下载一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构的技术资料

文档序号:36566542

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本实用新型涉及涂胶显影机技术领域,具体为一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构,包括机体,机体呈凸形机构设置,且其上端二分之一开设有横槽,机体顶端中心处贯穿设置有导料筒,且导料筒底部延伸至横槽内部,机体后端面中心处固定安装有L形固定杆,且...
该专利属于无锡环亚微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡环亚微电子有限公司授权不得商用。

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