一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机制造技术

本实用新型专利技术涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机，包括机体，机体内部靠近上端三分之二处开设有通槽，通槽前后内部靠近中心处分别开设有进料口与排料口，且进料口与排料口的槽口下端均分别转动连接有卷膜辊，两组卷膜辊之间共同连接有薄膜，通槽内部位于薄膜下端处设置有置物台；本实用新型专利技术是通过设置置物台及抵压件，能同时对多组晶圆片表面进行覆膜以及确保切割的薄膜大小与晶圆片直径一致，提高覆膜效率，通过设置液压推杆二、齿板，其两者与抵压筒相互配合，不仅辅助加快齿牙切割薄膜的速率，并且减少覆膜与晶圆片表面之间产生气泡，以此提高晶圆片覆膜效果。提高晶圆片覆膜效果。提高晶圆片覆膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机


[0001]本技术涉及涂胶显影机
，具体为一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机。

技术介绍

[0002]涂胶显影机是一种将不同工艺制程的机台整合在一起，半导体设备涂胶显影机主要由载片系统，传送系统和制程系统三部分构成，其主要功能是光刻胶在晶圆片表面的涂覆和显影；而晶圆片是半导体生产中重要的原材料，晶圆片生产为半导体前一般需要将没有电路结构的一面进行打磨切割，使其变薄，因此晶圆片具有电路结构的一面需要覆盖一层保护膜，以防止晶圆片的电路结构被刮擦损坏；
[0003]现有的裁切方式为手持切刀绕晶圆片半径切割晶圆片覆膜，单次只能对单独一组晶圆片覆膜，覆膜效率低，并且该种加工方式易造成薄膜边缘易产生毛边，不是完整的正圆，同时导致晶圆片覆膜与晶圆片不贴合，覆膜时出现气泡的情况，覆膜效果不佳。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于通过设置置物台及抵压件，能同时对多组晶圆片表面进行覆膜以及确保切割的薄膜大小与晶圆片直径一致，提高覆膜效率，通过设置液压推杆二、齿板，其两者与抵压筒相互配合，不仅辅助加快齿牙切割薄膜的速率，并且减少覆膜与晶圆片表面之间产生气泡，以此提高晶圆片覆膜效果。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机，包括机体，机体内部靠近上端三分之二处开设有通槽，通槽前后内部靠近中心处分别开设有进料口与排料口，且进料口与排料口的槽口下端均分别转动连接有卷膜辊，两组卷膜辊之间共同连接有薄膜，通槽内部位于薄膜下端处设置有置物台，且通槽底面位于置物台处内嵌安装有抽风机，抽风机上端处设置有两组通风管，且其两者管口延伸至置物台下端处，通槽内部位于薄膜上端处设置有抵压件；
[0007]其中，置物台前后端延边处均分别插接在通槽前后内壁靠近下端处所开设的插槽内部，置物台上端面靠近两侧处对称开设有圆槽，且圆槽内部中心处设置有顶筒，顶筒高度为圆槽内部高度的三分之二，顶筒中心处开设有通风口，且通风口与通风管相连通；
[0008]抵压件包括电机一，且电机一固定安装在机体上端，电机一下端固定安装有液压推杆一，且液压推杆一下端固定安装有抵压板，且抵压板靠近两端处对称并贯穿设置有抵筒，抵筒与抵压板之间转动连接，且抵筒与圆槽上下对应，抵筒底部二分之一开设有筒槽，且抵筒底面位于筒槽槽口边缘处设置有若干组齿牙。
[0009]进一步的，筒槽的内径与顶筒的直径相吻合，筒槽内部位于中心处固定设置十字结构的塑胶刮板，且塑胶刮板的直径小于筒槽内径，所述塑胶刮板的底面位于筒槽内部，且塑胶刮板高度为筒槽内部高度的二分之一。
[0010]进一步的，抵筒外表面位于抵压板上端处呈圆周状等距离开设有若干组齿槽，左右两组抵筒上的齿槽位于同一平面。
[0011]进一步的，机体前端中心处固定安装有电机二，且电机二后端中心处固定安装有液压推杆二，液压推杆二后端中心处固定安装有齿板。
[0012]进一步的，齿板位于两组顶筒之间靠近后端处，且其与齿槽位于同一平面，齿板宽度与两组顶筒之间的距离相吻合。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术在使用时，通过设置置物台及抵压件，分别将多组晶圆片置于置物台的圆槽中，并利用风力吸附确定晶圆片的位置，再推动至筒槽内部并与抵压件上下对应，薄膜位于晶圆与抵压件之间，再通过启动电机，驱动液压推杆一上下往复运动，当液压推杆一向下时，抵压板及抵筒均向下抵压，直至抵筒底部边缘插接在圆槽内部，晶圆片及顶筒与抵筒上下相对运动，其两者均贯穿至筒槽内部，十字塑胶刮板抵压薄膜贴合至晶圆片上端面，而抵筒下坠时，其底部的齿牙对晶圆片边缘处的薄膜进行切割，而切割的薄膜大小与晶圆片直径一致，该结构能同时对多组晶圆片表面进行覆膜，在提高覆膜效率的同时，又可提高覆膜质量。
[0015]2、本技术在使用时，通过设置液压推杆二、齿板，其两者与抵压筒相互配合，过启动电机二，迫使液压推杆二带动齿板往复运动，当液压推杆二收缩时，齿板向前移动并经过两组抵筒之间，齿板两侧的齿块分别与相邻两组抵筒外部的齿槽啮合，以此迫使两组抵筒同步转动，抵筒转动不仅辅助加快齿牙切割薄膜的速率，并且带动十字塑胶刮板对已经贴合在晶圆片表面的薄膜进行圆周刮动，以减少覆膜与晶圆片表面之间产生气泡，以此提高晶圆片覆膜效果。
附图说明
[0016]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0017]图1为本技术整体结构示意图；
[0018]图2为本技术机体的侧面剖视图；
[0019]图3为本技术机体及内部结构的俯视剖面图；
[0020]图4为本技术抵压板与抵筒结合的剖视图；
[0021]图5为本技术抵筒的底部视图。
[0022]图中：1、机体；2、通槽；3、进料口；4、排料口；5、卷膜辊；6、置物台；60、插槽；61、圆槽；62、顶筒；63、通风口；7、抽风机；8、通风管；9、抵压件；91、电机一；92、液压推杆一；93、抵压板；94、抵筒；941、齿槽；95、筒槽；96、齿牙；97、塑胶刮板；10、电机二；11、液压推杆二；12、齿板。
具体实施方式
[0023]下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]实施例一：
[0025]请参阅图1
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5所示，一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机，包括机体1，机体1内部靠近上端三分之二处开设有通槽2，通槽2前后内部靠近中心处分别开设有进料口3与排料口4，且进料口3与排料口4的槽口下端均分别转动连接有卷膜辊5，两组卷膜辊5之间共同连接有薄膜，通槽2内部位于薄膜下端处设置有置物台6，且通槽2底面位于置物台6处内嵌安装有抽风机7，抽风机7上端处设置有两组通风管8，且其两者管口延伸至置物台6下端处，通槽2内部位于薄膜上端处设置有抵压件9；
[0026]其中，置物台6前后端延边处均分别插接在通槽2前后内壁靠近下端处所开设的插槽60内部，置物台6上端面靠近两侧处对称开设有圆槽61，且圆槽61内部中心处设置有顶筒62，顶筒62高度为圆槽61内部高度的三分之二，顶筒62中心处开设有通风口63，且通风口63与通风管8相连通；抵压件9包括电机一91，且电机一91固定安装在机体1上端，电机一91下端固定安装有液压推杆一92，且液压推杆一92下端固定安装有抵压板93，且抵压板93靠近两端处对称并贯穿设置有抵筒94，抵筒94与抵压板93之间转动连接，且抵筒94与圆槽61上下对应，抵筒94底部二分之一开设有筒槽95，且抵筒94底面位于筒槽95槽口边缘处设置有若干组齿牙本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片表面高效覆膜的全自动涂胶显影机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)内部靠近上端三分之二处开设有通槽(2)，所述通槽(2)前后内部靠近中心处分别开设有进料口(3)与排料口(4)，且进料口(3)与排料口(4)的槽口下端均分别转动连接有卷膜辊(5)，两组所述卷膜辊(5)之间共同连接有薄膜，所述通槽(2)内部位于薄膜下端处设置有置物台(6)，且通槽(2)底面位于置物台(6)处内嵌安装有抽风机(7)，所述抽风机(7)上端处设置有两组通风管(8)，且其两者管口延伸至置物台(6)下端处，所述通槽(2)内部位于薄膜上端处设置有抵压件(9)；其中，所述置物台(6)前后端延边处均分别插接在通槽(2)前后内壁靠近下端处所开设的插槽(60)内部，所述置物台(6)上端面靠近两侧处对称开设有圆槽(61)，且圆槽(61)内部中心处设置有顶筒(62)，所述顶筒(62)高度为圆槽(61)内部高度的三分之二，所述顶筒(62)中心处开设有通风口(63)，且通风口(63)与通风管(8)相连通；所述抵压件(9)包括电机一(91)，且电机一(91)固定安装在机体(1)上端，所述电机一(91)下端固定安装有液压推杆一(92)，且液压推杆一(92)下端固定安装有抵压板(93)，且抵压板(93)靠近两端处对称并贯穿设置有抵筒(94)，所述抵筒(94)与抵压板(93)之间转动连接，且抵筒(94...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军区，董金良，杜国强，
申请(专利权)人：无锡环亚微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：