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一种用于气体处理的电极组件，包括具有由内部壁至少部分地限定的内部区域的介质壳，内部区域充有形成等离子体的气体。第一导电体耦接于介质壳并且至少部分地伸入到内部区域内。在向第一导体施加电压时，在内部区域里形成导电等离子体。导电等离子体以大体上均...
该专利属于维贾伊.K.米恩所有，仅供学习研究参考，未经过维贾伊.K.米恩授权不得商用。

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