本实用新型专利技术属于半导体尾气技术领域，具体为一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，包括箱体，所述箱体顶部右侧安装有气泵，所述气泵通过管道连通箱体内腔体，所述腔体内中部安装有渗透膜，所述腔体底部安装有抽风泵，所述腔体内顶部安装有压力泵，所述压力泵外壁安装有压力传感器。本实用新型专利技术通过压力传感器检测腔体内气压，当腔体内气压低于阈值时，抽风机启动，通过渗透膜过滤氯气，当腔体上部内压力大于阈值，启动压力泵将气体通过电控发排出，采用渗透膜进行脱离于氦气，通过采用呼吸和泄压的方式使得废气中的氦气单独滤出回收，同时有利于尾气其他气体完成分层处理。同时有利于尾气其他气体完成分层处理。同时有利于尾气其他气体完成分层处理。
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置
[0001]本技术涉及半导体尾气
，具体为一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置。
技术介绍
[0002]对于含有酸性/碱性物质的废气，半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。
[0003]现有专利(公告号为CN202122122641.2)及半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，此专利利用第一分离过滤器和第二分离过滤器的双重净化作用，提高了氦气的提纯效率，有效的节省了时间成本，提纯后的氦气可再次使用，从而降低了晶圆的生产成本；通过伺服电机驱动双向螺纹杆转动，使得两个滑块相互靠近，从而使得两根夹杆相互靠近，将第一分离过滤器和第二分离过滤器固定，实现了快速安装，且方便对第一分离过滤器和第二分离过滤器拆卸保养；通过弹簧的支撑作用，对移动过程中产生的震动进行缓冲，从而有效的降低第一分离过滤器和第二分离过滤器受损的概率，延长使用寿命，实用性较好，然而第一分离过滤器和第二分离过滤器不仅需要定时保养，同时需要的对其内部吸附材料进行更换，而吸附后难以对尾气其他成分完成处理，不利于完成尾气的分层处理。
[0004]因此，我们提出一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，采用渗透膜进行脱离于氦气，通过采用呼吸和泄压的方式使得废气中的氦气单独滤出回收，同时有利于尾气其他气体完成分层处理。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，以解决上述
技术介绍
中提出的第一分离过滤器和第二分离过滤器不仅需要定时保养，同时需要的对其内部吸附材料进行更换，而吸附后难以对尾气其他成分完成处理，不利于完成尾气的分层处理的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，包括箱体，所述箱体顶部右侧安装有气泵，所述气泵通过管道连通箱体内腔体，所述腔体内中部安装有渗透膜，所述腔体底部安装有抽风泵，所述腔体内顶部安装有压力泵，所述压力泵外壁安装有压力传感器。
[0007]优选的，所述压力传感器的信号输出端分别与压力泵和抽风泵的信号输入相连接。
[0008]优选的，所述压力泵顶端贯穿箱体连通有电控阀。
[0009]优选的，所述压力泵右端通过管道连接回收壳。
[0010]优选的，所述收回壳内底部安装有增压泵，所述增压泵另一端通过阀体对应罐体相连通，所述增压泵左端对应压力泵相连通。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]本技术的用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，通过压力传感器、压力泵和抽风泵的设置，通过压力传感器检测腔体内气压，当腔体内气压低于阈值时，抽风机启动，通过渗透膜过滤氯气，当腔体上部内压力大于阈值，启动压力泵将气体通过电控发排出，采用渗透膜进行脱离于氦气，通过采用呼吸和泄压的方式使得废气中的氦气单独滤出回收，同时有利于尾气其他气体完成分层处理。
附图说明
[0013]图1为本技术用于半导体行业尾气中的氦气回收装置的箱体结构示意图；
[0014]图2为本技术用于半导体行业尾气中的氦气回收装置的整体内部结构示意图；
[0015]图3为本技术用于半导体行业尾气中的氦气回收装置的压力泵结构示意图。
[0016]图中：1、箱体；2、压力泵；3、电控阀；4、渗透膜；5、抽风泵；6、气泵；7、腔体；8、罐体；9、阀体；10、回收壳；11、增压泵；12、压力传感器。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0019]实施例：
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，包括箱体1，所述箱体1顶部右侧安装有气泵6，所述气泵6通过管道连通箱体1内腔体7，所述腔体7内中部安装有渗透膜4，所述腔体7底部安装有抽风泵5，所述腔体7内顶部安装有压力泵2，所述压力泵2外壁安装有压力传感器12；
[0021]通过压力传感器12检测腔体7内气压，当腔体7内气压低于阈值时，抽风机启动，通过渗透膜4过滤氯气，当腔体7上部内压力大于阈值，启动压力泵2将气体通过电控发排出，采用渗透膜4进行脱离于氦气，通过采用呼吸和泄压的方式使得废气中的氦气单独滤出回收，同时有利于尾气其他气体完成分层处理。
[0022]其中，所述压力传感器12的信号输出端分别与压力泵2和抽风泵5的信号输入相连接。
[0023]其中，所述压力泵2顶端贯穿箱体1连通有电控阀3；
[0024]压力传感器12的信号输出端与电控阀3相连接，当腔体7顶部压力大于阈值，通过压力泵2将腔体7内气压通过电控阀3向外部装置排出。
[0025]其中，所述压力泵2右端通过管道连接回收壳10；
[0026]回收壳10内部安装有对氦气进行回收的装置。
[0027]其中，所述回收壳10内底部安装有增压泵11，所述增压泵11另一端通过阀体9对应罐体8相连通，所述增压泵11左端对应压力泵2相连通；
[0028]通过增压泵11将膜渗透的氦气通过增压的方式通过阀体9加入罐体8内。
[0029]工作原理：外部尾气通过管道对应气泵6相连通，通过气泵6将尾气送入箱体1内腔体7，并通过渗透膜4过滤尾气氦气，同时通过压力传感器12检测腔体7内气压，当腔体7内气压低于阈值时，抽风机启动，通过渗透膜4过滤氯气，当腔体7上部内压力大于阈值，启动压力泵2将气体通过电控发排出，采用渗透膜4进行脱离于氦气，通过采用呼吸和泄压的方式使得废气中的氦气单独滤出回收，同时有利于尾气其他气体完成分层处理，通过增压泵11将膜渗透的氦气通过增压的方式通过阀体9加入罐体8内。
[0030]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)顶部右侧安装有气泵(6)，所述气泵(6)通过管道连通箱体(1)内腔体(7)，所述腔体(7)内中部安装有渗透膜(4)，其特征在于：所述腔体(7)底部安装有抽风泵(5)，所述腔体(7)内顶部安装有压力泵(2)，所述压力泵(2)外壁安装有压力传感器(12)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，其特征在于：所述压力传感器(12)的信号输出端分别与压力泵(2)和抽风泵(5)的信号输入相连接。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：周国忠，
申请(专利权)人：苏州朗道节能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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