光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统技术方案

本发明专利技术公开了一种光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统，其中，监控方法，包括：提供一光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻；运行所述光阻过滤器；获取所述光阻过滤器的过滤状态，并判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态；判断所述颗粒物的状态是否达到预设定的第二阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，停止运行所述光阻过滤器，并抓取所述光阻过滤器当前的过滤状态为所述光阻过滤器使用周期。本发明专利技术监控方法过程简单，且能够准确的检测出过滤器的使用周期。的检测出过滤器的使用周期。的检测出过滤器的使用周期。

【技术实现步骤摘要】
光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统。

技术介绍

[0002]在半导体晶片或液晶用玻璃基板等的表面上，由光刻工序和蚀刻工序制作微细电路图案。在光刻工序中，使用光阻供给装置将光阻(也被称为光刻胶)等液体涂覆在晶片或玻璃基板的表面上，收容在供给瓶内的光阻通过泵抽吸并通过过滤器等从喷嘴涂覆到晶片等被涂覆物上。目前，光阻的供给系统中，光阻过滤器一般是根据厂商的建议定义使用周期，而不能准确获取过滤器的使用周期,这往往导致过滤器未充分发挥过滤功能即被丢弃，造成资源浪费，或者导致过度使用过滤器而致使光阻在被涂覆物上出现图形缺陷,影响到最终半导体产品的合格率和质量,也同时影响半导体制程工艺的产线、生产率情况。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本专利技术实施例的目的是提供一种光阻过滤器使用周期的监控方法、系统及光阻供给系统，根据本专利技术实施例可以有效并准确的定义出所述光阻过滤器使用周期，从而降低半导体产品的缺陷。
[0004]本专利技术的一些实施例提供了一种光阻过滤器使用周期的监控方法，包括：提供一光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻；运行所述光阻过滤器；获取所述光阻过滤器的过滤状态，并判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态；判断所述颗粒物的状态是否达到预设定的第二阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，停止运行所述光阻过滤器，并抓取所述光阻过滤器当前的过滤状态为所述光阻过滤器使用周期。
[0005]在一些实施例中，所述方法还包括：对所述当前的过滤状态发出警报，以提示停止运行所述光阻过滤器。
[0006]在一些实施例中，所述获取所述光阻过滤器的过滤状态为包括：实时获取所述光阻过滤器的过滤状态；或，定时获取所述光阻过滤器的过滤状态。
[0007]在一些实施例中，所述过滤状态为所述光阻过滤器的过滤量或过滤时间，所述第一阈值分别为预设定过滤量值或过滤时间值。
[0008]在一些实施例中，所述过滤状态包括所述光阻过滤器的过滤时间和过滤量，所述第一阈值包括预设定的过滤时间值和过滤量值；其中，判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值包括：以更先达到所述预设定的过滤时间值和过滤量值中的一者进行所述第一阈值的判断。
[0009]在一些实施例中，所述颗粒物的状态包括颗粒物的数量和/或颗粒物的粒径。
[0010]在一些实施例中，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态包括：
[0011]实时获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态；或，
[0012]定时获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态。
[0013]本专利技术的一些实施例还提供了一种光阻过滤器使用周期的监控系统，所述监控系统监控光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻，所述监控系统包括：第一数据收集单元，获取所述光阻过滤器的过滤状态值；第一比对单元，用于提取数据库中预设定的第一阈值，并和所述第一数据收集单元获取的所述过滤状态值进行比对，判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态值；第一输出单元，将所述第一比对单元的比对结果输出至所述光阻过滤器，驱动调整所述光阻过滤器；第二数据收集单元，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态值；第二比对单元，用于提取数据库中预设定的第二阈值，并和所述颗粒物的状态值进行比对，判断所述颗粒物的状态是否达到所述预设定的第二阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，停止运行所述光阻过滤器，并抓取所述光阻过滤器当前的过滤状态为所述光阻过滤器使用周期；第二输出单元，将所述第二比对单元的比对结果输出至所述光阻过滤器，驱动调整所述光阻过滤器。
[0014]在一些实施例中，所述监控系统包括报警单元，所述报警单元对所述当前的过滤状态发出警报，以提示停止运行所述光阻过滤器。
[0015]本专利技术的一些实施例还一种光阻供给系统，所述供给系统包括：光阻供给瓶，容纳有待过滤的光阻；缓冲器，连接所述光阻供给瓶，所述待过滤的光阻暂存于所述缓冲器内；泵，连接所述缓冲器，所述泵抽吸所述缓冲器内暂存的所述待过滤的光阻；光阻过滤器，连接所述泵，以将所述泵抽吸的待过滤的光阻进行过滤，得到过滤后的光阻；开关阀，连接光阻过滤器；喷嘴，连接所述开关阀，喷送所述过滤后的光阻至到被涂覆物上；上述监控系统，通讯连接于所述光阻过滤器，所述监控系统监控所述光阻过滤器的使用周期；控制系统，通讯连接于所述泵和所述开关阀，以控制所述泵和所述开关阀。
[0016]在一些实施例中，所述供给系统还包括：惰性气体供给部，连接于所述光阻供给瓶，以向所述待过滤的光阻内通入惰性气体。
[0017]在一些实施例中，所述喷嘴包括一容纳腔，以暂存所述过滤后的光阻。
[0018]本专利技术实施例提供了一种光阻过滤器使用周期的监控方法，所述监控方法通过对过滤器的过滤量和过滤时间等过滤状态进行监控之外，还包括对过滤器内的颗粒物状态进行监控，从而精准地定义出过滤器的使用周期，即，定义过滤量上限和使用时间上限，过程简单，避免了因超过使用上限而导致产品缺陷，同时减少过滤器更换费用。
附图说明
[0019]图1是本专利技术过滤器过滤光阻中的过程图；
[0020]图2是未过滤完全的光阻对产品产生影响的示意图
[0021]图3是本专利技术第一实施方式的监控方法的总体流程图；
[0022]图4是是本专利技术第二实施方式的监控方法的总体流程图；
[0023]图5是光阻供给系统的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]1：光阻供给瓶；2：缓冲器；3：泵；4：光阻过滤器；41：滤材；5：开关阀；6：喷嘴；7：芯
片；8；惰性气体供给部。
具体实施方式
[0026]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本专利技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本专利技术的概念。
[0027]显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0029]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030]图1是本专利技术过滤器过滤光阻中的过程图。
[0031]参见图1，过滤器使用带孔的滤材41来对未过滤的光阻进行过滤，滤材将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，包括：提供一光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻；运行所述光阻过滤器；获取所述光阻过滤器的过滤状态，并判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态；判断所述颗粒物的状态是否达到预设定的第二阈值；如果否，返回继续运行所述光阻过滤器；如果是，停止运行所述光阻过滤器，并抓取所述光阻过滤器当前的过滤状态为所述光阻过滤器使用周期。2.根据权利要求1所述的光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，所述方法还包括：对所述当前的过滤状态发出警报，以提示停止运行所述光阻过滤器。3.根据权利要求1所述的光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，所述获取所述光阻过滤器的过滤状态包括：实时获取所述光阻过滤器的过滤状态；或，定时获取所述光阻过滤器的过滤状态。4.根据权利要求1～3任意一项所述的光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，所述过滤状态为所述光阻过滤器的过滤量或过滤时间，所述第一阈值分别为预设定过滤量值或过滤时间值。5.根据权利要求1所述的光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，所述过滤状态包括所述光阻过滤器的过滤时间和过滤量，所述第一阈值包括预设定的过滤时间值和过滤量值；其中，判断所述过滤状态是否达到预设定的第一阈值包括：以更先达到所述预设定的过滤时间值和过滤量值中的一者进行所述第一阈值的判断。6.根据权利要求1所述的光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，所述颗粒物的状态包括颗粒物的数量和/或颗粒物的粒径。7.根据权利要求1所述的光阻过滤器使用周期的监控方法，其特征在于，所述获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态包括：实时获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态；或，定时获取所述光阻过滤器内所述颗粒物的状态。8.一种光阻过滤器使用周期的监控系统，其特征在于，所述监控系统监控光阻过滤器，所述光阻过滤器截留光阻内的颗粒物，以过滤所述光阻，所述监控系统包括：第一数据收集单元，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉铃，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：