用于产生等离子流的装置制造方法及图纸

技术编号:3717577 阅读:167 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种具有至少一个放电管的用于产生等离子流的装置,处理气体流过所述放电管。按照本发明专利技术,在至少一个放电管上设置了一个导电的放电防护装置。本发明专利技术的优点主要在于,寄生放电被抑制,并且所述装置的各部件和基底的热负荷被降低。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于产生等离子流的装置本专利技术涉及一种用于产生等离子流的装置,具有至少一个放电管, 一种处理气体流过所述放电管。这种具有一个放电管的装置已由Jungo Toshifuji等人的文章 "Cold arc-plasma jet under atmospheric pressure for surface modification" , Surface and Coatings Technology 2003,第302页以及 另 一 出版物 "Workshop Plasmabehandlung und Plasma-CVD 陽Beschichtung bei Atmosph2rendruck,, , Dresden, 2004年11月16日 所公开。这种已知的装置具有一个由电介质材料构成的放电管,其中 第一个电极设计成大块的并且以在长度方向上延伸的形式设置在放电 管内部的中心处,并且其中放电管包括第二个电极。这里第二个电极 被构造成同心的,使得在内部的第一个电极、放电管和第二电极构成 一个具有开放端面的、同轴且在横截面上同心的结构,在这个开放端 面上产生等离子流。内部的棒状电极被施加高电压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于产生等离子流的装置,具有至少一个放电管(1),通过一个气体软管(5)馈送的处理气体流过所述放电管,其中放电管(1)的壁由电介质材料构成,并且其中第一个电极(2)构造成实心的,并且以它在其纵向方向延伸的形式被设置在放电管(1)内部的中心处,其中第二个电极(3)在轴向方向上同心地围绕着放电管(1)的壁设置,使得第一个电极(2)、放电管(1)和第二个电极(3)构成一个具有开放端面的、同轴的、并在横截面上同心的结构,在所述开放端面处可产生等离子流,其特征在于,一个由导电材料构成的放电防护装置(4)被设置在放电管(1)上,这个放电防护装置与第一个电极(2)相连接,所述放电防护装置(4)接纳气体软...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:安德列伊格纳特科夫简斯雷克
申请(专利权)人:赖茵豪森机械制造公司
类型:发明
国别省市:DE[德国]

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