本技术公开了一种应用于匀胶机中的防堵胶结构，属于匀胶机技术领域，用于解决现有技术中注胶头容易堵塞或胶水进入真空管路中造成真空阀或真空泵堵塞的问题；包括匀胶机，所述匀胶机的右侧上端内部设置有注胶头，所述注胶头的上端设置有过渡管，所述过渡管...

本技术公开了一种带基片加热的匀胶机，属于匀胶机技术领域，用于解决现有匀胶机需要人工上下料，操作繁琐，且基片表面胶液未及时干燥容易发生滴落或在基片表面流动，影响匀胶质量的问题；包括机体，所述机体的内部从左往右依次设置有第一载片台、滴胶匀胶...

本技术公开了一种匀胶机的匀胶台托盘结构，属于匀胶设备技术领域，用于解决现有的匀胶机托盘与驱动轴之间的连接多为螺纹或者螺栓连接，螺纹连接灵活性不够，螺栓连接不便于拆卸安装的问题；包括卡合机构、连接机构；通过将连接杆插进固定杆中，使卡合组件...

本技术涉及一种匀胶机的托盘，其包括托盘本体、顶盖和柔性衬底，所述托盘本体内设置有气腔，所述顶盖设置在所述托盘本体的顶部，并且所述顶盖与所述托盘本体转动连接，所述托盘本体底部开设有吸气口，所述吸气口与所述气腔连通，所述托盘本体顶部开设有通...

本技术涉及一种全自动双面擦片机，其包括台体、传送带一、传送带二和擦片组件，所述传送带一和传送带二均设置在所述台体上，所述传送带一在水平方向的位置高于所述传送带二在水平方向上的位置，所述擦片组件包括连接板，气缸、连接架、滑块，滑杆、升降板...

本实用新型涉及一种用于单晶片的旋转涂胶机，其包括机座、涂胶腔、托盘、机盖、旋转机构和加热机构，所述旋转机构包括底板、齿轮箱、电机、套筒、转轴和导电臂，加热机构包括电源和电加热器，在电机的作用下，可以带动转轴转动，转轴带动导电臂上的机盖转...

本实用新型涉及一种匀胶显影机的晶片转移装置，其包括基座、伺服电机、固定台、转台、转轴、气缸和辅助拿取机构，所述固定台设置在所述基座上，所述转台设置在所述基座上，所述伺服电机设置在基座上，所述气缸设置在所述转台上，所述气缸的活塞杆竖直向上...

本实用新型涉及一种用于匀胶机的排风装置，其包括进风筒、排风筒、清洁组件和排风阀，清洁组件包括电机、转轴、锥齿轮一、锥齿轮二、齿轮箱、固定杆和刷壁机构，电机设置在进风筒的外壁上，电机的转子穿过进风筒，电机的转子穿过进风筒的部分与转轴的一端...

本实用新型涉及一种匀胶机的吸气结构，其包括机座、匀胶腔和吸气组件，吸气组件包括真空吸盘、连接轴和主轴，真空吸盘底部与连接轴顶部连接，连接轴底部与所述主轴连接，连接轴与主轴内均设置有抽气通道，真空吸盘上开设有通气口，通气口与抽气通道连通，...

本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机，包括机体，机体内部靠近上端三分之二处开设有通槽，通槽前后内部靠近中心处分别开设有进料口与排料口，且进料口与排料口的槽口下端均分别转动连接有卷膜辊，两组卷膜...

本实用新型涉及显影机加热板技术领域，尤其涉及一种可快速调整温度的涂胶显影机用加热板，包括定位板，定位板的一侧固定连接有限位板，限位板的内部插接有定位销，定位板的内部滑动连接有加热盒，加热盒的前表面固定连接有手柄板；本实用新型是通过设置的...

本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体，机体呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽，机体顶端中心处贯穿设置有导料筒，且导料筒底部延伸至横槽内部，机体后端面中心处固定安装有L形固定杆...

本实用新型涉及气泡消除设备技术领域，尤其涉及一种涂胶显影机药液管道的气泡消除机构，包括液体箱，液体箱的两侧均固定连接有回收箱，回收箱的内部底面固定连接有驱动电机，回收箱的内部顶面固定连接有支撑架；本实用新型是通过设置的清理机构和设备机构...

本实用新型公开了一种具有晶圆定位功能的涂胶显影机，包括基座、加工腔以及控制面板，基座的内部开设有加工腔，且基座的内部设置有控制面板，加工腔的内部设置有转动盘，且加工腔的内部设置有涂胶组件与曝光组件，基座的内部位于加工腔下方的位置开设有安...

本实用新型公开了一种轨道式匀胶机，涉及基片旋柱涂胶技术领域，包括箱体，箱体的顶部对称安装有伸缩块，箱体的顶部对称开设有匀胶槽，且位于匀胶槽的顶部通过螺栓对称固定有盒体；本实用新型先通过伸缩块上安装的放料架和重力传感器，使得第二电动推杆推...

本发明涉及半导体技术领域，应用于半导体制造流程中，在硅片进入匀胶机后，通过匀胶机上的喷胶模块将光刻胶喷在硅片上，再将硅片通过上下料装置移到光刻机上进行曝光操作，后移至显影机上进行显影液的喷涂，便于将光刻机光刻出的线路显现出来，具体为一种...

本实用新型属于电子束蒸发台技术领域，具体公开了一种电子束蒸发台，包括壳体和伸缩杆，所述壳体的下方焊接有底座，且底座的下方焊接有支撑块，所述伸缩杆位于底座的内部，且伸缩杆的下方焊接有活动柱，所述壳体的内部开设有卡槽，且卡槽的内部活动连接有...

本实用新型公开了一种匀胶机电机旋转台，包括壳体，所述壳体的内腔横向固定连接有承载板。本实用新型通过设置防滑块和防滑垫，对壳体在工作时起到了防滑稳定的作用，解决了壳体在工作时出现滑动的问题，通过设置通槽，对放置板在工作后起到了方便拿取的作...

本实用新型公开了一种带基片加热的匀胶机，包括箱体，所述箱体的内腔横向固定连接有隔板，所述箱体内腔底部的左侧固定连接有安装板。本实用新型通过设置机械密封件，固定轴在使用时起到了密封及固定效果好的作用，通过设置安装板，对步进电机在使用时起到...

本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，具体公开了一种匀胶显影机温湿度调节系统，包括基座和固定架，所述基座的上方固定连接有匀胶室，且匀胶室的内部下端左右两侧固定连接有立杆，所述立杆的上方固定连接有支撑板，且立杆的左侧设置有湿度传感器。该匀胶显...