本发明专利技术涉及晶圆清洗技术领域，具体为一种晶圆水平清洗装置的清洗方法，包括以下步骤：1)注水，打开进料口上的封口盖，通过进料口向水箱的内腔加入清水；2)夹紧固定，通过两个夹紧组件将待清洗的晶圆夹紧固定；3)首次清洗，启动冲洗机构对晶圆进行冲洗，同时启动刷洗机构对晶圆的表面进行刷洗，清洗完毕后，停止冲击机构和刷洗机构；4)翻面，通过翻转机构的启动，使得两个夹紧组件带动晶圆旋转，并且使得夹紧组件向上挤压刷洗机构，直到晶圆旋转度后停止翻转机构，此时刷洗机构复位与晶圆未被清洗的面接触；5)再次清洗，再次同时启动刷洗机构和冲洗机构来对晶圆进行清洗。实现了晶圆高效清洗的目的，无需人工来进行翻转，使用方便。使用方便。使用方便。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆水平清洗装置的清洗方法
[0001]本专利技术涉及晶圆清洗
，具体为一种晶圆水平清洗装置的清洗方法。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]晶圆加工后需要对晶圆表面的杂质进行清洗，但是目前市场上的大多数水平清洗装置对晶圆的表面清洗后，需要人工去取出晶圆翻面再固定，然后进行清洗，这种方式存在清洗效率的问题，且较为麻烦，故而提出一种晶圆水平清洗装置及清洗方法来解决上述问题。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种晶圆水平清洗装置的清洗方法，具备高效清洗等优点，解决了大多数水平清洗装置对晶圆的表面清洗后，需要人工去取出晶圆翻面再固定，然后进行清洗，存在清洗效率低的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述高效清洗的目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆水平清洗装置的清洗方法，包括以下步骤：
[0008]1)注水，打开进料口上的封口盖，通过进料口向水箱的内腔加入清水；
[0009]2)夹紧固定，通过两个夹紧组件将待清洗的晶圆夹紧固定；
[0010]3)首次清洗，启动冲洗机构对晶圆进行冲洗，同时启动刷洗机构对晶圆的表面进行刷洗，清洗完毕后，停止冲击机构和刷洗机构；
[0011]4)翻面，通过翻转机构的启动，使得两个夹紧组件带动晶圆旋转，并且使得夹紧组件向上挤压刷洗机构，直到晶圆旋转度后停止翻转机构，此时刷洗机构复位与晶圆未被清洗的面接触；
[0012]5)再次清洗，再次同时启动刷洗机构和冲洗机构来对晶圆进行清洗。
[0013]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，
[0014]所述晶圆水平清洗装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有U形框和水箱，所述底板的顶部固定连接有位于U形框内腔的翻转机构，所述U形框内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构啮合的夹紧组件，所述U形框内腔的顶部固定连接有与夹紧组件顶部活动连接的刷洗机构，所述水箱的顶部连通有进料口，所述进料口的外表面活动连接有封口盖，所述水箱的顶部固定连接有底部贯穿至水箱的内腔且左侧贯穿至U形框内腔的冲洗机构；
[0015]所述翻转机构包括与底板顶部固定连接且位于U形框内腔的双轴电机，所述双轴电机两个输出轴均固定连接有主动转轴，所述主动转轴远离双轴电机一侧的外表面套接有
第一锥形齿轮，两个所述第一锥形齿轮的顶部均啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的轴心处固定连接有与底板顶部转动连接的从动转轴，所述从动转轴远离底板一侧的外表面套接有第三锥形齿轮。
[0016]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述从动转轴通过支撑轴承与底板的顶部转动连接。
[0017]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：两个所述夹紧组件分别与U形框内腔的左右两侧转动连接的旋转轴，两个所述旋转轴相对的一侧均固定连接有U形板，所述U形板内腔的底部转动连接有顶部贯穿至U形板外侧的驱动轴，所述驱动轴的顶部固定连接有把手，所述驱动轴的外表面螺纹连接有两个滑块，所述滑块的外表面固定连接有贯穿至U形板外侧的夹板，所述旋转轴的外表面套接有与第三锥形齿轮啮合的第四锥形齿轮，所述U形板的外表面套接有凸轮。
[0018]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述驱动轴的外表面开设有两个相反的外螺纹，所述滑块的内腔开设有与对应外螺纹相适配的内螺纹。
[0019]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述滑块远离夹板的一侧固定连接有与U形板内腔壁滑动连接的限位块，两个所述U形板相对一侧的内腔壁均开设有与限位块相适配的限位槽。
[0020]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述旋转轴靠近U形框内腔壁一侧的外表面套接有辅助轴承，所述旋转轴通过辅助轴承与U形框的内腔壁转动连接。
[0021]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述刷洗机构包括与U形框内腔的顶部固定连接的伸缩杆，所述伸缩杆的底部固定连接有与两个凸轮顶部均活动连接的连接板，所述U形框与连接板之间固定连接有套接于伸缩杆外表面的弹簧，所述连接板的底部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有清洗刷。
[0022]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述伸缩杆包括与U形框内腔的顶部固定连接的空心杆，所述空心杆的内腔滑动连接有与连接板顶部固定连接的实心杆。
[0023]优选地，本专利技术的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述冲洗机构包括与水箱顶部固定连接的水泵，所述水泵的进水口固定连接有底部贯穿至水箱内腔的进水管，所述水泵的出水口固定连接有左侧贯穿至U形框内腔的排水管，所述排水管远离水泵的一端连通有喷头。
[0024](三)有益效果
[0025]与现有技术相比，本专利技术提供了一种晶圆水平清洗装置及清洗方法，具备以下有益效果：
[0026]该晶圆水平清洗装置及清洗方法，通过夹紧组件将晶圆夹紧固定后，同时启动刷洗机构和冲洗机构来对晶圆进行清洗，待晶圆其中的一面被清洗完后，启动翻转机构即可带动两个夹紧组件进行旋转，夹紧组件旋转的同时向上挤压刷洗机构，使得晶圆在翻转的过程中不会与刷洗机构发生磕碰，晶圆翻转180度后停止翻转机构，再次通过刷洗机构和冲洗机构来对晶圆的另一面进行清洗，实现了晶圆水平清洗装置高效清洗的目的，无需人工来进行翻转，使用方便。
附图说明
[0027]图1为本专利技术提出的一种晶圆水平清洗装置的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术提出的一种晶圆水平清洗装置翻转机构的结构示意图；
[0029]图3为本专利技术提出的一种晶圆水平清洗装置夹紧组件的结构示意图；
[0030]图4为本专利技术提出的一种晶圆水平清洗装置刷洗机构的结构示意图；
[0031]图5为本专利技术提出的一种晶圆水平清洗装置冲洗机构的结构示意图。
[0032]图中：1底板、2U形框、3翻转机构、31双轴电机、32主动转轴、33第一锥形齿轮、34第一锥形齿轮、35从动转轴、36第三锥形齿轮、4夹紧组件、41旋转轴、42U形板、43驱动轴、44把手、45滑块、451限位块、46夹板、47第四锥形齿轮、48凸轮、5刷洗机构、51伸缩杆、52弹簧、53连接板、54驱动电机、55清洗刷、6水箱、7进料口、8封口盖、9冲洗机构、91水泵、92进水管、93排水管、94喷头。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆水平清洗装置的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1)注水，打开进料口(7)上的封口盖(8)，通过进料口(7)向水箱(6)的内腔加入清水；2)夹紧固定，通过两个夹紧组件(4)将待清洗的晶圆夹紧固定；3)首次清洗，启动冲洗机构(9)对晶圆进行冲洗，同时启动刷洗机构(5)对晶圆的表面进行刷洗，清洗完毕后，停止冲击机构(9)和刷洗机构(5)；4)翻面，通过翻转机构(3)的启动，使得两个夹紧组件(4)带动晶圆旋转，并且使得夹紧组件(4)向上挤压刷洗机构(5)，直到晶圆旋转(1)(8)(0)度后停止翻转机构(3)，此时刷洗机构(5)复位与晶圆未被清洗的面接触；5)再次清洗，再次同时启动刷洗机构(5)和冲洗机构(9)来对晶圆进行清洗。2.根据权利要求1所述的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于，所述晶圆水平清洗装置，包括底板(1)，所述底板(1)的顶部固定连接有U形框(2)和水箱(6)，所述底板(1)的顶部固定连接有位于U形框(2)内腔的翻转机构(3)，所述U形框(2)内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构(3)啮合的夹紧组件(4)，所述U形框(2)内腔的顶部固定连接有与夹紧组件(4)顶部活动连接的刷洗机构(5)，所述水箱(6)的顶部连通有进料口(7)，所述进料口(7)的外表面活动连接有封口盖(8)，所述水箱(6)的顶部固定连接有底部贯穿至水箱(6)的内腔且左侧贯穿至U形框(2)内腔的冲洗机构(9)；所述翻转机构(3)包括与底板(1)顶部固定连接且位于U形框(2)内腔的双轴电机(31)，所述双轴电机(31)两个输出轴均固定连接有主动转轴(32)，所述主动转轴(32)远离双轴电机(31)一侧的外表面套接有第一锥形齿轮(33)，两个所述第一锥形齿轮(33)的顶部均啮合有第二锥形齿轮(34)，所述第二锥形齿轮(34)的轴心处固定连接有与底板(1)顶部转动连接的从动转轴(35)，所述从动转轴(35)远离底板(1)一侧的外表面套接有第三锥形齿轮(36)。3.根据权利要求2所述的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：所述从动转轴(35)通过支撑轴承与底板(1)的顶部转动连接。4.根据权利要求2所述的水平清洗装置的清洗方法，其特征在于：两个所述夹紧组件(4)分别与U形框(2)内腔的左右两侧转动连接的旋转轴(41)，两个所述旋转轴(41)相对的一侧均固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，周志勇，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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