一种用于单晶片的旋转涂胶机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于单晶片的旋转涂胶机，其包括机座、涂胶腔、托盘、机盖、旋转机构和加热机构，所述旋转机构包括底板、齿轮箱、电机、套筒、转轴和导电臂，加热机构包括电源和电加热器，在电机的作用下，可以带动转轴转动，转轴带动导电臂上的机盖转动，当机盖转动到一定位置时，正好覆盖涂胶腔，此时机盖底部的电加热装置正好对准托盘上的晶片，启动电源，对电加热装置通电即可对托盘上的晶片进行加热，因此可以在晶片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率。保证了成品率。保证了成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶片的旋转涂胶机


[0001]本技术涉及涂胶机的领域，尤其是涉及一种用于单晶片的旋转涂胶机。

技术介绍

[0002]在晶片上一般都要进行涂胶，涂胶的过程中采用匀胶设备进行离心匀胶，匀胶的作用主要是将光刻胶涂平，利用高速旋转的离心力。匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，然后定型，现有的方法是将匀胶后的晶片拿到加温腔或者加热设备上进行热化处理，使胶层固化定型，但是在取拿晶片的过程中，容易造成涂胶的损坏，十分麻烦。
[0003]针对上述中的相关技术，专利技术人认为有必要设计一种用于单晶片的旋转涂胶机。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种用于单晶片的旋转涂胶机。
[0005]本技术提供的一种用于单晶片的旋转涂胶机采用如下的技术方案：
[0006]一种用于单晶片的旋转涂胶机，包括机座、涂胶腔、托盘、机盖、旋转机构和加热机构，所述涂胶腔设置在所述机座上，所述旋转机构设置在所述机座的一侧，所述机盖设置在所述旋转机构上，所述加热机构包括电源和电加热器，所述电源设置在所述旋转机构上，所述电加热器设置在所述机盖底部中心处，所述电源与所述电加热器电性连接。
[0007]可选的，所述旋转机构包括底板、齿轮箱、电机、套筒、转轴和导电臂，所述底板与所述机座连接，所述齿轮箱设置在所述底板上，所述套筒与电机均设置在所述齿轮箱上，所述转轴与所述套筒转动连接，并且所述转轴穿过所述齿轮箱，所述齿轮箱内设置有两组互相啮合的齿轮，所述电机的转子与其中一组齿轮连接，所述转轴穿过所述齿轮箱的一端连接其中另一组齿轮，所述转轴的顶部连接所述导电臂，所述导电臂远离转轴的一端连接所述机盖。
[0008]可选的，所述机盖底部的靠近外圈处设置有一圈弹性气囊，所述导电臂上设置有微型气泵，所述微型气泵通过一个气管与所述弹性气囊连接，所述气管分别穿过所述导电臂和机盖。
[0009]可选的，所述涂胶腔顶部设置有一圈围板，所述围板的直径比所述机盖外围的直径大0.5
‑
1cm。
[0010]可选的，所述机盖内设置有一圈玻璃层。
[0011]综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
[0012]1.在电机的作用下，可以带动转轴转动，转轴带动导电臂上的机盖转动，当机盖转动到一定位置时，正好覆盖涂胶腔，此时机盖底部的电加热装置正好对准托盘上的晶片，启动电源，对电加热装置通电即可对托盘上的晶片进行加热，因此可以在晶片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率；
[0013]2.设置微型气泵可以对机盖底部的弹性气囊充气，使其鼓胀后紧抵涂胶腔顶部的
围板，起到密封的效果。
附图说明
[0014]图1是一种用于单晶片的旋转涂胶机的示意图。
[0015]图2是一种用于单晶片的旋转涂胶机的俯视图。
[0016]图3是一种用于单晶片的旋转涂胶机的仰视图。
[0017]附图标记说明：1、机座；2、涂胶腔；21、围板；3、托盘；4、机盖；5、旋转机构；51、底板；52、齿轮箱；53、电机；54、套筒；55、转轴；56、导电臂；6、加热机构；61、电源；62、电加热器；7、微型气泵；8、气管；9、弹性气囊；10、玻璃层。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0020]此外，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0021]本技术实施例公开一种用于单晶片的旋转涂胶机。参照图1
‑
3，一种用于单晶片的旋转涂胶机包括机座1、涂胶腔2、托盘3、机盖4、旋转机构5和加热机构6，涂胶腔2设置在机座1上，旋转机构5设置在机座1的一侧，机盖4设置在旋转机构5上，加热机构6包括电源61和电加热器62，电源61设置在旋转机构5上，电加热器62设置在机盖4底部中心处，电源61与电加热器62电性连接，旋转机构5包括底板51、齿轮箱52、电机53、套筒54、转轴55和导电臂56，底板51与机座1连接，齿轮箱52设置在底板51上，套筒54与电机53均设置在齿轮箱52上，转轴55与套筒54转动连接，并且转轴55穿过齿轮箱52，齿轮箱52内设置有两组互相啮合的齿轮，电机53的转子与其中一组齿轮连接，转轴55穿过齿轮箱52的一端连接其中另一组齿轮，转轴55的顶部连接导电臂56，导电臂56远离转轴55的一端连接机盖4，通过这种设计，在电机53的作用下，可以带动转轴55转动，转轴55带动导电臂56上的机盖4转动，当机盖4转动到一定位置时，正好覆盖涂胶腔2，此时机盖4底部的电加热装置正好对准托盘3上的晶片，启动电源61，对电加热装置通电即可对托盘3上的晶片进行加热，因此可以在晶片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率，机盖4底部的靠近外圈处设置有一圈弹性气囊9，导电臂56上设置有微型气泵7，微型气泵7通过一个气管8与弹性气囊9连接，气管8分别穿过导电臂56和机盖4，涂胶腔2顶部设置有一圈围板21，围板21的直径比机盖4外围的直径大0.5
‑
1cm，设置微型气泵7可以对机盖4底部的弹性气囊9充气，使其鼓胀后紧抵涂胶腔2顶部的围板21，起到密封的效果，机盖4内设置有一圈玻璃层10，从而便于观
察涂胶腔2内的胶层情况。
[0022]本技术实施例一种用于单晶片的旋转涂胶机的实施原理为：在电机53的作用下，可以带动转轴55转动，转轴55带动导电臂56上的机盖4转动，当机盖4转动到一定位置时，正好覆盖涂胶腔2，此时机盖4底部的电加热装置正好对准托盘3上的晶片，启动电源61，对电加热装置通电即可对托盘3上的晶片进行加热，因此可以在晶片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率。
[0023]以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶片的旋转涂胶机，其特征在于：包括机座(1)、涂胶腔(2)、托盘(3)、机盖(4)、旋转机构(5)和加热机构(6)，所述涂胶腔(2)设置在所述机座(1)上，所述旋转机构(5)设置在所述机座(1)的一侧，所述机盖(4)设置在所述旋转机构(5)上，所述加热机构(6)包括电源(61)和电加热器(62)，所述电源(61)设置在所述旋转机构(5)上，所述电加热器(62)设置在所述机盖(4)底部中心处，所述电源(61)与所述电加热器(62)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶片的旋转涂胶机，其特征在于：所述旋转机构(5)包括底板(51)、齿轮箱(52)、电机(53)、套筒(54)、转轴(55)和导电臂(56)，所述底板(51)与所述机座(1)连接，所述齿轮箱(52)设置在所述底板(51)上，所述套筒(54)与电机(53)均设置在所述齿轮箱(52)上，所述转轴(55)与所述套筒(54)转动连接，并且所述转轴(55)穿过所述齿轮箱(52)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军区，杜国强，姜永明，张浩，
申请(专利权)人：无锡环亚微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：