本实用新型专利技术涉及一种匀胶显影机的晶片转移装置，其包括基座、伺服电机、固定台、转台、转轴、气缸和辅助拿取机构，所述固定台设置在所述基座上，所述转台设置在所述基座上，所述伺服电机设置在基座上，所述气缸设置在所述转台上，所述气缸的活塞杆竖直向上设计，所述辅助拿取机构设置在所述气缸的活塞杆的端部，所述辅助拿取机构包括壳体、驱动电机、联轴器、丝杆、滑轨、滑块和拿取臂，启动驱动电机带动丝杆转动，丝杆转动时，两组滑块在螺母套和丝杆的作用下互相反向移动，从而调节两组拿取臂之间的距离，便于适配不同规格尺寸的的晶片。便于适配不同规格尺寸的的晶片。便于适配不同规格尺寸的的晶片。
【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影机的晶片转移装置
[0001]本技术涉及匀胶显影设备的领域，尤其是涉及一种匀胶显影机的晶片转移装置。
技术介绍
[0002]匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶片背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶片表面的去离子水冲洗等，在对晶片件进行拿取时，一般是通过机械手从晶片盒中把晶片件抽出来，再放置指定位置，但是目前机械手只能进行水平方向的抽取和传递晶片，无法进行多角度拿取晶片。
[0003]目前，专利号为“202222771083.7”，专利名称为“一种匀胶显影机的晶片拿取装置”的中国技术专利公开了包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构，基座上设置有用于控制本装置对晶片进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶片提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶片的进行精准拿取的辅助拿取机构。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为这种设计虽然可以做到从不同角度取料，但是拿取块之间的距离是固定的，不能适配不同尺寸规格的晶片，所以有必要设计一种匀胶显影机的晶片转移装置。
技术实现思路
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种匀胶显影机的晶片转移装置。
[0006]本技术提供的一种匀胶显影机的晶片转移装置采用如下的技术方案：
[0007]一种匀胶显影机的晶片转移装置，包括基座、伺服电机、固定台、转台、转轴、气缸和辅助拿取机构，所述固定台设置在所述基座上，所述转台设置在所述基座上，所述伺服电机设置在基座上，所述气缸设置在所述转台上，所述气缸的活塞杆竖直向上设计，所述辅助拿取机构设置在所述气缸的活塞杆的端部。
[0008]可选的，所述基座内设置有齿轮一和齿轮二，所述齿轮一和齿轮二互相啮合，所述电机的转子与所述齿轮一连接，所述齿轮二与转轴连接，所述固定台上设置有轴承，所述转轴穿过所述轴承，所述转轴的另一端与所述固定台连接。
[0009]可选的，所述气缸活塞杆顶部设置有角钢，所述辅助拿取机构设置在所述角钢上。
[0010]可选的，所述辅助拿取机构包括壳体、驱动电机、联轴器、丝杆、滑轨、滑块和拿取臂，所述壳体与所述角钢连接，所述驱动电机设置在所述壳体内，所述驱动电机的转子通过所述联轴器与所述丝杆的端部连接，所述丝杆的另一端与所述壳体的内壁转动连接，所述滑块内设置有螺母套，所述螺母套设置在所述丝杆上，所述滑块设置有两组，两组所述滑块互相间隔设置，所述滑块与所述滑轨滑动配合。
[0011]可选的，所述拿取臂设置在所述滑块上，所述拿取臂与所述滑块互相垂直设置。
[0012]综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
[0013]1.启动驱动电机带动丝杆转动，丝杆转动时，两组滑块在螺母套和丝杆的作用下
互相反向移动，从而调节两组拿取臂之间的距离，便于适配不同规格尺寸的的晶片；
[0014]2.驱动伺服电机，在齿轮一和齿轮二的作用下，可以使转轴转动，从而实现对辅助拿取机构的转动，通过气缸的活塞杆的伸缩，可以调整辅助拿取机构的高度。
附图说明
[0015]图1是一种匀胶显影机的晶片转移装置的整体结构示意图。
[0016]图2是图1中A部的放大图。
[0017]附图标记说明：1、基座；2、伺服电机；3、固定台；4、转台；5、角钢；6、气缸；7、辅助拿取机构；71、壳体；72、驱动电机；73、联轴器；74、丝杆；75、滑轨；76、滑块；77、拿取臂。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0020]此外，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0021]本技术实施例公开一种匀胶显影机的晶片转移装置。参照图1
‑
2，一种匀胶显影机的晶片转移装置包括基座1、伺服电机2、固定台3、转台4、转轴、气缸6和辅助拿取机构7，固定台3设置在基座1上，转台4设置在基座1上，伺服电机2设置在基座1上，气缸6设置在转台4上，气缸6的活塞杆竖直向上设计，辅助拿取机构7设置在气缸6的活塞杆的端部，基座1内设置有齿轮一和齿轮二，齿轮一和齿轮二互相啮合，电机的转子与齿轮一连接，齿轮二与转轴连接，固定台3上设置有轴承，转轴穿过轴承，转轴的另一端与固定台3连接，气缸6活塞杆顶部设置有角钢5，辅助拿取机构7设置在角钢5上，通过这种设计，驱动伺服电机2，在齿轮一和齿轮二的作用下，可以使转轴转动，从而实现对辅助拿取机构7的转动，通过气缸6的活塞杆的伸缩，可以调整辅助拿取机构7的高度，辅助拿取机构7包括壳体71、驱动电机72、联轴器73、丝杆74、滑轨75、滑块76和拿取臂77，壳体71与角钢5连接，驱动电机72设置在壳体71内，驱动电机72的转子通过联轴器73与丝杆74的端部连接，丝杆74的另一端与壳体71的内壁转动连接，滑块76内设置有螺母套，螺母套设置在丝杆74上，滑块76设置有两组，两组滑块76互相间隔设置，滑块76与滑轨75滑动配合，拿取臂77设置在滑块76上，拿取臂77与滑块76互相垂直设置，通过这种设计，启动驱动电机72带动丝杆74转动，丝杆74转动时，两组滑块76在螺母套和丝杆74的作用下互相反向移动，从而调节两组拿取臂77之间的距离，便于适配不同规格尺寸的的晶片。
[0022]以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：包括基座(1)、伺服电机(2)、固定台(3)、转台(4)、转轴、气缸(6)和辅助拿取机构(7)，所述固定台(3)设置在所述基座(1)上，所述转台(4)设置在所述基座(1)上，所述伺服电机(2)设置在基座(1)上，所述气缸(6)设置在所述转台(4)上，所述气缸(6)的活塞杆竖直向上设计，所述辅助拿取机构(7)设置在所述气缸(6)的活塞杆的端部。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：所述基座(1)内设置有齿轮一和齿轮二，所述齿轮一和齿轮二互相啮合，所述电机的转子与所述齿轮一连接，所述齿轮二与转轴连接，所述固定台(3)上设置有轴承，所述转轴穿过所述轴承，所述转轴的另一端与所述固定台(3)连接。3.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：所述气缸(6)活塞杆顶部设置有角钢(5)，所述辅助拿取机构(...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜国强，董金良，姜永明，张浩，
申请(专利权)人：无锡环亚微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。