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本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体为一种晶圆水平清洗装置的清洗方法，包括以下步骤：1)注水，打开进料口上的封口盖，通过进料口向水箱的内腔加入清水；2)夹紧固定，通过两个夹紧组件将待清洗的晶圆夹紧固定；3)首次清洗，启动冲洗机构对晶圆进行冲洗，...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

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