置，使排气气体与该 散布的水接触，将反应副产物和未反应气体成分溶解于散布水中进行回收的回收方法。作为其他的捕获装置也有设置以废弃为前提的可拆卸的滤筒形吸附塔，用其吸附 反应副产物和未反应的原料气体成分而从排气气体去除的装置。该捕获装置中，若吸附塔 的去除能力下降，则废弃该去除能力下降的吸附塔，更换成新的吸附塔。这样废弃的理由是 由于原料气体中含有氟(F)、氯(Cl)等卤元素时，难以从回收的反应副产物回收有用的金 jM ο并且，从捕获装置中排出的排气气体中，含有有害气体成分的情况较多。该有害气 体成分通过设置在捕获装置的下游侧(后段)的除害装置进行除害，其后，该排气气体被排 放到大气中。另外，最近以降低布线电阻和接触电阻等为目的，使用含有银、金、钌等贵金属的 有机金属化合物原料(源气体)，通过成膜装置形成薄膜。这种贵金属非常昂贵。另外，上 述有机金属化合物原料中，也有金属原子之外还含有C、H、0等，但不含有F和Cl等的卤元 素的原料。因此，使用如上述那样的以回收物的废弃为前提的捕集方法，则成为白白废弃高 价的金属，因此存在导致运行成本猛涨的问题。因此，例如在JP2001-342566A中，为了实现上述贵金属、高价金属类的有效利用， 还提出了通过对从处理容器排出的排气气体进行冷却而对气体进行凝结等，从而回收含有 未反应原料的反应副产物，进一步通过提纯该反应副产物得到未反应原料的回收方法。但 是，JP2001-342566A中公开的回收方法中存在下述问题，由于反应副产物也与未反应原料 一起被回收，所以其后必须进行提取未反应原料的提纯作业，作业变繁杂。而且，以往的使用了滤净器装置、散热片等的捕获装置，必须另设从其排出的排气 气体中除去有害物质的除害装置，因此，存在设置空间也变大的问题。
技术实现思路
本专利技术着眼于以上问题点，为有效解决该问题而进行专利技术的。本专利技术的目的在于， 提出一种节省空间且具有简单的构造，可从在被处理体的表面上形成薄膜的处理容器所排 出的排气气体中回收金属成分，并从排气气体除去有害物质的金属回收方法、金属回收装 置、排气系统及使用其的成膜装置。本专利技术一个形态的金属回收方法为，从用由有机金属化合物原料形成的原料气体 在被处理体的表面形成薄膜的处理容器所排出的排气气体中回收金属成分，将排气气体进 行除害，具有捕集工序，通过使所述排气气体与经加热的捕集部件接触，从而使该排气气 体中含有的未反应的所述原料气体热分解，使所述原料气体中含有的金属成分附着于所述 捕集部件；除害工序，通过使经过所述捕集工序的所述排气气体与催化剂接触，从而氧化所 述排气气体中含有的有害的气体成分而进行除害。如此，在从用由有机金属化合物原料形成的原料气体在被处理体的表面形成薄膜 的处理容器排出的排气气体中回收金属成分时，由于具有捕集工序，加热排气气体，使排 气气体中含有的未反应的原料气体热分解，使原料气体中含有的金属成分附着于捕集部 件；除害工序，通过使经过捕集工序的排气气体与催化剂接触，从而氧化排气气体中含有 的有害的气体成分而进行除害，因此，可使用节省空间且构造简单的回收装置，从在被处理 体的表面形成薄膜的处理容器所排出的排气气体中回收金属成分，且可将排气气体进行除 害。另外，回收的金属成分将不被废弃而是被再利用，因此可降低该部分的运行成本。 另外，关于再利用，不需要进行复杂的提纯作业，可简单地作为原料提取。本专利技术一个形态的金属回收方法中，所述除害工序可以是在氧化气体存在下进行 的。另外，本专利技术一个形态的金属回收方法中，所述捕集工序可以是在氧化气体的存 在下进行的。进而，本专利技术一个形态的金属回收方法中，所述除害工序的所述催化剂的温度可 以在600 800°C范围内。进而，所述捕集工序的所述捕集部件的温度可以在600 1000°C范围内。进而，本专利技术一个形态的金属回收方法中，所述催化剂可以是由选自Mn02、CaO, MgO, HfO2, Ta2O5中的1种以上的材料形成。进而，本专利技术一个形态的金属回收方法中，所述氧化气体可以是由选自02、03、H20、 空气中的1种以上的气体形成。进而，本专利技术一个形态的金属回收方法中，所述有机金属化合物可以是由选自 Ru3(CO)12, TEMAT(四乙基甲基氨基钛)、TAIMATA、Cu(EDMDD)2, Ru3(CO) 12, W(CO)6, TaCl5, TMA (三甲基铝)、TBTDET (叔丁基酰亚胺基三(二乙基酰胺基)钽)、PET (五乙氧化钽)、 TMS (四甲基硅烷)、TEH (四乙氧化铪)、Cp2Mn 、(MeCp) 2Mn 、 (EtCp) 2Mn , (i-PrCp)2Mn、MeCpMn (CO) 3 、(t-BuCp) 2Mn ,CH3Mn (CO) 5、Mn (DPM) 3、Mn (DMPD) (EtCp) 、Mn(acac)2、Mn(DPM)2、 Mn(acac)3中的不含卤元素的1种以上的材料形成。进而，本专利技术一个形态的金属回收方法中，可以是上述有机金属化合物为 Ru3(CO)12，经过所述除害工序排出的气体为CO2气体。本专利技术一个形态的金属回收装置为，从用由有机金属化合物原料形成的原料气体 在被处理体的表面上形成薄膜的处理容器排出的排气气体中回收金属成分，将排气气体进 行除害的金属回收装置，具有捕集单元，其具有捕集部件，所述捕集部件构成为加热所述 排气气体，使该排气气体中含有的未反应的所述原料气体热分解，使所述原料气体中含有 的金属成分附着；除害单元，其具有氧化通过所述捕集单元的所述排气气体中含有的有害 气体成分而进行除害的催化剂。如此，在从用由有机金属化合物原料形成本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种金属回收方法，其特征在于，从用由有机金属化合物原料形成的原料气体而在被处理体的表面形成薄膜的处理容器所排出的排气气体中回收金属成分，将排气气体进行除害，其包括：捕集工序，使所述排气气体与经加热的捕集部件接触，从而使该排气气体中含有的未反应的所述原料气体热分解，使所述原料气体中含有的金属成分附着于所述捕集部件；除害工序，使经过所述捕集工序的所述排气气体与催化剂接触，从而氧化所述排气气体中含有的有害气体成分而进行除害。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：原正道，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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