【技术实现步骤摘要】
一种金刚石气相沉积装置
[0001]本专利技术涉及气象沉积
，特别涉及一种金刚石气相沉积装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物等，它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。
[0003]中国专利CN208617977U公开了一种化学气相沉积装置，属于纳米材料制造领域，一种化学气相沉积装置，包括反应箱，反应箱下端固定连接有底座板，反应箱左右两侧分别设有微波发射器和真空泵，微波发射器与底座板上端之间固定连接有支撑柱，微波反射器和反应箱左端之间固定连接有波导管，且波导管与反应箱左端相连通，真空泵与反应箱之间固定连接有连通管，且真空泵与底座板上端固定连接，连通管与反应箱和真空泵均相连通，反应箱内底端固定连接有反应台，反应台上端固定连接有基片台加热器，基片台加热器上端固定连接有基片，对通向基片的反应气体进行预先布气，反应气体可以扩散均匀后在基片上反应，有效提高基片表面沉积的薄膜均匀...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金刚石气相沉积装置，包括炉体以及转动设置于炉体顶部的导流筒，其特征在于：所述炉体内腔中固定连接有底板，且底板与炉体顶壁之间滑动设置有隔板，导流筒穿过隔板并与隔板螺纹连接；所述底板上开设有贯穿的第一排气孔以及第二排气孔，所述隔板与导流筒之间设置有导流组件，且底板底端设置有与导流组件相配合的密封组件，所述密封组件能够交替对第一排气孔以及第二排气孔进行密封，使得通过导流组件的气体从底板处交替导出。2.根据权利要求1所述的一种金刚石气相沉积装置，其特征在于：所述导流组件包括滑动设置于导流筒内部的密封环以及密封筒，所述导流筒筒壁位于密封环处开设有第一通孔，导流筒筒壁位于密封筒处开设有第二通孔，所述隔板与底板之间设置有伸缩套管，所述伸缩套管的底端与第二排气孔相连通，且伸缩套管的顶端穿过隔板并与隔板固定连接，所述密封筒的底面上固定设置有连接板，连接板穿过底板并与底板滑动连接，且在连接板的两侧面上均固定连接有斜块。3.根据权利要求2所述的一种金刚石气相沉积装置，其特征在于：所述密封组件包括滑动设置于底板底部的密封块，密封块的顶部向上凸出形成密封台，所述密封台与底板相接触，底板的底面上固定连接有多个竖板，相邻两竖板之间固定连接有导向杆，所述导向杆贯穿密封台并与其滑动配合，且密封台与竖板之间连接有第一弹簧，所述密封块的下方设置有传动杆，所述传动杆外侧螺纹啮合有滑套，密封块底面上开设有条形槽，所述滑套的外侧面上向外凸出形成与条形槽滑动配合的凸起，所述滑套位于凸起处滑动设置有限位块，条形槽顶壁上开设有与限位块相配合的限位槽。4.根据权利要求3所述的一种金刚...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊芳，邱永强，
申请(专利权)人：山西方维晟智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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