The invention discloses a window insulation cooling device with magnetic shielding, the shell, the magnetic shield the magnetic conductive material is provided with a plurality of cooling holes are evenly distributed on one side of the shell, and the magnetic shielding cover is arranged at one side of the shell is provided with a plurality of cooling holes. The inductively coupled plasma reactor at work, insulation window cooling device can play a role in cooling, but also to achieve interference shielding of external magnetic field on the inductively coupled plasma etching reactor work, improve the etching efficiency and product quality.
【技术实现步骤摘要】
一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置
本专利技术涉及一种提高刻蚀工艺的装置,具体涉及一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置。
技术介绍
随着ETCH技术的不断发展,对ETCH技术要求也越来越严苛以实现更高更好的产品质量。以前认为对工艺结果影响不大的外界因素,在越来越严苛的工艺要求中体现出越来越大的影响,如外界磁场对工艺结果的影响。高产品质量的要求需要消除这些外界因素的影响。但目前的机台结构,因为功能特征的要求不可以直接植入导磁材料,如机台LID结构中的housing风冷孔板材就不可以直接用导磁材料或贴膜代替加工成形,因为磁力线可以直接穿过导磁材料中的孔结构,而达不到防磁场的效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置,将壳体、磁屏蔽罩采用导磁材料制成,并通过在壳体的一侧设有多个冷却孔,使得磁屏蔽罩设置在带有多个冷却孔的壳体的一侧;使得本专利技术能够在不影响风冷结果的前提下,通过一个完整的导磁回路将磁场引导在绕过电感耦合等离子体反应器的容器腔体内的反应区域,从而实现预防外界磁场对电感耦合等离子体反应器工作的干扰,提高生产效率、提高产品质量。为了达到上述目的,本专利技术通过以下技术方案实现:一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置,该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器的容器腔体顶部,该冷却装置包含:绝缘板、设置在该绝缘板上的线圈、风扇,其特点是,该冷却装置还包含:壳体,设置在所述绝缘板上,所述壳体的一侧壁上间隔设有多个冷却孔;所述壳体采用导磁材料制成;磁屏蔽罩,设置在所述壳体的具有多个冷却孔的侧壁上,并且所述磁屏蔽罩与侧壁之间形成一个气流 ...
【技术保护点】
一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置,该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器的容器腔体(100)顶部,该冷却装置包含:绝缘板(10)、设置在该绝缘板(10)上的线圈(20)、风扇(30),其特征在于,该冷却装置还包含:壳体(40),设置在所述绝缘板(10)上,所述壳体(40)的一侧壁上间隔设有多个冷却孔(41);所述壳体(40)采用导磁材料制成;磁屏蔽罩(50),设置在所述壳体(40)的具有多个冷却孔的侧壁上,并且所述磁屏蔽罩与侧壁之间形成一个气流通道,使得冷却孔(41)中流出气流经过所述气流通道向下到达下方的开口(52),所述开口(52)位于多个冷却孔(41)下方,所述磁屏蔽罩(50)采用导磁材料制成。
【技术特征摘要】
1.一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置,该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器的容器腔体(100)顶部,该冷却装置包含:绝缘板(10)、设置在该绝缘板(10)上的线圈(20)、风扇(30),其特征在于,该冷却装置还包含:壳体(40),设置在所述绝缘板(10)上,所述壳体(40)的一侧壁上间隔设有多个冷却孔(41);所述壳体(40)采用导磁材料制成;磁屏蔽罩(50),设置在所述壳体(40)的具有多个冷却孔的侧壁上,并且所述磁屏蔽罩与侧壁之间形成一个气流通道,使得冷却孔(41)中流出气流经过所述气流通道向下到达下方的开口(52),所述开口(52)位于多个冷却孔(41)下方,所述磁屏蔽罩(50)采用导磁材料制成。2.如权利要求1所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置,其特征在于,所述壳体(40)呈长方体,该壳体(40)底部开口,该壳体(40)底部与所述绝缘板(10)匹配连接。3.如权利要求2所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置,其特征在于,所述壳体(40)顶部内设有风扇安装支架,所述风扇(30)设置于该风扇安装支架上。4.一种电感耦合等离子体反应器,设有容器腔体,其特征在于,该反应器还设有具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置;所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置包含:绝缘板(10),设置在所述容器腔体上;线圈(20),设置在所述绝缘板(10)上;壳体(40),设置在所述绝缘板(10)上,所述壳体(40)的一侧壁上间...
【专利技术属性】
技术研发人员:左涛涛,吴狄,何乃明,
申请(专利权)人:中微半导体设备上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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