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本实用新型涉及半导体生产辅助设备领域，公开了一种自动上料提篮装置及全自动固晶系统，包括相互对应设置的两侧板，两侧板之间设置有底板、顶板、前围板和后围板，顶板上部设有提手，所述侧板相对侧设置有对应的多个晶圆容置槽，所述晶圆容置槽沿竖直方向依次...
该专利属于江西盛泰精密光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西盛泰精密光学有限公司授权不得商用。

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