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本实用新型提供了一种用于FOUP污染物检测的取样系统，包括取样器，取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。本实用新型通...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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