一种等离子体反应室控制系统组装箱技术方案

本发明专利技术涉及自动化的设备，具体涉及一种等离子体反应室的控制系统组装箱。本发明专利技术的一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于：还包括ＰＣＢ（印刷电路板）、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过ＰＣＢ板连接。本发明专利技术改变电缆连接方式为直接由ＰＣＢ板连接的方式，使得等离子体反应室控制系统结构体积更小，连接方式更具有可靠性，传输信号更稳定，减少了出故障的几率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及自动化的设备，具体涉及一种等离子体反应室的控制系统组装箱。
技术介绍
等离子体反应室是一个完全自动化的设备，它采用一个工控机控制PM相应的控制部件，工控机通过RS232，RS485与温控器、摆阀等串口控制的部件通讯，I/O信号连接到控制单元，通过各控制单元分配给各受控部件。它还通过以太网与集成控制系统通讯，由集成控制系统对其统一管理。现有等离子体反应室控制模块控制系统分为两个主要的部分，一个是工控机背板1，一个是信号分配背板2。这两个部分相对独立放置在两个机箱中，信号连接靠电缆连接结构如图1所示。这种连接方式的缺点是结构不紧密，体积较大信号靠电缆连接，由于信号量很大，电缆过粗，连接可靠性不高
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种体积更小，连接方式更具有可靠性，传输信号更稳定的等离子体反应室控制系统组装箱。(二)技术方案为了达到上述目的，本专利技术采取以下方案本专利技术包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于还包括PCB(印刷电路板)、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过PCB板连接。其中，所述机箱分为上下两层。其中，所述PCB板包括两个连接器，其中，第一连接器与工控机背板连接，第二连接器与信号分配背板连接。其中，所述工控机背板放置在机箱上层，信号分配背板放置在机箱下层。其中，所述第一连接器通过其插接口与工控机背板后走线接口插接，第二连接器通过其插接口与信号分配背板上的接口插接。其中，所述机箱4顶层或底层设有风扇。(三)有益效果与已有技术相比，由于采用以上方案，本专利技术改变电缆连接方式为直接由PCB板连接的方式，使得等离子体反应室控制系统结构体积更小，连接方式更具有可靠性，传输信号更稳定，减少了出故障的几率。附图说明图1是现有技术结构示意图；图2是本专利技术的PCB板结构示意图；图3是本专利技术组装箱结构示意图。图中1、工控机2、信号分配背板3、PCB板4、机箱5第一连接器6第二连接器具体实施方式以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机1、CPU板以、各种接口板卡、等离子体反应室控制的信号分配背板以及实现等离子体反应室控制的各功能板卡，还包括一个PCB板和一个机箱，将工控机与信号分配背板放置在一个机箱4内，所述的机箱4分为两层，一层放置工控机背板，CPU板以及各种接口板卡，另一层放置等离子体反应室控制的信号分配背板2以及实现等离子体反应室控制的各功能板卡，所述的PCB板3将两个部分连接起来。所述的PCB板分别插在工控机背板1的后走线接口和信号分配背板2上，将两个部分的信号连接起来。机箱4内还在顶层或底层放置了风扇，保证了系统的散热。如图2、图3所示，第一连接器5和第二连接器6通过其插接口分别插在工控机背板1的后走线接口和信号分配背板2接口上，这样就将两个部分的信号连接起来，而不需要采用电缆。权利要求1.一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于还包括PCB(印刷电路板)、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过PCB板连接。2.如权利要求1所述的一种等离子体反应室控制系统组装箱，其特征在于所述机箱分为上下两层。3.如权利要求1所述的一种等离子体反应室控制系统组装箱，其特征在于所述PCB板包括两个连接器，其中，第一连接器与工控机背板连接，第二连接器与信号分配背板连接。4.如权利要求2所述的一种等离子体反应室控制系统组装箱，其特征在于所述工控机背板放置在机箱上下两层中的一层，信号分配背板放置在机箱另一层。5.如权利要求3所述的一种等离子体反应室控制系统组装箱，其特征在于所述第一连接器通过其插接口与工控机背板后走线接口插接，第二连接器通过其插接口与信号分配背板上的接口插接。6.如权利要求1所述的一种等离子体反应室控制系统组装箱，其特征在于所述机箱4顶层或底层设有风扇。全文摘要本专利技术涉及自动化的设备，具体涉及一种等离子体反应室的控制系统组装箱。本专利技术的一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于还包括PCB(印刷电路板)、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过PCB板连接。本专利技术改变电缆连接方式为直接由PCB板连接的方式，使得等离子体反应室控制系统结构体积更小，连接方式更具有可靠性，传输信号更稳定，减少了出故障的几率。文档编号H01L21/00GK1852627SQ200510126338公开日2006年10月25日 申请日期2005年12月7日 优先权日2005年12月7日专利技术者孙岩 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体反应室控制系统组装箱，包括工控机背板、信号分配背板，其特征在于：还包括ＰＣＢ（印刷电路板）、机箱，工控机背板、信号分配背板置于机箱内，通过ＰＣＢ板连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙岩，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]