The invention relates to a method for improving the loose density and the vibration density of ITO powder by dry milling and sieving, belonging to the technical field of powder metallurgy. The method comprises the following steps of: putting ITO powder into a container containing a certain amount of zirconia balls to carry out dry milling and sieving; and the loose density and the density of the solid powder of the ITO powder are obviously improved. The method of dealing with the obtained ITO powder is completely applicable and beneficial to pressing and isostatic pressing made in the blank, in the pressing process to effectively reduce ITO blank off edge fracture, etc., to improve the ITO target yield and density, fully meet the current preparation of high density sintered ITO needs.
【技术实现步骤摘要】
通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法
本专利技术属于粉末冶金
,特别涉及一种通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法。
技术介绍
掺锡氧化铟(IndiumTinOxide),一般简称为ITO,ITO薄膜是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性,因此,它是液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(EL/OLED)、触摸屏(TouchPanel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料,ITO靶材是制备ITO导电薄膜的原料,目前ITO靶的生产主要通过烧结法制备。ITO粉是制备ITO靶材的原料,ITO粉末经过处理、压制或模铸、等静压制成素坯,烧结最终得到ITO靶材。ITO粉末的松装密度和振实密度直接影响后续的压制工艺,如松装密度过小将导致压制的素坯强度不足,或掉边掉角现象严重,进而影响到最终的靶材质量,在目前已公开的技术中,处理的ITO粉末松装密度和振实密度无法有效提高或存在其它问题,中国专利申请CN104148159A公开了一种利用球磨机精确控制一次粉松装密度的方法,但此方法较为复杂,辅助设备和工序较多,生产成本高,不利于规模化生产。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有的利用球磨机控制一次粉松装密度方法的不足之处,提供一种通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法。为实现上述目的,本专利技术的技术方案为:一种通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法,将ITO粉末放入装有定量氧化锆球的容器中进行干法球磨过筛,得到的IT ...
【技术保护点】
一种通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法,其特征在于,将ITO粉末放入装有定量氧化锆球的容器中进行干法球磨过筛,具体步骤为:(1)定量称取ITO粉末放入干净容器中;(2)按粉末质量计算所需比例氧化锆球重量和比例;(3)设定时间干法球磨并过筛;(4)取样测定松装密度和振实密度。
【技术特征摘要】
1.一种通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法,其特征在于,将ITO粉末放入装有定量氧化锆球的容器中进行干法球磨过筛,具体步骤为:(1)定量称取ITO粉末放入干净容器中;(2)按粉末质量计算所需比例氧化锆球重量和比例;(3)设定时间干法球磨并过筛;(4)取样测定松装密度和振实密度。2.根据权利要求1所述的通过干法球磨过筛提高ITO粉末松装密度和振实密度的方法,其特征在于所述的提高铟锡比例(In2O3:SnO2)wt%=90:10的ITO粉末的松装密度和振实密度步骤为:(1)原始ITO粉末松装密度为0.6g/cm3~0.9g/cm3,振实密度为1.25g/cm3~1.65g/cm3;(2)取ITO粉末3kg装入容器中;(3)称取氧化锆球4.5kg;(4)设定干...
【专利技术属性】
技术研发人员:张红梅,左宁伟,马建保,方煕成,张淑琴,徐军伟,周帆,征卫星,
申请(专利权)人:西北稀有金属材料研究院,
类型:发明
国别省市:宁夏,64
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