本实用新型专利技术涉及一种超360度旋转的旋转平台测试装置，包括工作台，所述工作台的中部通过电机驱动安装有晶圆承载盘，晶圆承载盘吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘的下表面垂直方向设置有一号撞条，位于一号撞条一旁的工作台上安装有超360度限位开关，所述超360度限位开关上前后端设置有对称的二号撞条，超360度限位开关的前端面设置有对称的光电传感器，所述光电传感器上设置有凹槽，所述二号撞条的后端与一号撞条对应，所述二号撞条的前端与凹槽对应，还包括控制器，所述控制器与电机和光电传感器电信号连接。提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。证了检测精度。证了检测精度。
【技术实现步骤摘要】
一种超360度旋转的旋转平台测试装置
[0001]本技术涉及测试设备
，尤其是一种超360度旋转的旋转平台测试装置。
技术介绍
[0002]在半导体芯片制作过程中，晶圆各项性能达标与否是保证成品芯片性能的重要前提，所以对晶圆的检测尤为重要。
[0003]检测时需要对晶圆进行旋转，通过旋转晶圆来实现圆表面多采样点的检测。采样点覆盖越全面，检测结果越精确。那么旋转角度直接决定了采样点的覆盖范围，能实现超360度旋转对晶圆检测结果的精确度至关重要。
[0004]现有技术中，为了防止平台无限制的旋转通常使下部的连接线缠绕、拉扯损坏设备，需要安装限位开关，但是限位开关的安装，由于撞块自身的厚度，在旋转还未回到原点时就触发了，从而无法实现360旋转测量，测量不够精确，总有一定角度范围内的采样点无法被检测，给晶圆的检测带来了一定的麻烦。
技术实现思路
[0005]本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的超360度旋转的工作台测试装置，从而可以使晶圆上每个角度的测量点都能检测到，保证所有采样点被检测，大大提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。
[0006]本技术所采用的技术方案如下：
[0007]一种超360度旋转的旋转平台测试装置，包括工作台，所述工作台的中部通过电机驱动安装有晶圆承载盘，晶圆承载盘吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘的下表面垂直方向设置有一号撞条，位于一号撞条一旁的工作台上安装有超360度限位开关，所述超360度限位开关上前后端设置有对称的二号撞条，超360度限位开关的前端面设置有对称的光电传感器，所述光电传感器上设置有凹槽，所述二号撞条的后端与一号撞条对应，所述二号撞条的前端与凹槽对应，还包括控制器，所述控制器与电机和光电传感器电信号连接。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进：
[0009]所述工作台的上表面中部通过立杆安装有支撑块，所述支撑块与晶圆承载盘连接，支撑块起到旋转支撑的作用。
[0010]所述一号撞条呈圆柱状。
[0011]所述二号撞条的后端呈圆柱状，二号撞条的前端呈矩形结构。
[0012]所述超360度限位开关的具体结构为：包括固定块，所述固定块的顶部一侧设置有空心圆柱体结构，所述空心圆柱体结构的内部配合安装有撞块，所述撞块的中部为实心柱状结构的撞块本体，撞块本体的前后端面设置有对称的二号撞条，所述撞块本体左右两端设置有对称的连接柱，所述连接柱上套有弹簧，同时连接柱穿出空心圆柱体结构。
[0013]所述固定块为一体式结构。
[0014]所述固定块的上部中间位置设置有让位槽，所述空心圆柱体结构的前后端面开有矩形孔，矩形孔供二号撞条在弹簧压缩情况下的位移空间。
[0015]所述光电传感器的工作端设置有凹槽，光电传感器上开有与固定块连接的锁紧孔。
[0016]两个弹簧的弹性与长度相同。
[0017]本技术的有益效果如下：
[0018]本技术结构紧凑、合理，操作方便，通过工作台、晶圆承载盘、超360度限位开关、控制器等部件的互相配合工作，可以方便的完成晶圆上每个角度测量点的检测工作，大大提高了晶圆检测结果的准确性，保证了检测精度。
[0019]同时，本技术还具备如下优点：
[0020](1)本技术可以实现超360度旋转，能测量晶圆全角度范围内的采样点，提高测量准确性。
[0021](2)本技术设计了一种新型限位开关，实现正转和反转的两种限位需求，同时保证正反转时都能超360度旋转。
[0022](3)本技术也可以实施先正转检测再反转检测，或者先反转检测再正常检测，操作灵活，适用广泛。
[0023](4)本技术超360度限位开关的设计，结构新颖，制造与安装方便，占用空间小。
[0024](5)本技术在断电后，可以保护平台不会超角度转动，进而保护装置内所有线路的安全，安全系数高。
[0025](6)本技术撞块一体化设计，操作简便，动作灵敏。
[0026](7)本技术两个弹簧一致，保证在正反转的动作一致。
[0027](8)本技术所述的弹簧在自然状态下长度大于撞块的厚度，即保证撞块厚度造成的晶圆上一定角度范围内的采样点能够旋转到测量范围内。
附图说明
[0028]图1为本技术的结构示意图。
[0029]图2为本技术另一视角的结构示意图。
[0030]图3为本技术超360度限位开关的结构示意图。
[0031]图4为本技术超360度限位开关另一视角的结构示意图。
[0032]图5为本技术超360度限位开关的主视图。
[0033]图6为图5的俯视图。
[0034]图7为图6中沿A
‑
A截面的全剖视图。
[0035]图8为本技术超360度限位开关的爆炸图。
[0036]图9为本技术固定块的结构示意图。
[0037]图10为本技术固定块另一视角的结构示意图。
[0038]图11为本技术光电传感器的结构示意图。
[0039]图12为本技术撞块的结构示意图。
[0040]其中：1、工作台；2、晶圆承载盘；3、支撑块；4、立杆；5、一号撞条；6、超360度限位开
关；7、电机；
[0041]601、空心圆柱体结构；602、撞块；603、光电传感器；604、固定块；605、二号撞条；606、连接柱；607、弹簧；608、矩形孔；609、让位槽；610、凹槽；611、锁紧孔；612、撞块本体。
具体实施方式
[0042]下面结合附图，说明本技术的具体实施方式。
[0043]如图1
‑
图12所示，本实施例的超360度旋转的工作台测试装置，包括工作台1，工作台1的中部通过电机7驱动安装有晶圆承载盘2，晶圆承载盘2吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘2的下表面垂直方向设置有一号撞条5，位于一号撞条5一旁的工作台1上安装有超360度限位开关6，超360度限位开关6上前后端设置有对称的二号撞条605，超360度限位开关6的前端面设置有对称的光电传感器603，光电传感器603上设置有凹槽610，二号撞条605的后端与一号撞条5对应，二号撞条605的前端与凹槽610对应，还包括控制器，控制器与电机7和光电传感器603电信号连接。
[0044]工作台1的上表面中部通过立杆4安装有支撑块3，支撑块3与晶圆承载盘2连接，支撑块3起到旋转支撑的作用。
[0045]一号撞条5呈圆柱状。
[0046]二号撞条605的后端呈圆柱状，二号撞条605的前端呈矩形结构。
[0047]超360度限位开关6的具体结构为：包括固定块604，固定块604的顶部一侧设置有空心圆柱体结构601，空心圆柱体结构601的内部配合安装有撞块602，撞块602的中部为实心柱状结构本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超360度旋转的旋转平台测试装置，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的中部通过电机(7)驱动安装有晶圆承载盘(2)，晶圆承载盘(2)吸附待检测的晶圆，晶圆承载盘(2)的下表面垂直方向设置有一号撞条(5)，位于一号撞条(5)一旁的工作台(1)上安装有超360度限位开关(6)，所述超360度限位开关(6)上前后端设置有对称的二号撞条(605)，超360度限位开关(6)的前端面设置有对称的光电传感器(603)，所述光电传感器(603)上设置有凹槽(610)，所述二号撞条(605)的后端与一号撞条(5)对应，所述二号撞条(605)的前端与凹槽(610)对应，还包括控制器，所述控制器与电机(7)和光电传感器(603)电信号连接。2.如权利要求1所述的一种超360度旋转的旋转平台测试装置，其特征在于：所述工作台(1)的上表面中部通过立杆(4)安装有支撑块(3)，所述支撑块(3)与晶圆承载盘(2)连接，支撑块(3)起到旋转支撑的作用。3.如权利要求1所述的一种超360度旋转的旋转平台测试装置，其特征在于：所述一号撞条(5)呈圆柱状。4.如权利要求1所述的一种超360度旋转的旋转平台测试装置，其特征在于：所述二号撞条(605)的后端呈圆柱状，二号撞条(605)的前端呈矩形结构。5.如权利要求1所述的一种超360度旋转的旋转平台测试装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞胜武，陈剑，高为达，戴丹蕾，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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