一种气体处理设备制造技术

本实用新型专利技术属于气体处理、泄漏维修技术领域，具体为一种气体处理设备，包括壳体，所述壳体顶部螺纹连接有顶壳，所述顶壳中部开设有进气管，所述壳体顶部安装有无顶状的预留罐，所述预留罐内壁安装有上压力表，所述顶壳底部开设有密封环，所述密封环底部通过密封垫啮合预留罐顶部，所述预留罐底部通过阀门对应处理壳相连通，所述处理壳底部通过通管连接有泵体，所述通管内部安装有下压力表，所述上压力表和下压力表的信号输出端对应警示模块信号输入端相连接。本实用新型专利技术有利于在气体泄漏时快速确定泄漏的位置，有利于检查气体处理设备的进气管是否泄漏，同时保证气体处理设备自身泄漏快速反馈。快速反馈。快速反馈。

【技术实现步骤摘要】
一种气体处理设备


[0001]本技术涉及气体处理、泄漏维修
，具体为一种气体处理设备。

技术介绍

[0002]工业废气处理指的是专门针对工业场所如工厂、车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到国家废气对外排放的标准的工作。
[0003]现有中国专利(公告号为CN215654282U)及一种半导体制作工艺用气体处理机构，此专利在需要处理的气体需要进行过滤时，工作人员可将气体所需过滤物放入过滤管道内部，然后通过螺栓将传输气管以及中转管的连接座分别与过滤管道两侧的连接座固定，气体在经过过滤管道内部后会被过滤管道内部的过滤物进行过滤，如果气体需要进行稀释处理，工作人员先将传输气管以及中转管的连接座分别与过滤管道两侧的连接座拆开，然后通过旋转杆将稀释管旋转至传输气管的连接座与中转管的连接座之间，并将其固定连通，然后开启微型气泵对稀释管内部注入气体，在半导体制作用的气体进入稀释管内部后会被微型气泵注入的气体稀释，达到了方便针对不同特性的气体进行过滤或稀释处理的效果，然而半导体的尾气处理过程中，由于其气体较为复杂，气体需要装置内完整预存，而随着时间推移气体对装置的金属腐蚀，容易导致装置泄漏的问题，传统方式需要在装置的内部设置检测头，对气体进行检测，而泄漏点位置难以确定，同时而部分气体扩散性较快，使得检测头对成分检测含量一时间难以达到，导致泄漏短时间无法发现。
[0004]因此，我们提出一种气体处理设备，有利于在气体泄漏时快速确定泄漏的位置，有利于检查气体处理设备的进气管是否泄漏，同时保证气体处理设备自身泄漏快速反馈。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种气体处理设备，以解决上述
技术介绍
中提出的半导体的尾气处理过程中，由于其气体较为复杂，气体需要装置内完整预存，而随着时间推移气体对装置的金属腐蚀，容易导致装置泄漏的问题，传统方式需要在装置的内部设置检测头，对气体进行检测，而泄漏点位置难以确定，同时而部分气体扩散性较快，使得检测头对成分检测含量一时间难以达到，导致泄漏短时间无法发现的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种气体处理设备，包括壳体，所述壳体顶部螺纹连接有顶壳，所述顶壳中部开设有进气管，所述壳体顶部安装有无顶状的预留罐，所述预留罐内壁安装有上压力表，所述顶壳底部开设有密封环，所述密封环底部通过密封垫啮合预留罐顶部，所述预留罐底部通过阀门对应处理壳相连通，所述处理壳底部通过通管连接有泵体，所述通管内部安装有下压力表，所述上压力表和下压力表的信号输出端对应警示模块信号输入端相连接。
[0007]优选的，所述进气管底部对应预留罐相连通，所述阀门为电控阀体。
[0008]优选的，所述处理壳内安装有处理筒，且处理筒上下分别对应阀门和通管相连通，所述处理筒表面为滤网结构，所述处理壳内部安装有气体处理器。
[0009]优选的，所述泵体左端连通有出气管，所述出气管贯穿壳体。
[0010]优选的，所述泵体通过非门开关连接有控制阀，所述泵体启动控制阀开启。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]本技术的气体处理设备，通过上压力表、下压力表、阀门和泵体的设置，通过上压力表位于预留罐内，当进气管包括连接进气管的通道管的压力形成检测，当上压力表内的检测压力出现指数下滑，说明预留罐以上的管道出现泄漏问题，而下压力表位于气体处理环节的尾端，当下压力表内的检测压力出现指数下滑，则说明气体处理装置内出现泄漏问题，有利于在气体泄漏时快速确定泄漏的位置，有利于检查气体处理设备的进气管是否泄漏，同时保证气体处理设备自身泄漏快速反馈。
附图说明
[0013]图1为本技术气体处理设备的整体结构示意图；
[0014]图2为本技术气体处理设备的整体内部结构剖面示意图；
[0015]图3为本技术气体处理设备的顶壳结构示意图。
[0016]图中：1、壳体；2、顶壳；3、进气管；4、出气管；5、处理壳；6、阀门；7、预留罐；8、上压力表；9、处理筒；10、气体处理器；11、下压力表；12、泵体；13、通管；14、密封环。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0019]实施例：
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种气体处理设备，包括壳体1，所述壳体1顶部螺纹连接有顶壳2，所述顶壳2中部开设有进气管3，所述壳体1顶部安装有无顶状的预留罐7，所述预留罐7内壁安装有上压力表8，所述顶壳2底部开设有密封环14，所述密封环14底部通过密封垫啮合预留罐7顶部，所述预留罐7底部通过阀门6对应处理壳5相连通，所述处理壳5底部通过通管13连接有泵体12，所述通管13内部安装有下压力表11，所述上压力表8和下压力表11的信号输出端对应警示模块15信号输入端相连接；
[0021]半导体加工或者工业体系的气体处理过程中，其气体含量相对复杂，且成分含量并不固定，使得运输气体的管道在长期使用过程中，气体对管道以及气体处理均存在一定的腐蚀性，而为了保证密封性，其内部结构中采用不少密封材料，如密封橡胶垫等提高密封性，其受制于材料本身，自身老化加上腐蚀，难免出现泄漏的问题，而初始泄漏由于泄漏点位置随机，且部分工业气体扩散性较快，检测头难以恰好接收到高含量气体，通过将上压力表8位于预留罐7内，当进气管3包括连接进气管3的通道管的压力形成检测，当上压力表8内
的检测压力出现指数下滑，说明预留罐7以上的管道出现泄漏问题警示模块15启动，上端无泄漏问题时，气体通过阀门6进入处理壳5内，气体内杂质经过处理筒9的滤网进行过滤，在经过气体处理器10完成对气体的净化，并通过通管13进入泵体12，而下压力表11位于气体处理环节的尾端的通管13内，当下压力表11内的检测压力出现指数下滑，则说明气体处理装置内出现泄漏问题警示模块15启动，而下压力表11无变化，其通过启动泵体12同时开启控制阀完成气体的排出。
[0022]其中，所述进气管3底部对应预留罐7相连通，所述阀门6为电控阀体；
[0023]半导体加工或者工业体系的气体通过连接管对应进气管3相连通，阀门6为电控阀门6，当阀门6关闭时，且外部气体持续流入，上压力表8指数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体处理设备，包括壳体(1)，所述壳体(1)顶部螺纹连接有顶壳(2)，所述顶壳(2)中部开设有进气管(3)，其特征在于：所述壳体(1)顶部安装有无顶状的预留罐(7)，所述预留罐(7)内壁安装有上压力表(8)，所述顶壳(2)底部开设有密封环(14)，所述密封环(14)底部通过密封垫啮合预留罐(7)顶部，所述预留罐(7)底部通过阀门(6)对应处理壳(5)相连通，所述处理壳(5)底部通过通管(13)连接有泵体(12)，所述通管(13)内部安装有下压力表(11)，所述上压力表(8)和下压力表(11)的信号输出端对应警示模块(15)信号输入端相连接。2.根据权利要求1所述的一种气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：周国忠，孙中丰，刘洋，
申请(专利权)人：苏州朗道节能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：