基板固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板固定装置，即使在静电吸附部件较薄的情况下，其也能够对放电进行抑制。该基板固定装置包括：底板，形成有通孔；电极引脚，穿插于所述通孔的内侧；以及静电吸附部件，包括与所述电极引脚连接的吸附电极，其中，所述底板具有金属部件，所述金属部件具备与所述静电吸附部件相对的第一表面，在所述第一表面上形成有凹部，该凹部与所述通孔连通，并且在从垂直于所述第一表面的方向进行俯视观察时包含所述通孔。观察时包含所述通孔。观察时包含所述通孔。

【技术实现步骤摘要】
基板固定装置


[0001]本公开涉及一种基板固定装置。

技术介绍

[0002]作为用于晶圆等基板的固定的基板固定装置，已知一种基板固定装置，其在用于内置吸附电极的静电吸附部件上形成有电极引脚用的开口部、以及开口部的底板侧的端部附近的凹部。通过形成有凹部，使得电极引脚的与吸附电极之间的连接部与底板之间的距离变大，并使连接部与底板之间的放电得到抑制。
[0003]专利文献1：日本特开2015
‑
225952号公报
[0004]专利文献2：日本特开2007
‑
258615号公报
[0005]在静电吸附部件较薄的情况下，无法形成足够深度的凹部，从而有可能难以对放电进行抑制。

技术实现思路

[0006]本公开的目的在于提供一种基板固定装置，即使在静电吸附部件较薄的情况下，其也能够对放电进行抑制。
[0007]根据本公开的一个方面，提供一种基板固定装置，包括：底板，形成有通孔；电极引脚，穿插于所述通孔的内侧；以及静电吸附部件，包括与所述电极引脚连接的吸附电极，其中，所述底板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板固定装置，包括：底板，形成有通孔；电极引脚，穿插于所述通孔的内侧；以及静电吸附部件，包括与所述电极引脚连接的吸附电极，其中，所述底板具有金属部件，所述金属部件具备与所述静电吸附部件相对的第一表面，在所述第一表面上形成有凹部，该凹部与所述通孔连通，并且在从垂直于所述第一表面的方向进行俯视观察时包含所述通孔。2.根据权利要求1所述的基板固定装置，其中，所述凹部的直径为8mm至12mm，所述凹部的深度为1.5mm至2.5mm。3.根据权利要求1或2所述的基板固定装置，其中，所述底板具有绝缘膜，该绝缘膜覆盖所述凹部的侧壁面和底面。4.根据权利要求3所述的基板固定装置，其中，所述绝缘膜的厚度为0.2mm至0.4mm。5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板固定装置，还包括：第一筒状绝缘零件，布置在所述通孔内，其中，所述第一筒状绝缘零件具有：筒状的第一基部，供所述电极引脚穿插；以及凸缘部，从所述第一基部在径向上向外侧突出，并且被夹在所述凹部的底部与所述静电吸附部件之间。6.根据权利要求5所述的基板固定装置，其中，所述第一基部粘接于所述电极引脚。7.根据权利要求5或6所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：小黑浩树，木下裕辅，中村祐一，
申请(专利权)人：新光电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：