臭氧槽装置和电池片清理系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了臭氧槽装置和电池片清理系统，臭氧槽装置包括：臭氧槽，所述臭氧槽的敞口处设有盖板，所述臭氧槽与所述盖板围合形成容纳腔，所述盖板上设有抽气孔；臭氧气体处理单元，所述臭氧气体处理单元与所述抽气孔相连接；碱液供应单元，所述碱液供应单元通过第一碱液管道与所述臭氧槽相连接。本实用新型专利技术避免了臭氧从臭氧槽扩散至机台造成机台表面腐蚀，从而导致硅片批量不良的问题，且排气管道和排液管道均可采用普通材质，降低了臭氧槽装置的总体成本。置的总体成本。置的总体成本。

【技术实现步骤摘要】
臭氧槽装置和电池片清理系统


[0001]本技术涉及电池片清理系统
，具体而言，本技术涉及一种臭氧槽装置和电池片清理系统。

技术介绍

[0002]臭氧水因其具有强氧化性、无污染以及使用成本低等优点，在太阳电池清洗工艺中正在大范围普及。但在大范围普及的同时，仍存在诸多问题，一方面，因为臭氧水具有强氧化性，所以对排液管道耐臭氧的能力提出了较高的要求，但是耐臭氧等级高的材料价格昂贵。另一方面，因为臭氧比空气重，部分未溶解在水中的臭氧和槽中释放的臭氧会聚集在机台下层，不容易被机台顶部排风管道抽吸走。臭氧长时间聚集会对机台表面造成腐蚀，且臭氧随排风管道排出时，也会对排风管道造成腐蚀；更严重的是，臭氧会在机台内扩散，扩散至机台内的其他清洗槽区域，严重影响其他清洗槽的清洗工艺，造成不良；并且，臭氧将机台表面腐蚀后的副产物可能会点落在各清洗槽体内，清洗制绒时会附着在硅片表面，导致批量不良。
[0003]目前针对臭氧的解决方案是：1、针对排液管道和机台的材质，一般选择的是昂贵的PVDF或PVC材质。2、针对臭氧聚集和扩散问题，一般是在臭氧槽区域安装隔离门将臭氧区域进行隔离，尽量减少臭氧扩散到其他清洗区域。
[0004]但是，在化工行业中，废液、废气产生处与废水处理池、废气处理塔有较远的间隔距离，因此较长的排液、排气管道如果均采用昂贵的PVDF或PVC材质，会导致排液、排气管道的成本较高。即便将臭氧区域进行隔离，臭氧也会在隔离区域的机台内聚集，臭氧长时间在隔离区域的机台内聚集，也会造成隔离区域的机台表面容易腐蚀，腐蚀的材料掉落在臭氧清洗槽体中，在硅片的清洗过程中会附着在硅片表面，造成批量不良。

技术实现思路

[0005]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的目的在于提出一种臭氧槽装置和电池片清理系统。本技术避免了臭氧从臭氧槽扩散至机台造成机台表面腐蚀，从而导致硅片批量不良的问题，且排气管道和排液管道均可采用普通材质，降低了臭氧槽装置的总体成本。
[0006]在本技术的第一个方面，提出了一种臭氧槽装置。根据本技术的实施例，所述臭氧槽装置包括：
[0007]臭氧槽，所述臭氧槽的敞口处设有盖板，所述臭氧槽与所述盖板围合形成容纳腔，所述盖板上设有抽气孔；
[0008]臭氧气体处理单元，所述臭氧气体处理单元与所述抽气孔相连接；
[0009]碱液供应单元，所述碱液供应单元通过第一碱液管道与所述臭氧槽相连接。
[0010]根据本技术上述实施例的臭氧槽装置，未溶解在臭氧槽中的臭氧和槽中释放的臭氧可通过抽气孔抽送至臭氧气体处理单元进行处理，避免了臭氧从臭氧槽扩散至机台
造成机台表面腐蚀，从而导致硅片批量不良的问题；且经过臭氧气体处理单元处理过的废气已经不具有强氧化性，因此采用普通材质的排气管道即可进行排气，降低了臭氧槽装置的总体成本；同时，经过碱液供应单元提供的碱液处理过的废液已经不具有强氧化性，因此采用普通材质的排液管道即可进行排液，降低了臭氧槽装置的总体成本。
[0011]另外，根据本技术上述实施例的臭氧槽装置还可以具有如下附加的技术特征：
[0012]在本技术的一些实施例中，所述臭氧槽装置还包括：缓冲槽，所述缓冲槽与所述臭氧槽相连接，且所述缓冲槽通过第二碱液管道与所述碱液供应单元相连接。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述臭氧槽装置还包括：第一臭氧浓度检测器，所述第一臭氧浓度检测器设置在所述臭氧槽的槽体内，所述第一臭氧浓度检测器与所述臭氧槽内的臭氧水清洗液相接触。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述臭氧槽装置还包括：第二臭氧浓度检测器，所述第二臭氧浓度检测器设置在所述缓冲槽的槽体内，所述第二臭氧浓度检测器与所述缓冲槽内的臭氧水清洗液相接触。
[0015]在本技术的一些实施例中，所述第一臭氧浓度检测器设置在所述臭氧槽的槽体底部；和/或，所述第二臭氧浓度检测器设置在所述缓冲槽的槽体底部；和/或，所述第一碱液管道与所述臭氧槽的底部相连通；和/或，所述第二碱液管道与所述缓冲槽的底部相连通。
[0016]在本技术的一些实施例中，所述第一碱液管道上设有第一阀门；和/或，所述缓冲槽与所述臭氧槽之间的管道上设有第二阀门；和/或，所述第二碱液管道上设有第三阀门；和/或，所述缓冲槽的排液管道上设有第四阀门。
[0017]在本技术的一些实施例中，所述臭氧槽装置还包括：PLC控制器，所述PLC控制器分别与所述第一臭氧浓度检测器、所述第二臭氧浓度检测器、所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门和所述第四阀门相连接。
[0018]在本技术的一些实施例中，所述盖板上设有抽吸管道，所述抽吸管道沿着所述盖板的长度方向延伸，所述抽吸管道上设有所述抽气孔。
[0019]在本技术的一些实施例中，所述抽吸管道的一端封闭，所述抽吸管道的另一端通过排气管道与所述臭氧气体处理单元相连接。
[0020]在本技术的第二个方面，提出了一种电池片清理系统。根据本技术的实施例，所述电池片清理系统具有以上实施例所述的臭氧槽装置。由此，所述电池片清理系统具有所述臭氧槽装置的所有优点，在此不再赘述。
[0021]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0022]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0023]图1是根据本技术实施例的臭氧槽装置的示意图；
[0024]图2是根据本技术实施例的臭氧槽装置的结构图；
[0025]图3是根据本技术实施例的盖板的结构图。
[0026]附图标记：
[0027]1‑
臭氧气体处理单元，2
‑
臭氧槽，2
‑1‑
盖板，2
‑2‑
抽吸管道，2
‑3‑
抽气孔，3
‑
第一臭氧浓度检测器，4
‑
第二阀门，5
‑
第二臭氧浓度检测器，6
‑
缓冲槽，7
‑
第四阀门，8
‑
排液管道，9
‑
PLC控制器，10
‑
第三阀门，11
‑
第二碱液管道，12
‑
第一碱液管道，13
‑
第一阀门，14
‑
碱液供应单元，15
‑
排气管道。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种臭氧槽装置，其特征在于，包括：臭氧槽，所述臭氧槽的敞口处设有盖板，所述臭氧槽与所述盖板围合形成容纳腔，所述盖板上设有抽气孔；臭氧气体处理单元，所述臭氧气体处理单元与所述抽气孔相连接；碱液供应单元，所述碱液供应单元通过第一碱液管道与所述臭氧槽相连接。2.根据权利要求1所述的臭氧槽装置，其特征在于，还包括：缓冲槽，所述缓冲槽与所述臭氧槽相连接，且所述缓冲槽通过第二碱液管道与所述碱液供应单元相连接。3.根据权利要求2所述的臭氧槽装置，其特征在于，还包括：第一臭氧浓度检测器，所述第一臭氧浓度检测器设置在所述臭氧槽的槽体内，所述第一臭氧浓度检测器与所述臭氧槽内的臭氧水清洗液相接触。4.根据权利要求3所述的臭氧槽装置，其特征在于，还包括：第二臭氧浓度检测器，所述第二臭氧浓度检测器设置在所述缓冲槽的槽体内，所述第二臭氧浓度检测器与所述缓冲槽内的臭氧水清洗液相接触。5.根据权利要求4所述的臭氧槽装置，其特征在于，所述第一臭氧浓度检测器设置在所述臭氧槽的槽体底部；和/或，所述第二臭氧浓度检测器设置在所述缓冲槽的槽体底部；和/或，所述第一碱...

【专利技术属性】
技术研发人员：周旭，杜俊霖，唐坤，范松港，肖兵，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：