下载一种金刚石气相沉积装置的技术资料

文档序号:37055477

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本发明公开了一种金刚石气相沉积装置,包括炉体以及转动设置于炉体顶部的导流筒,所述炉体内腔中固定连接有底板,且底板与炉体顶壁之间滑动设置有隔板,导流筒穿过隔板并与隔板螺纹连接;所述底板上开设有贯穿的第一排气孔以及第二排气孔,所述隔板与导流筒之...
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