一种晶圆传送盒抓取升降机构制造技术

本申请涉及一种晶圆传送盒抓取升降机构，所述晶圆传送盒抓取升降机构由立柱、竖直升降组件、滑台和抓取机构组成，两个卡爪相互靠近时抓取住晶圆传送盒，相互远离时放开晶圆传送盒。从卡爪底部的开口可以方便将识别块安装到安装槽内，在需要时也可以更换识别块。通过识别块与晶圆传送盒顶部的固定板侧面的识别槽相匹配，从而通过识别槽的形状就可以分辨晶圆传送盒的类别。传送盒的类别。传送盒的类别。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传送盒抓取升降机构


[0001]本申请属于晶圆制造设备
，尤其是涉及一种晶圆传送盒抓取升降机构。

技术介绍

[0002]前开式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod)是存储装有晶圆的晶圆篮的传载容器，在半导体制备过程中起到保护、运送的作用。中国技术专利文献CN217606793U公开了一种FOUP自动搬运设备，其中的附图10和11及说明书0047段公开了晶圆传送盒抓取机构。中国技术专利文献CN208629426U公开的自主移动搬运机器人中的图23和24中也公开了晶圆传送盒抓取机构。
[0003]在使用时，未处理的晶圆第一晶圆传送盒输送到处理装置内，晶圆经过处理后再由第二晶圆传送盒盛装并输送到下一步骤。如果上下料机构设置成一体，就需要晶圆传送盒抓取机构分辨晶圆传送盒是哪一种。然而，上述晶圆传送盒抓取机构均不能对被抓取的晶圆传送盒的类别进行识别。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够分辨类别的晶圆传送盒抓取升降机构。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种晶圆传送盒抓取升降机构，包括：
[0007]立柱；
[0008]竖直升降组件，固定在立柱上；
[0009]滑台，设置在竖直升降组件上，能够沿竖直升降组件做升降运动；
[0010]安装板，设置在滑台上；
[0011]抓取机构，包括设置在安装板上的驱动件，滑轨，设置在滑轨上的两个卡爪，所述驱动件能够驱动两个卡爪相互靠近或者远离；所述卡爪相对一面设置有卡槽，卡槽中心设置有竖直方向布置的安装槽，所述安装槽内安装有识别块，所述安装槽的开口位于所述卡爪底部；识别块与晶圆传送盒顶部的固定板侧面的识别槽相匹配。
[0012]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，所述识别槽为V形，识别块的形状为三角形。
[0013]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，所述安装槽的底壁为斜面。
[0014]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，靠近安装板的卡爪上成型有过孔，安装板从过孔中伸入。也即安装板提供卡抓取机构的安装基础。
[0015]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，所述驱动件为无杆气缸。
[0016]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，所述安装板的前端的宽度变小。
[0017]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，远离安装板的卡爪上设置有通孔，以方便所述驱动件的气管从通孔中穿出。
[0018]优选地，本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，两个卡爪上均成型有过孔，安装板从过孔中穿过。
[0019]本技术的有益效果是：
[0020]本技术的晶圆传送盒抓取升降机构，由立柱、竖直升降组件、滑台和抓取机构组成，两个卡爪相互靠近时抓取住晶圆传送盒，相互远离时放开晶圆传送盒。从卡爪底部的开口可以方便将识别块安装到安装槽内，在需要时也可以更换识别块。通过识别块与晶圆传送盒顶部的固定板侧面的识别槽相匹配，从而通过识别槽的形状就可以分辨晶圆传送盒的类别。
附图说明
[0021]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0022]图1是本申请实施例的晶圆传送盒抓取升降机构的结构示意图；
[0023]图2是本申请实施例的抓取机构一个方向的结构示意图；
[0024]图3是本申请实施例的抓取机构另一个方向的结构示意图；
[0025]图4是本申请实施例的晶圆传送盒的结构示意图；
[0026]图中的附图标记为：
[0027]1 立柱；
[0028]2 竖直升降组件；
[0029]3 滑台；
[0030]4 安装板；
[0031]5 抓取机构；
[0032]9 晶圆传送盒；
[0033]51 卡爪；
[0034]52 驱动件；
[0035]53 滑轨；
[0036]91 固定板；
[0037]512 安装槽；
[0038]513 过孔；
[0039]514 通孔。
具体实施方式
[0040]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0041]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等
的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0042]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0043]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0044]实施例
[0045]本实施例提供一种晶圆传送盒抓取升降机构，如图1所示，包括：
[0046]立柱1；
[0047]竖直升降组件2，固定在立柱1上；竖直升降组件2由电机(电机由图1中顶部的电机仓所容纳)、导轨和螺杆构成(使用的是标准件)，滑台3与螺杆配合并设置在导轨上，电机驱动螺杆转动，进而使滑台3在导轨上运动；
[0048]滑台3，设置在竖直升降组件2上，能够沿竖直升降组件2做升降运动；
[0049]安装板4，设置在滑台3上；
[0050]抓取机构5，包括设置在安装板4上的驱动件52，滑轨53，设置在滑轨53上的两个卡爪51，所述驱动件52能够驱动两个卡爪51相互靠近或者远离；所述卡爪51相对一面设置有卡槽，卡槽中心设置有竖直方向布置的安装槽512，所述安装槽512内安装有识别块，所述安装槽512的开口位于所述卡爪51底部，也即从卡爪51底部的开口可以方便将识别块安装到安装槽512内(识别块比安装槽512孔径稍大，即可实现装配)；识别块与晶圆传送盒9顶部的固定板91侧面的识别槽相匹配。不同的晶圆传送盒9可以设置不同的识别槽，当无法识别块与识别槽无法匹配时，说明抓错了晶圆传送盒9。
[0051]本实施例的晶圆传送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送盒抓取升降机构，其特征在于，包括：立柱(1)；竖直升降组件(2)，固定在立柱(1)上；滑台(3)，设置在竖直升降组件(2)上，能够沿竖直升降组件(2)做升降运动；安装板(4)，设置在滑台(3)上；抓取机构(5)，包括设置在安装板(4)上的驱动件(52)，滑轨(53)，设置在滑轨(53)上的两个卡爪(51)，所述驱动件(52)能够驱动两个卡爪(51)相互靠近或者远离；所述卡爪(51)相对一面设置有卡槽，卡槽中心设置有竖直方向布置的安装槽(512)，所述安装槽(512)内安装有识别块，所述安装槽(512)的开口位于所述卡爪(51)底部；识别块与晶圆传送盒(9)顶部的固定板(91)侧面的识别槽相匹配。2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒抓取升降机构，其特征在于，所述识别槽为V形，识别块的形状为三角形。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，李宝冬，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：