用于气体离子化处理的方法和设备技术

一种用于气体处理的电极组件，包括具有由内部壁至少部分地限定的内部区域的介质壳，内部区域充有形成等离子体的气体。第一导电体耦接于介质壳并且至少部分地伸入到内部区域内。在向第一导体施加电压时，在内部区域里形成导电等离子体。导电等离子体以大体上均匀的方式接触基本上所有的内部壁。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般地涉及在形成放电方面使用的电极而具体地涉及应用 导电等离子体的电极，在气体离子化处理方面使用这种电极。
技术介绍
对现有技术来说，介质一势垒放电(也称之为"表面一势垒放电" 或者"静放电"或者"臭氧发生器放电")是众所周知的。像这样的装 置通常包含有在电极之间介入至少一个电势垒的情况下，在一对电极 之间在高交流电压时激发放电，上述势垒具有经得起从供能电源输出 的整个峰对峰电压的有效介质强度。现有技术高电压电极的常见装置包含设置在起介质势垒作用的密 封介质管里面的金属网格。用另一种方法，电极可以是沉积在介质管 内表面上的金属覆盖层。围绕介质管并且与其留有间隔的接地金属套 管用作第二电极。可能有刚好在金属套管内侧面但是离第一介质套管 留有间距的第二介质管，取决于使用这种系统的用途。现有技术公开了最好由系统参数来确定在电极结构之间以适当压 力和流速用流动气体或静止气体(取决于用途)充满的普通环形空间。 在像这样的条件下，这种放电没有占满整个环形空间，但是包含有短暂、局部、间断的电火花。50Hz 100Hz频率的高压交流电源连接到 内部电极的外部终端，在网格状电极和接地套管之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于气体处理的电极组件，包括：具有由内部壁至少部分限定的内部区域的介质壳；充有形成等离子体的气体的上述内部区域；与上述介质壳连接并且至少部分地伸入到上述内部区域内的第一导电体；其中在对上述第一导电体施加电压时，在上述内部区域内形成等离子的气体转变成导电等离子体；上述导电等离子体以大体均匀的方式接触基本上所有的上述内部壁。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：维贾伊K米恩，
申请(专利权)人：维贾伊K米恩，
类型：发明
国别省市：US[美国]