下载用于产生等离子流的装置的技术资料

文档序号:3717577

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本发明涉及一种具有至少一个放电管的用于产生等离子流的装置,处理气体流过所述放电管。按照本发明,在至少一个放电管上设置了一个导电的放电防护装置。本发明的优点主要在于,寄生放电被抑制,并且所述装置的各部件和基底的热负荷被降低。...
该专利属于赖茵豪森机械制造公司所有,仅供学习研究参考,未经过赖茵豪森机械制造公司授权不得商用。

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