【技术实现步骤摘要】
一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统
[0001]本技术涉及半导体生产辅助设备领域，具体涉及一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统。
技术介绍
[0002]晶圆通常放置在晶圆载盘上，晶圆加工时，将带有晶圆的载盘放入设备进料口，但由于现有设备进料口的限制，只能一片一片的进行上料，所以通常是工人在无尘车间手工上料，效率较低；同时人工上料有一个缺点，就是存在因为工人手持不平导致晶圆在上料口处被划伤，造成耗损。并且，人工上料，在完成上料后为了有更快的上料速度，通常会将带有晶圆的载盘拿起等待上料，这样会造成晶圆一直暴露早空气中，会存在微粒污染晶圆的情况；由于采用人工上料，存在上料时间效率不一致，进而导致生产时间和流程不能统一，容易造成设备闲置浪费，无法发挥设备的最大效能。所以需要一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统，来解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本方案意在提供一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统，避免传统加工设备采用人工上料效率低和耗损高的情况。为达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种自动上料提篮装置，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动上料提篮装置，包括对称设置的两侧板，两侧板之间设置有底板、顶板、前围板和后围板，顶板上部设有提手，其特征在于：所述侧板相对的一侧设置有多个晶圆容置槽，所述晶圆容置槽沿竖直方向依次分布；所述侧板相对一侧均设置有限位条，所述限位条与晶圆容置槽垂直设置，所述限位条一侧设有与晶圆容置槽相对应的限位槽。2.根据权利要求1所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述侧板上下两侧设置有第一安装槽，所述顶板和底板设置在第一安装槽内。3.根据权利要求2所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述顶板上端设置有提手安装架，所述提手安装架往侧板处延伸并与两侧板抵接；提手安装架与侧板通过螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述提手安装架一侧设有方向标识。5.根据权利要求4所述的一种自动上料提篮装置，其特征在于：所述提手为两个，分布在提手安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓艳平，陈明周，刘安仁，袁龙，
申请(专利权)人：江西盛泰精密光学有限公司，
类型：新型
国别省市：
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