一种半导体龙门拾取模组制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体龙门拾取模组，旨在提供一种快速到位拾取、结构简单且兼容性强的一种半导体龙门拾取模组。本实用新型专利技术包括移载机构以及拾取机构，移载机构带动拾取机构作往复运动，拾取机构包括底板真空吸附组件、下压组件、传动组件以及若干组拾取单元，底板与移载机构相连接，底板两侧分别设置有两组侧板，真空吸附组件设置在底板上并对应与若干组拾取单元相配合，下压组件、传动组件以及若干组拾取单元均与侧板相连接，下压组件设置在侧板的中段，传动组件与下压组件配合连接并对应带动若干组拾取单元作拾取动作。本实用新型专利技术应用于半导体快速取放模组的技术领域。应用于半导体快速取放模组的技术领域。应用于半导体快速取放模组的技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体龙门拾取模组


[0001]本技术涉及半导体快速取放模组的
,特别涉及一种半导体龙门拾取模组。

技术介绍

[0002]在半导体专用设备制造过程中， 实现半导体IC封装的自动取、放和自动传输是一项关键技术。常见的抓取装置采用夹持式和吸附式，夹持式抓取结构适合大批量抓取操作，但容易对IC封装造成损坏；吸附式抓取结构较为复杂，拾取数量较多的IC封装时，需要使用与IC封装对应的大型拾取模组，统一吸附拾取，无法做到逐一吸附，兼容性较低难以适用于多种不同产品。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种快速到位拾取、结构简单且兼容性强的一种半导体龙门拾取模组。
[0004]本技术所采用的技术方案是：本技术包括移载机构以及拾取机构，所述移载机构带动所述拾取机构作往复运动，所述拾取机构包括底板真空吸附组件、下压组件、传动组件以及若干组拾取单元，所述底板与所述移载机构相连接，所述底板两侧分别设置有两组侧板，所述真空吸附组件设置在所述底板上并对应与若干组所述拾取单元相配合，所述下压组件、所述传动组件以及若干组所述拾取单元均与所述侧板相连接，所述下压组件设置在所述侧板的中段，所述传动组件与所述下压组件配合连接并对应带动若干组所述拾取单元作拾取动作。
[0005]进一步，所述移载机构包括两组X轴驱动装置、两组Y轴驱动装置以及两组Z轴驱动装置，两组所述X轴驱动装置的两端分别与两组所述Y轴驱动装置的活动端相连接，两组所述Z轴驱动装置对应与两组所述X轴驱动装置的活动端相连接，共设有两组所述拾取机构对应与两组所述Z轴驱动装置的活动端相连接。
[0006]进一步，所述Z轴驱动装置设置有支撑块，所述支撑块上连接有真空转接件，所述真空连接件与外部真空发生器相连接，所述真空连接件的另一端与所述真空吸附组件相连接。
[0007]进一步，所述下压组件包括下压固定板、旋转驱动装置、旋转块以及压板，所述下压固定板与两组所述侧板相连接，所述旋转驱动装置设置在所述下压固定板上，所述旋转块设置在所述旋转驱动装置的活动端，所述压板与所述下压固定板滑动连接，所述压板上设置有与所述旋转块相适配的让位孔。
[0008]进一步，所述旋转块包括传动块以及滑块，所述传动块的一端与所述旋转驱动装置的活动端相连接，所述传动块的另一端与所述滑块相连接，所述滑块与所述压板滑动配合。
[0009]进一步，所述传动组件包括传动固定板、传动驱动装置、滑台、滑动块、若干传动轮
以及传动带，所述传动固定板与所述侧板相连接，所述传动驱动装置设置在所述传动固定板上，所述滑台与所述传动固定板滑动配合，所述滑动块滑动连接于所述滑台上，所述滑台与所述传送带固定连接，若干所述传动轮设置在所述传动固定板的下端，所述传动带依次缠绕所述传动驱动装置的活动端以及若干所述传动轮。
[0010]进一步，所述传动组件设置有第一弹性件，所述第一弹性件的一端铰接与所述滑台上，所述第一弹性件的另一端与所述滑动块铰合连接，所述滑动块的两端分别设置两组顶压块，两组所述顶压块对应与所述下压组件以及所述拾取单元顶压配合。
[0011]进一步，两组所述侧板的下端连接有安装座，若干组所述拾取单元并联设置在所述安装座上，所述拾取单元包括两组导向轴、连接块以及拾取件，两组所述导向轴均穿过所述安装座，两组所述导向轴的一端与所述拾取件相连接，所述连接块的另一端与两组所述导向轴相连接，所述拾取件上设置有吸嘴，所述吸嘴与所述真空吸附组件配合连接。
[0012]进一步，所述安装座上铰接有若干第二弹性件，所述第二弹性件的另一端铰接在所述拾取件上，所述安装座内部还设置有若干第三弹性件，若干所述第三弹性件若干所述导向轴配合连接。
[0013]本技术的有益效果是：本技术采用多个拾取组件并联安装设计，每个拾取组件可单独控制上下移动，实现IC封装的单独拾取，能对不同型号IC模组进行吸附拾取，提高模组整体适用性；加入下压组件与传动组件设计，两个组件间相互独立，降低安装难度，便于日常维护，并传动组件中加入第一弹性件回弹，使用方便；移载机构采用双龙门电动滑台设计，双方向快速定位，简化控制方式，降低结构成本。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图；
[0015]图2是本技术Z轴驱动装置的结构示意图；
[0016]图3是本技术拾取机构的结构示意图；
[0017]图4是本技术下压组件的结构示意图；
[0018]图5是本图4中A部分的局部放大图；
[0019]图6是本技术传动组件的结构示意图；
[0020]图7是本技术拾取单元与安装块的结构示意图。
具体实施方式
[0021]如图1至图7所示，在本实施例中，本技术包括移载机构1以及拾取机构2，所述移载机构1带动所述拾取机构2作往复运动，所述拾取机构2包括底板21、真空吸附组件22、下压组件23、传动组件24以及若干组拾取单元25，所述底板21与所述移载机构1相连接，所述底板21两侧分别设置有两组侧板26，所述真空吸附组件22设置在所述底板21上并对应与若干组所述拾取单元25相配合，所述下压组件23、所述传动组件24以及若干组所述拾取单元25均与所述侧板26相连接，所述下压组件23设置在所述侧板26的中段，所述传动组件24与所述下压组件23配合连接并对应带动若干组所述拾取单元25作拾取动作。采用多个拾取组件并联安装设计，每个拾取组件可单独控制上下移动，实现IC封装的单独拾取，能对不同型号IC模组进行吸附拾取，提高模组整体适用性。
[0022]在本实施例中，所述移载机构1包括两组X轴驱动装置11、两组Y轴驱动装置12以及两组Z轴驱动装置13，两组所述X轴驱动装置11的两端分别与两组所述Y轴驱动装置12的活动端相连接，两组所述Z轴驱动装置13对应与两组所述X轴驱动装置11的活动端相连接，共设有两组所述拾取机构2对应与两组所述Z轴驱动装置13的活动端相连接，两组所述Z轴驱动装置13、两组所述X轴驱动装置11以及两组所述Y轴驱动装置12上均设置有位置传感器，两组所述X轴驱动装置11上均设置有链槽，两组所述Y轴驱动装置12的活动端相对设置有缓冲器，所述X轴驱动装置11、所述Y轴驱动装置12以及所述Z轴驱动装置13采用电动滑台243，所述Z轴驱动装置13设置有相机组件，所述相机组件用于产品定位。采用双龙门电动滑台243设计，X、Y双方向快速定位，简化控制方式，降低结构成本。
[0023]在本实施例中，所述Z轴驱动装置13设置有支撑块131，所述支撑块131上连接有真空转接件132，所述真空转接件132与外部真空发生件132相连接，所述真空转接件132的另一端与所述真空吸附组件22相连接。
[0024]在本实施例中，所述下压组件23包括下压固定板231、旋转驱动装置232、旋转块233以及压板234，所述下压固定板231与两组所述侧板26相连接，所述旋转驱动装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体龙门拾取模组，其特征在于：它包括移载机构（1）以及拾取机构（2），所述移载机构（1）带动所述拾取机构（2）作往复运动，所述拾取机构（2）包括底板（21）、真空吸附组件（22）、下压组件（23）、传动组件（24）以及若干组拾取单元（25），所述底板（21）与所述移载机构（1）相连接，所述底板（21）两侧分别设置有两组侧板（26），所述真空吸附组件（22）设置在所述底板（21）上并对应与若干组所述拾取单元（25）相配合，所述下压组件（23）、所述传动组件（24）以及若干组所述拾取单元（25）均与所述侧板（26）相连接，所述下压组件（23）设置在所述侧板（26）的中段，所述传动组件（24）与所述下压组件（23）配合连接并对应带动若干组所述拾取单元（25）作拾取动作。2.根据权利要求1所述的一种半导体龙门拾取模组，其特征在于：所述移载机构（1）包括两组X轴驱动装置（11）、两组Y轴驱动装置（12）以及两组Z轴驱动装置（13），两组所述X轴驱动装置（11）的两端分别与两组所述Y轴驱动装置（12）的活动端相连接，两组所述Z轴驱动装置（13）对应与两组所述X轴驱动装置（11）的活动端相连接，共设有两组所述拾取机构（2）对应与两组所述Z轴驱动装置（13）的活动端相连接。3.根据权利要求2所述的一种半导体龙门拾取模组，其特征在于：所述Z轴驱动装置（13）设置有支撑块（131），所述支撑块（131）上连接有真空转接件（132），所述真空转接件（132）与外部真空发生器相连接，所述真空转接件（132）的另一端与所述真空吸附组件（22）相连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体龙门拾取模组，其特征在于：所述下压组件（23）包括下压固定板（231）、旋转驱动装置（232）、旋转块（233）以及压板（234），所述下压固定板（231）与两组所述侧板（26）相连接，所述旋转驱动装置（232）设置在所述下压固定板（231）上，所述旋转块（233）设置在所述旋转驱动装置（232）的活动端，所述压板（234）与所述下压固定板（231）滑动连接，所述压板（234）上设置有与所述旋转块（233）相适配的让位孔。5.根据权利要求4所述的一种半导体龙门拾取模组，其特征在于：所述旋转块（233）包括传动块（235）以及滑块（236），所述传动块（235）的一端与所述旋转驱动装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军，聂勇，
申请(专利权)人：长园半导体设备珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：