一种用于FOUP污染物检测的取样系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种用于FOUP污染物检测的取样系统，包括取样器，取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。本实用新型专利技术通过XY运动平台实现取样器的自动移动，可根据FOUP的结构控制取样器的路径，取样器通过三通分别与超纯水管路到FOUP内，或者将出水管插入到FOUP内机械泵管路连接，从而可以根据需要选择释放超纯水和吸取清洗后的液体，使用一套设备完成注水和吸水两个过程，降低成本，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于FOUP污染物检测的取样系统


[0001]本技术涉及晶圆生产
，尤其涉及一种用于FOUP污染物检测的取样系统。

技术介绍

[0002]FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)在半导体制程中被用于保护、传送并存储晶圆的一种容器。但随着使用年限之增加，FOUP内部会聚积微污染物，生产中要求定期检测FOUP内壁污染物，确保FOUP洁净度，减少因FOUP脏污引起晶圆表面产生污染和损伤。
[0003]目前检测FOUP内壁污染物的方法是先将FOUP清洗干净后，通过瓶子盛装超纯水并冲刷FOUP四壁，盖上FOUP的盖子进行静置，防止静置过程中空气中的颗粒物掉落到FOUP 内，静置一段时间后，打开盖子，用注射器抽取FOUP内的超纯水，转移到样品容器内，通过IC(离子色谱分析)和ICP
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MS(电感耦合等离子体
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质谱分析)等方法分析超纯水中的成分，确定是否存在污染物。
[0004]另外，注射器在使用过程中，手套上的水会滴入FOUP内，并且手套也可能会与针头接触，从而会污染FOUP内的水样，导致检测结果不准确。。
[0005]公告号为CN206378328U的技术专利公开了一种前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置，通过取样盖封闭FOUP避免环境污染物对检测结果的影响，但是该方案向FOUP 四壁注水清洗的过程依然需要人工完成，手套上沾染的污染物和水依然有可能掉落到FOUP 内，无法完全避免人工操作引入的污染物。
技术内容
[0006]本技术所要解决的技术问题在于提供一种能够防止引入污染物的FOUP污染物检测取样系统。
[0007]本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的：一种用于FOUP污染物检测的取样系统，包括取样器，取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。
[0008]本技术通过XY运动平台实现取样器的自动移动，可根据FOUP的结构控制取样器的路径，取样器通过三通分别与超纯水管路和机械泵管路连接，从而可以根据需要选择释放超纯水到FOUP内，或者将出水管插入到FOUP内吸取清洗后的液体，使用一套设备完成注水和吸水两个过程，降低成本，使用方便。
[0009]优选的，所述XY运动平台上固定连接有一Z轴驱动单元，所述取样器与Z轴驱动单元的活动端固定配合。
[0010]优选的，所述XY运动平台包括相互垂直的第一滑杆和第二滑杆，所述第一滑杆固定在一立柱的上端，所述第二滑杆的至少一端与第一滑杆滑动配合，第一滑杆上滑动设置
有第一滑块，第二滑杆的端部与第一滑块固定配合，第二滑杆上滑动设置有第二滑块，所述Z轴驱动单元与第二滑块固定连接。
[0011]优选的，取样器包括储水桶和设置于储水桶底部的出水管。
[0012]优选的，所述遮挡部底部均匀分布有多个支撑腿。
[0013]优选的，所述遮挡部为矩形隔板或通过矩形框架固定的滤网，遮挡部底部的四角位置分别设置有所述的支撑腿。
[0014]优选的，所述防护罩下方还放置有敞口杯。
[0015]优选的，所述敞口杯放置于一支撑台上，所述敞口杯下方连接有排水管，所述排水管上设置有阀门。
[0016]优选的，所述支撑台包括支撑板和设置于支撑板下方的两个立板，所述敞口杯放置于所述支撑板上，所述立板与支撑板连接的位置通过圆角过渡。
[0017]优选的，所述FOUP放置于在一上端敞口的箱体内，所述箱体上表面的至少一侧向FOUP 外侧延伸形成所述支撑台，所述箱体上设置有与FOUP上表面配合的压块。
[0018]本技术提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的优点在于：通过XY运动平台实现取样器的自动移动，可根据FOUP的结构控制取样器的路径，取样器通过三通分别与超纯水管路和机械泵管路连接，从而可以根据需要选择释放超纯水到FOUP内，或者将出水管插入到FOUP内吸取清洗后的液体，防止取样器与人体接触引入污染物，使用一套设备完成注水和吸水两个过程，降低成本，使用方便。
[0019]注水过程可精确控制流量和路径，确保定量的超纯水冲刷FOUP，确保不会遗漏FOUP 的任何位置。
[0020]通过防护罩至少遮住FOUP上方的敞口端，从而防止空气中的灰尘在检测过程中落入 FOUP内，避免操作过程中引入污染物干扰检测结果。
[0021]通过XY运动平台和Z轴驱动单元能够驱动取样器在空间内任意位置的移动，使用方便；通过设置敞口杯可方便取样器的清洗和排水，并可收集取样器的排水进行检测，防止取样器引入新的污染物；通过箱体放置和固定FOUP，并引入压块方便对FOUP进行快速固定。
附图说明
[0022]图1为本技术的实施例提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的示意图；
[0023]图2为本技术的实施例提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的取样器驱动结构示意图；
[0024]图3为本技术的实施例2提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的支撑台的示意图；
[0025]图4为本技术的实施例3提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的箱体的示意图；
[0026]图5为图4中A部分的局部放大图；
[0027]图6为本技术的实施例5提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的示意图；
[0028]图7为本技术的实施例5提供的用于FOUP污染物检测的取样系统的取样器驱动结构示意图。
[0029]元件标号说明：
[0030]1防护罩；11遮挡部；12支撑腿；2取样器；21出水管；3FOUP；4XY运动平台；41 第一滑杆；411第一滑块；42第二滑杆；421第二滑块；422第一旋转电机；43立柱；5Z轴驱动单元；51驱动电机；52转动丝杆；53导向杆；54螺母座；55固定板；56安装座；57 第二旋转电机；6敞口杯；7支撑台；71支撑板；72立板；8箱体；81压块；82销轴。
具体实施方式
[0031]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]实施例1
[0033]如图1所示，本实施例提供了一种用于FOUP污染物检测的取样系统，主要目的是对清洗后的FOUP边缘进行冲水、静置和取样，并防止在这一过程中引入新的污染物，具体包括取样器2，取样器2通过三通阀(图未示)分别连接有超纯水管路(图未示)和机械泵管路 (图未示)，所述取样器2下方设置有出水管21，所述取样器2与一XY运动平台4配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：包括取样器，所述取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。2.根据权利要求1所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述XY运动平台上固定连接有一Z轴驱动单元，所述取样器与Z轴驱动单元的活动端固定配合。3.根据权利要求2所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述XY运动平台包括相互垂直的第一滑杆和第二滑杆，所述第一滑杆固定在一立柱的上端，所述第二滑杆的一端与第一滑杆滑动配合，第二滑杆上滑动设置有第二滑块，所述Z轴驱动单元跟随第二滑块沿第二滑杆滑动。4.根据权利要求3所述的一种用于FOUP污染物检测的取样系统，其特征在于：所述Z轴驱动单元与第二滑块转动连接，所述取样器与Z轴驱动单元的活动端转动连接，取样器的转动平面与Z轴驱动单元的转动平面垂直。5.根据权利要求1所述的一种用于FOUP污染物检测的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云，刘波，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：