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本发明提供一种基板固定装置，即使在静电吸附部件较薄的情况下，其也能够对放电进行抑制。该基板固定装置包括：底板，形成有通孔；电极引脚，穿插于所述通孔的内侧；以及静电吸附部件，包括与所述电极引脚连接的吸附电极，其中，所述底板具有金属部件，所述金...
该专利属于新光电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。

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