一种晶圆水平传输装置制造方法及图纸

本申请涉及一种晶圆水平传输装置，包括：水平安装座、水平滑轨、晶圆支撑座，传输带的上半部分位于水平滑轨正上方，水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆水平传输装置


[0001]本申请属于晶圆生产设备
，尤其是涉及一种晶圆水平传输装置。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆的制造过程中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素。因此，清洗是其中最重要和最频繁的工艺之一。晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的各类污染物，例如，有机物、金属杂质或微细颗粒、需要去除的PSG层等，该清洗通常需要在盛放有各种清洗液的不同的清洗槽内进行，因此，晶圆在不同工艺设备之间运动时就需要传输装置来进行传输。
[0003]CN217955823U公开了一种晶圆水平传输机构，包括：水平安装座；水平滑轨，设置在水平安装座上，位于水平安装座顶面，从其传输方向依次分为上料段
‑
传输段
‑
下料段；晶圆支撑座，用于承接晶圆，设置于水平滑轨上，具有竖直部分以及通过转轴转动地连接在竖直部分上的水平部分，所述水平部分在容纳晶圆后能够使水平部分相对于水平面形成一定的夹角，水平部分上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；驱动件，用于驱动水平安装座在水平滑轨上移动；还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座上的水平调整轮，与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块，所述水平调整块具有倾斜的底面，晶圆支撑座从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮在水平调整块的底面上滑动，从而将晶圆支撑座的水平部分调整为水平。然而该晶圆水平传输机构中，水平安装座与皮带传动带的连接位置位于水平安装座的侧面，导致水平安装座受力不平衡，容易发生晃动。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种运行稳定的晶圆水平传输装置。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种运行稳定的晶圆水平传输装置，包括：
[0007]水平安装座，所述水平安装座内部中空形成腔室；
[0008]水平滑轨，设置在水平安装座上，位于水平安装座顶面；
[0009]晶圆支撑座，用于承接晶圆，设置于水平滑轨上，具有立柱以及通过转轴转动地连接在立柱上的水平承接板，所述水平承接板在容纳晶圆后能够使水平承接板相对于水平面形成一定的夹角，水平承接板上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；
[0010]传输带机构，包括分别位于水平安装座两端的传输轮，和位于两个传输轮之间的传输带，所述传输带分为位于水平滑轨正上方的上半部分和位于所述水平安装座内部的下半部分，所述水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，且所述连接块位于两根立柱之间；
[0011]还包括驱动件，所述驱动件用于驱动其中一个传输轮转动从而使得水平安装座在
水平滑轨上移动，传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。
[0012]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述立柱底部设置有过孔，以供传输带穿过，同时过孔的顶部内壁抵靠住传输带。
[0013]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述立柱设置有两个与水平滑轨配合的滑块，所述连接块位于两个滑块之间。
[0014]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述驱动件通过传动带与其中一个传输轮实现传动。
[0015]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，驱动件安装于位于水平安装座侧面的安装板上。
[0016]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述安装板上还设置有压紧轮以压紧传动带。
[0017]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，水平安装座由平行的第一侧板和第二侧板以及位于第一侧板和第二侧板顶部的顶板构成，水平滑轨设置在顶板上。
[0018]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，第一侧板和第二侧板底部设置有支撑块，第一侧板上开设有槽。
[0019]优选地，本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，所述水平安装座内部的腔室内还设置有限位轮，以限制所述传输带的下半部分。
[0020]本专利技术的有益效果是：
[0021]本专利技术的运行稳定的晶圆水平传输装置，传输带的上半部分位于水平滑轨正上方，水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。
附图说明
[0022]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0023]图1是本申请实施例的运行稳定的晶圆水平传输装置的一个方向的结构示意图；
[0024]图2是本申请实施例的运行稳定的晶圆水平传输装置的另一个方向的结构示意图；
[0025]图3是本申请实施例的水平安装座的结构示意图；
[0026]图中的附图标记为：
[0027]1 水平安装座；
[0028]2 水平滑轨；
[0029]3 晶圆支撑座；
[0030]4 传输带机构；
[0031]11 第一侧板；
[0032]12 第二侧板；
[0033]13 限位轮；
[0034]14 支撑块；
[0035]21 驱动件；
[0036]22 传动带；
[0037]23 传输带；
[0038]24 压紧轮；
[0039]25 连接块；
[0040]26 安装板；
[0041]31 立柱；
[0042]32 水平承接板；
[0043]33 转轴；
[0044]34 限位杆；
[0045]35 滑块；
[0046]41 传输轮；
[0047]9晶圆。
具体实施方式
[0048]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0049]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0050]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，包括：水平安装座(1)，所述水平安装座(1)内部中空形成腔室；水平滑轨(2)，设置在水平安装座(1)上，位于水平安装座(1)顶面；晶圆支撑座(3)，用于承接晶圆，设置于水平滑轨(2)上，具有立柱(31)以及通过转轴(33)转动地连接在立柱(31)上的水平承接板(32)，所述水平承接板(32)在容纳晶圆后能够使水平承接板(32)相对于水平面形成一定的夹角，水平承接板(32)上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；传输带机构(4)，包括分别位于水平安装座(1)两端的传输轮(41)，和位于两个传输轮(41)之间的传输带(23)，所述传输带(23)分为位于水平滑轨(2)正上方的上半部分和位于所述水平安装座(1)内部的下半部分，所述水平滑轨(2)的上半部分通过连接块(25)将晶圆支撑座(3)与所述传输带(23)连接，且所述连接块(25)位于两根立柱(31)之间；还包括驱动件(21)，所述驱动件(21)用于驱动其中一个传输轮(41)转动从而使得水平安装座(1)在水平滑轨(2)上移动，传输带(23)、水平滑轨(2)以及转轴(33)的中心共线，且位于竖直线上。2.根据权利要求1所述的运行稳定的晶圆水平传输装置，其特征在于，所述立柱(31)底部设置有过孔，以供传输带(23)穿过，同时...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，吴亚晨，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：