一种扩晶机的限位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种扩晶机的限位装置，属于晶片扩晶领域，扩晶机包括下压板、上压板、扩晶盘以及驱动扩晶盘上下运动的气缸，下压板的边缘铰接有上压板，上压板与下压板之间设置有锁紧机构，上压板、下压板的中部对应设置有圆孔，扩晶盘位于圆孔处，扩晶盘底部与气缸相连，其特征在于，所述限位装置包括磁吸限位感应器，磁吸限位感应器固定设置在气缸的缸筒外壁，磁吸限位感应器与控制气缸气路的电磁阀电连接；本实用新型专利技术通过改变电控方式来实现扩晶盘的上行限位，以保证晶片扩张的程度一致，同时又避免了机械式接触。时又避免了机械式接触。时又避免了机械式接触。

【技术实现步骤摘要】
一种扩晶机的限位装置


[0001]本技术涉及晶片扩晶
，具体涉及一种扩晶机的限位装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，在LED晶片的生产过程中，LED晶粒的检测和分选是一道十分重要的工序，为了易于对LED晶粒的检测和分选，必须对LED晶圆的载体——晶片膜进行扩张，使得贴在晶片膜上已经切割好的晶粒均匀扩张，扩晶机应需而生。
[0003]现有的扩晶机一般包括上压膜板、下压膜板、圆形扩晶盘和压盖，其中上膜压板与下压膜板具有相互对应的圆形窗口。在扩晶时，通过驱动装置驱动扩晶盘向上运动，从而拉伸晶片膜，使得晶片膜上的晶片扩张。驱动装置通常采用气缸，并通过手动控制按钮进行对气缸的运动行程调节。在正常扩晶时，需要多次点动气缸上升开关进行扩晶，点动过程中需时刻观察间距，造成时间浪费，同时气缸顶起高度过高时，需要将蓝膜缩回重新进行扩晶，造成蓝膜褶皱，导致崩边的风险。气缸的运动行程不能保持一致，从而使得晶片扩张的程度不一致，从而对晶粒的检测和分选造成了一定的影响。
[0004]为解决上述问题，现有技术公布号为CN107833851A的技术专利公开了一种扩晶机，其通过增设限位机构，当扩晶盘向上运动至与限位板接触时，停止扩晶盘的运动，从而保证晶片扩张的程度一致。
[0005]上述现有技术通过机械结构对扩晶盘的上行极限进行限位，但是这种方式容易在扩晶盘与限位板接触时产生微小振动，就有可能影响晶粒在晶片上的牢度而导致少许晶粒脱落，产生不良，从而影响后续的连续化取晶固晶。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种扩晶机的限位装置，通过改变电控方式来实现扩晶盘的上行限位，以保证晶片扩张的程度一致，同时又避免了机械式接触。
[0007]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种扩晶机的限位装置，扩晶机包括下压板、上压板、扩晶盘以及驱动扩晶盘上下运动的气缸，下压板的边缘铰接有上压板，上压板与下压板之间设置有锁紧机构，上压板、下压板的中部对应设置有圆孔，扩晶盘位于圆孔处，扩晶盘底部与气缸相连，其特征在于，所述限位装置包括磁吸限位感应器，磁吸限位感应器固定设置在气缸的缸筒外壁，磁吸限位感应器与控制气缸气路的电磁阀电连接。
[0008]进一步的，扩晶机设置有分别用于控制气缸顶升和下降的开关按钮。
[0009]更进一步的，顶升开关按钮与第一电磁阀及磁吸限位感应器形成控制回路；下降开关按钮与第二电磁阀及磁吸限位感应器形成控制回路。
[0010]进一步的，当气缸的活塞杆上行至预设高度时，触发磁吸限位感应器，磁吸限位感应器将信号传输回气缸的控制器，使得电磁阀闭合，气缸停止充气。
[0011]本技术的有益效果是：本技术利用常规气缸推动装置为金属材质，可以被磁吸感应，通过在气缸侧面加装磁吸限位感应器，并与气缸的控制器电连接，当气缸推动器到达磁吸限位感应器后，此时气缸顶出达到预设高度，磁吸限位感应器将信号传输回气缸的控制器，使得电磁阀闭合，气缸停止充气，实现控制扩晶盘的上行限位，保证晶片扩张的程度一致，以方便后续的固晶作业，同时提升生产效率，减少不良的出现。
附图说明
[0012]图1是本技术的结构示意图；
[0013]图2是本技术磁吸限位感应器在气缸控制器的电路连接图；
[0014]图中：1.下压板，2.上压板，3.扩晶盘，4.气缸，5.锁紧机构，6.圆孔，7.磁吸限位感应器，81.顶升开关按钮，82.下降开关按钮，83.压盖开关按钮，91.第一电磁阀，92.第二电磁阀，10.常闭继电器，11.压盖，12.压盖气缸。
具体实施方式
[0015]下面结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。
[0016]如图1和图2所示，本实施例提供一种扩晶机的限位装置，扩晶机包括下压板1、上压板2、扩晶盘3以及驱动扩晶盘3上下运动的气缸4，下压板1的边缘铰接有上压板2，上压板2与下压板1之间设置有锁紧机构5，上压板2、下压板1的中部对应设置有圆孔6，扩晶盘3位于圆孔6处，扩晶盘3底部与气缸4相连。
[0017]另外，上压板2上侧设置有压盖11，压盖11上部连接有驱动其上下运动的压盖气缸12。扩晶机外部还设置有分别用于控制气缸4顶升和下降的顶升开关按钮81和下降开关按钮82，以及控制压盖气缸12的压盖开关按钮。
[0018]扩晶机的使用过程：下压板1与上压板2上下叠放，将带扩晶的晶片蓝膜固定在上压板2和下压板1之间、位于扩晶盘3上侧，然后用锁紧机构5锁紧；启动气缸4使其向上顶升扩晶盘3，扩晶盘3随之顶升蓝膜至预设高度实施扩晶，扩晶后利用压盖气缸12控制压盖下压，即完成扩晶。
[0019]本实施例中，所述限位装置包括磁吸限位感应器7，磁吸限位感应器7固定设置在气缸4的缸筒外壁，见图1所示，磁吸限位感应器7与控制气缸4气路的电磁阀电连接。顶升开关按钮81与第一电磁阀91及磁吸限位感应器7形成控制回路，第一电磁阀91通过常闭继电器10连接顶升开关按钮81；下降开关按钮82与第二电磁阀92及磁吸限位感应器7形成控制回路，见图2所示。当气缸4的活塞杆上行至预设高度时，触发磁吸限位感应器7，磁吸限位感应器7将信号传输回气缸的控制器，使得电磁阀闭合，气缸4停止充气。本实施例中的气缸4的具体产品型号为SC50
×
100
‑
S，磁吸限位感应器7的具体产品型号为CS1
‑
F。
[0020]使用时，首先将气路气压调整为0.4
‑
0.5MPa，按照电路图将电磁感连接到气缸的控制器中，并将磁吸限位感应器7固定于气缸4的缸筒上，根据需要的高度，调整感应器的位置，打开电路实现高度控制。
[0021]上述实施例中，通过控制磁吸限位感应器7，在气缸4缸筒上的安装位置，使其与气缸活塞杆的行程相适配，活塞杆顶升预设高度时恰好触发磁吸限位感应器7。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩晶机的限位装置，扩晶机包括下压板(1)、上压板(2)、扩晶盘(3)以及驱动扩晶盘(3)上下运动的气缸(4)，下压板(1)的边缘铰接有上压板(2)，上压板(2)与下压板(1)之间设置有锁紧机构(5)，上压板(2)、下压板(1)的中部对应设置有圆孔(6)，扩晶盘(3)位于圆孔(6)处，扩晶盘(3)底部与气缸(4)相连，其特征在于，所述限位装置包括磁吸限位感应器(7)，磁吸限位感应器(7)固定设置在气缸(4)的缸筒外壁，磁吸限位感应器(7)与控制气缸(4)气路的电磁阀电连接。2.根据权利要求1所述的扩晶机的限位装置，其特征在于，扩晶机设置有分...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕振法，范永胜，段花山，孔凡伟，赵忠杰，
申请(专利权)人：山东晶导微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：