一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构制造技术

本实用新型专利技术涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体，机体呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽，机体顶端中心处贯穿设置有导料筒，且导料筒底部延伸至横槽内部，机体后端面中心处固定安装有L形固定杆，且其上端板体延伸至机体的上端面，固定杆上端面中心处固定连接有滴胶头，本实用新型专利技术是通过设置传输件，保持输送框平稳传动，减少置物槽内部晶圆片的晃动，实现快速准确地滴胶工作，通过置物槽内部设置限位件，方便根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移、错位而影响涂胶效果，提高晶圆片生产质量和生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构


[0001]本技术涉及涂胶显影机
，具体为一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构。

技术介绍

[0002]半导体设备涂胶显影机是一种将不同工艺制程的机台整合在一起，半导体设备涂胶显影机主要由载片系统，传送系统和制程系统三部分构成，其主要功能是光刻胶在晶圆片表面的涂覆和显影；
[0003]而在晶圆片涂胶时，通常利用外部的传输机构实现将晶圆片或是批量晶圆片进行上下货于指定的区段，部分传输机构传送时，易出现晶圆片晃动、振动导致的偏移、偏转等多种造成错位现象，影响生产质量和生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于通过设置传输件，保持输送框平稳传动，减少置物槽内部晶圆片的晃动，实现快速准确地滴胶工作，通过置物槽内部设置限位件，方便根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移、错位而影响涂胶效果，提高晶圆片生产质量和生产效率。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体，所述机体呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽，所述机体顶端中心处贯穿设置有导料筒，且导料筒底部延伸至横槽内部，所述机体后端面中心处固定安装有L形固定杆，且其上端板体延伸至机体的上端面，所述固定杆上端面中心处固定连接有滴胶头，且滴胶头与导料筒上下对应，所述横槽内部设置有传输件；
[0007]所述传输件包括输送框，所述输送框呈回字形结构，且其两端呈曲面设置，所述输送框横向贯穿横槽内部，且横槽内部中心处固定安装有限位杆，且限位杆前后端分别与横槽的前后内壁固定连接，所述限位杆贯穿连接输送框内部框槽中，所述输送框下端面中间位置横向设置有若干组齿块。
[0008]进一步的，所述横槽内部位于输送框下端处靠近两端及中心处均设置有三组转轴，且转轴的前后端分别与横槽前后端内部转动连接，靠近中心所述转轴前端贯穿至机体并固定连接有电机，三组所述转轴外部的中心处均固定连接有齿环，且齿环与齿块相啮合。
[0009]进一步的，所述输送框上端面靠近两侧及中心处均开设有圆形置物槽，靠近两端所述置物槽分别位于横槽的外部中心处，所述置物槽与导料筒上下对应，三组所述置物槽内部均设置有限位件。
[0010]进一步的，所述限位件包括T形板，所述T形板转动连接在置物槽的中心处，且T形板上端面低于置物槽上端槽口，所述T形板外表面位置与中段处转动连接有齿盘，所述置物槽内部位于齿盘两侧处均活动连接有弧形抵板。
[0011]进一步的，两组所述抵板呈对称，且抵板上端延伸至置物槽上端处，两组所述抵板相对面呈对角线处均固定安装有齿条，且其两者分别与齿盘相啮合，两组所述抵板的相对面远离齿条一端固定安装有插筒，所述插筒与对立面的齿条左右对应，且齿条的一端贯穿在插筒内部并固定安装有齿滑块，所述滑块滑动连接在插筒内部。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术在使用时，通过设置传输件，启动电机，其带动横槽内部中心处的转轴及齿环逆时针转动，而与齿环啮合的输送框向机体的左侧传动，输送框向左侧平移时，位于其底部两侧处的齿环以及转轴均实现转动，以此保持输送框平稳传动，减少置物槽内部晶圆片的晃动，与此同时，限位杆在输送框的框槽内部滑动，以防止输送框传动过度而发生脱轨的情况，以进一步保证输送框的平稳运行，减少晶圆片的震动，当输送框传动至其上端面的三组置物槽依次暴露在机体外部时，即可依次将其内部放入晶圆片，电机驱动输送框反向传动，右侧的置物槽最先进入横槽并与导料筒对齐，利用滴胶头滴胶，胶水通过导料筒内部竖直向下进入置物槽内部的晶圆片表面，以快速进行滴胶工作，同时提高滴胶位置的准确性，随着输送框的持续传动，多组置物槽交替使用，有序进行传输滴胶，实现滴胶与拿取晶圆片同时进行，提高涂胶及传输效率。
[0014]2、本技术在使用时，通过置物槽内部设置限位件，输送框输送晶圆片均分别卡接在若干组置物槽内部，晶圆片放置在T形板顶端，再分别向中心推动两组抵板，两组齿条分别相对运动并同时与齿盘啮合，从而迫使齿盘转动，同时齿条的一端向其对立面的插筒内部插入，滑块在插筒内部滑动，以此保持抵板的平稳推动，两组抵板相互靠近并将晶圆片两端夹持限定，以此根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移而影响涂胶效果。
附图说明
[0015]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0016]图1为本技术整体结构示意图；
[0017]图2为本技术机体的剖视图；
[0018]图3为本技术机体的侧面剖视图；
[0019]图4为本技术传输件与限位件的剖面图；
[0020]图5为本技术的输送框局部俯视图。
[0021]图中：1、机体；11、横槽；2、导料筒；3、固定杆；4、滴胶头；5、传输件；51、输送框；511、齿块；52、限位杆；53、转轴；54、电机；55、齿环；6、置物槽；7、限位件；71、T形板；72、齿盘；73、抵板；74、齿条；75、插筒；76、滑块。
具体实施方式
[0022]下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例一：
[0024]请参阅图1
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5所示，一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体1，机体1呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽11，机体1顶端中心处贯穿设置有导料筒2，且导料筒2底部延伸至横槽11内部，机体1后端面中心处固定安装有L形固定杆3，且其上端板体延伸至机体1的上端面，固定杆3上端面中心处固定连接有滴胶头4，且滴胶头4与导料筒2上下对应，横槽11内部设置有传输件5；传输件5包括输送框51，输送框51呈回字形结构，且其两端呈曲面设置，输送框51横向贯穿横槽11内部，且横槽11内部中心处固定安装有限位杆52，且限位杆52前后端分别与横槽11的前后内壁固定连接，限位杆52贯穿连接输送框51内部框槽中，输送框51下端面中间位置横向设置有若干组齿块511；横槽11内部位于输送框51下端处靠近两端及中心处均设置有三组转轴53，且转轴53的前后端分别与横槽11前后端内部转动连接，靠近中心转轴53前端贯穿至机体1并固定连接有电机54，三组转轴53外部的中心处均固定连接有齿环55，且齿环55与齿块511相啮合；输送框51上端面靠近两侧及中心处均开设有圆形置物槽6，靠近两端置物槽6分别位于横槽11的外部中心处置物槽6与导料筒2上下对应；晶体表面涂胶时，先是启动电机54，其带动横槽11内部中心处的转轴53及齿环55逆时针转动，而与齿环55啮合的输送框51向机体1的左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽(11)，所述机体(1)顶端中心处贯穿设置有导料筒(2)，且导料筒(2)底部延伸至横槽(11)内部，所述机体(1)后端面中心处固定安装有L形固定杆(3)，且其上端板体延伸至机体(1)的上端面，所述固定杆(3)上端面中心处固定连接有滴胶头(4)，且滴胶头(4)与导料筒(2)上下对应，所述横槽(11)内部设置有传输件(5)；所述传输件(5)包括输送框(51)，所述输送框(51)呈回字形结构，且其两端呈曲面设置，所述输送框(51)横向贯穿横槽(11)内部，且横槽(11)内部中心处固定安装有限位杆(52)，且限位杆(52)前后端分别与横槽(11)的前后内壁固定连接，所述限位杆(52)贯穿连接输送框(51)内部框槽中，所述输送框(51)下端面中间位置横向设置有若干组齿块(511)。2.根据权利要求1所述的一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，其特征在于，所述横槽(11)内部位于输送框(51)下端处靠近两端及中心处均设置有三组转轴(53)，且转轴(53)的前后端分别与横槽(11)前后端内部转动连接，靠近中心所述转轴(53)前端贯穿至机体(1)并固定连接有电机(54)，三组所述转轴(53)外部的中心处均固定连接有齿环(55)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军区，董金良，杜国强，
申请(专利权)人：无锡环亚微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：