溅射靶、烧结体及利用它们制造的导电膜、有机EL元件及其所用的衬底制造技术

作成一种烧结体，其含有作为成分的氧化铟、氧化锌、氧化锡的１种以上，在该烧结体中含有氧化铪、氧化钽、镧系氧化物、及氧化铋的任１种以上的金属。在该烧结体上安装背板构成溅射靶。利用该溅射靶通过溅射在给定衬底上制造导电膜。该导电膜维持与过去相同程度的透明性，同时实现大的功函数。使用该导电膜，能够实现空穴注入效率提高的ＥＬ元件等。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在LCD(Liuid Crystal Display液晶显示装置)或有机EL(Electroluminescence)元件等中使用的透明导电膜，特别是涉及其材料。而且，本专利技术涉及组成与其材料相同的烧结体和溅射靶。此外，涉及包含该烧结体等、用于形成透明导电膜的溅射靶。此外，本专利技术涉及上述有机EL(电致发光)元件及在该有机EL元件中使用的衬底、及其制造方法。更详细地说，涉及适于生活用及工业用的显示仪器(显示器)或者打印头的光源等中使用的有机EL元件及在该有机EL元件中使用的衬底及其制造方法。另外，有机EL元件也有时称为“有机电致发光装置”或“有机电致发光元件”、“有机EL发光装置”、“有机EL显示装置”等。另外，在本专利技术中，有机EL元件中所用的衬底由于设置了电极，因此也常常称为电极衬底。此外，本专利技术涉及使用这种电极衬底的有机EL元件。
技术介绍
现有的显示装置近年，LCD和有机EL显示装置的技术进步不断推进，提供了大量实现高显示性能、高节能性的产品。这些LCD和有机EL显示装置能够制成小型而且薄，因此被广泛特别用作手提电话、PDA(personalDigital Assistant)、个人计算机、便携式个人电脑(笔记本型计算机)、电视接收机等的显示机。构成有机EL显示装置的有机EL元件是利用有机化合物的发光元件，近年其性能的提高是惊人的。作为此有机EL元件的结构，根据在包含透明电极的阳极和阴极之间插入什么样的层，大致分为以下的种类。(1)单层型，是在阳极和阴极之间只设有包含有机化合物的发光层的结构，如果用符合表示，则是阳极/发光层/阴极的结构。(2)2层型，是在阳极和阴极之间形成空穴输送层和发光层这2层而成的结构，如果用符合表示，则是阳极/空穴输送层/发光层/阴极的结构。(3)3层型，是在阳极和阴极之间形成空穴输送层和发光层和电子输送层而成的3层结构，如果用符合表示，则是阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极。(4)4层型，是在阳极和阴极之间形成空穴注入层、空穴输送层、发光层和电子输送层而成的4层结构，如果用符合表示，则是阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极。在采用任何元件结构的情况下，都是从阳极注入的空穴和从阴极注入的电子通过空穴输送层或者电子注入层到达发光层，在该发光层，这些空穴和电子再结合。另外，在可称为EL元件的元件之中，也包括利用高分子化合物的高分子型有机EL元件、和利用磷光发光的磷光型发光元件等，分别进行了研究。现有的有机EL元件上面叙述的具有在(2个)电极间夹持有机发光层的结构的有机EL元件，从以下所示的理由等出发进行了悉心研究，历来作为开发的对象。(1)由于是完全固体元件，因此处理和制造容易。(2)由于能够自身发光，因此不需要发光构件。(3)由于可视性优异，因此适合于显示器。(4)全彩色化容易。可是，有机发光层是有机物，已知存在一般难以输送电子或空穴，因此易劣化，长期使用时，由于随时间变化而易发生漏电流这一问题。对于这样的问题，一直以来想了种种办法。例如，后述的专利文献1公开了减小阳极的功函数和空穴输送层的离子化能之间的能量差，以谋求长寿命化的有机EL元件。专利文献1记载为了达到这样的目的，在阳极中使用功函数比氧化锡铟(ITOIndium Tin Oxide)大、且导电性的金属氧化物材料。作为这样的导电性金属氧化物，例如记载了RuOx、MoO3、V2O5，专利文献1公开了使用这些金属氧化物的有机EL元件。另外，在该专利文献1中，为了提高光透射率(％)，提出了将这些导电性金属氧化物材料构成的薄膜和ITO层压得到的2层结构的阳极。另外，下述专利文献2中公开了与透明电极连接、配置金属线，使透明电极的电阻减少的有机EL元件。另外，下述专利文献3中公开了同样在透明电极上配置功函数小的金属，使透明电极的电阻减少的有机EL元件。另外，下述专利文献4中公开了在EL元件中使用辅助金属膜的例子。在辅助金属膜上特别地配置绝缘膜，防止绝缘破坏。另外，下述专利文献5中公开了为能够长期使用，在电极与有机发光层之间具备绝缘性薄膜层的有机EL元件。具体地说，该专利文献2所公开的有机EL元件采用在阳极层和有机发光层之间、或者阴极层与有机发光层之间具备包含氮化铝或氮化钽等的绝缘性薄膜层的构成。另外，下述专利文献6中公开了以提供不使用m-MTDATA和四芳基二胺衍生物等的低成本有机EL元件为目的，在电极与有机发光层之间，形成在NiO中添加In2O3、ZnO、SnO2或者B、P、C、N、O的至少一种的无机材料层、或者由Ni1-xO(0.05≤x≤0.5)而成的无机材料层的有机EL元件。另外，下述专利文献7中公开了将ITO表面氟化，得到功函数6.2eV的ITO的技术。日本专利第2824411号公报(特开平9-63771号公报)特开平4-82197号公报特开平5-307997号公报特公平5-76155号公报特开平8-288069号公报特开平9-260063号公报特开2000-277256号公报特开平9-63771号公报
技术实现思路
这样，在有机EL元件和高分子有机EL元件、磷光发光型元件等中，需要从阳极注入空穴，再通过空穴输送层将该空穴注入发光层中。为了顺利进行该注入，显然希望尽量减小该阳极和空穴输送层之间的能障壁。为了减小该能障壁，需要减小阳极材料功函数与空穴输送层所用的有机化合物具有的离子化电位之间的差。作为空穴输送物质，提出了各种各样的有机化合物，其中，芳香族胺类化合物，特别是三苯基胺衍生物、咔唑衍生物作为具有优异的功能的物质为人们所知。另外，作为此三苯基胺衍生物的三苯基胺，其离子化电位是5.5-5.6eV，作为咔唑衍生物的聚乙烯基咔唑的离子化电位是5.8eV。另一方面，作为透明导电膜，氧化铟-氧化锡(ITOIndium TinOxide)作为透明性好且电阻低的物质为人们所熟知。另外，ITO的功函数是4.9eV。因此，在包含这样的普通材料的阳极和空穴输送层之间存在0.6-0.9eV的较大能障壁。从这样的情况出发，例如在上述专利文献8(特开平9-63771号公报)中提出作为在阳极和阴极之间设置有机化合物层的有机发光元件中的阳极，使用由功函数比ITO大的金属氧化物构成的薄膜。可是，该金属氧化物薄膜构成的阳极一般透射率低。例如在氧化铽的场合，透射率为10％。另外，在氧化钒的场合，透射率为20％。为了改良这样的低透射率，也提出在ITO薄膜上层叠上述金属氧化物的300埃以下的超薄膜，成为2层结构。可是，在采用该2层结构的场合，透射率也就是40-60％左右，作为显示装置的透射率，不得不说是相当低的值。结果，现有的金属氧化物的薄膜不能说透明性是充分的。第1目的本专利技术是鉴于这样的课题而完成的，其目的是提供一种导电膜，其成为有机EL元件等的阳极的透明性优异，具有比以往大的功函数。通过使用这样的导电膜，能提供空穴的注入效率提高了的EL元件等。这是本专利技术的第1目的。如后所述，第1组专利技术主要用于实现该第1目的。其次认为，上述专利文献1所公开的有机EL元件，即使使用RuOx、MoO3、V2O5等金属氧化物材料，空穴的移动性和耐久性也还不充分。另外，RuOx、MoO3、V2O5等金属氧化物材料的光吸收系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅射靶，作为成分含有选自铟、锌、锡的１种以上的金属，其中，作为第三成分，含有选自铪、钽、铋或镧系金属的至少１种以上的金属。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上一吉，川村久幸，
申请(专利权)人：出光兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]