本发明专利技术公开了一种晶圆用覆膜装置及其方法，具体涉及晶圆技术领域，其技术方案是：包括底座、支撑架和通孔，所述支撑架安装在底座的上端，所述通孔开设在底座的右端内壁，还包括：用于对晶圆压膜的按压组件，所述按压组件安装在支撑架上；用于对刀片横向调节的定位组件，所述定位组件安装在支撑架的上端；按压组件包括对按压辊轮移动的移动组件，本发明专利技术有益效果是：通过对晶圆上侧设置切膜组件，在切膜刀做圆周运动切割晶圆膜前，对晶圆边缘处采用滚珠进行再次压合，使晶圆膜压紧更方便切割，晶圆膜在切割后立马通过锯齿轮拉扯晶圆膜，使晶圆膜自动快速拉扯到收集盒内进行集中收集，提高取膜的效率和安全性。取膜的效率和安全性。取膜的效率和安全性。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用覆膜装置及其方法
[0001]本专利技术涉及晶圆领域，具体涉及一种晶圆用覆膜装置及其方法。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆切割保护膜主要用做高温环境I作表面处理遮蔽保护，电镀，电泳、超高温烤漆、粉末喷涂及晶片元件端电极使用等，晶圆切割保护膜具有优异的耐高温性，高粘着力、再撕离不残胶性和耐溶剂性等特性。
[0003]现有的晶圆在加工过程中，通常会在晶圆的背面贴附一层薄膜，但是晶圆膜在切割后，剩余的晶圆膜需要不断的手动取下来，存在一定的风险性，同时辊轮对晶圆和晶圆膜压合容易损坏。
[0004]因此，专利技术一种晶圆用覆膜装置及其方法很有必要。
技术实现思路
[0005]为此，本专利技术提供一种晶圆用覆膜装置及其方法，通过对晶圆上侧设置切膜组件，在切膜刀做圆周运动切割晶圆膜前，对晶圆边缘处采用滚珠进行再次压合，使晶圆膜压紧更方便切割，晶圆膜在切割后立马通过锯齿轮拉扯晶圆膜，使晶圆膜自动快速拉扯到收集盒内进行集中收集，提高取膜的效率和安全性；通过采用橡胶的按压辊轮，按压辊轮压合晶圆膜后，再通过按压轮对晶圆边缘处进行再次压合，使晶圆和晶圆膜贴合效果更好，减少气泡进入，以解决晶圆在加工过程中，通常会在晶圆的背面贴附一层薄膜，但是晶圆膜在切割后，剩余的晶圆膜需要不断的手动取下来，存在一定的风险性，同时辊轮对晶圆和晶圆膜压合容易损坏的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆用覆膜装置，包括底座、支撑架和通孔，所述支撑架安装在底座的上端，所述通孔开设在底座的右端内壁，还包括：用于对晶圆压膜的按压组件，所述按压组件安装在支撑架上；用于对刀片横向调节的定位组件，所述定位组件安装在支撑架的上端；按压组件包括对按压辊轮移动的移动组件，所述移动组件安装在按压组件上；用于对晶圆膜切割的切膜组件，所述切膜组件安装在支撑架的上端。
[0007]优选的，所述按压组件包括电机二、导杆一和丝杆一，所述丝杆一转动安装在支撑架下端内侧，所述电机二安装在支撑架的左端，所述电机二输出端连接丝杆一，所述导杆一安装在支撑架下端内侧。
[0008]优选的，所述导杆一外壁滑动安装滑块，所述滑块上端安装电机三，所述电机三输出端安装转杆，所述转杆的侧端安装支撑杆二，所述支撑杆二的下端转动安装有按压轮。
[0009]优选的，所述移动组件包括支撑块二和电机五，所述支撑块二内侧螺纹连接丝杆一，所述支撑块二的上端安装电机五，所述支撑块二和滑块内侧均转动安装有支撑轴，所述
支撑轴内侧安装按压辊轮，所述支撑轴外壁安装有齿轮二，所述电机五输出端连接齿轮一，所述齿轮一下端啮合连接齿轮二。
[0010]优选的，所述定位组件包括电机四、丝杆二和导杆二，所述丝杆二转动安装在支撑架上端内侧，所述导杆二安装在支撑架上端内侧，所述电机四安装在支撑架的左上端，所述电机四输出端连接丝杆二，所述丝杆二上螺纹安装支撑座，所述支撑座滑动连接导杆二，所述支撑座上端安装液压杆。
[0011]优选的，所述切膜组件包括侧板一、支撑盒、侧板二和电机六，所述支撑盒安装在液压杆的输出端，所述支撑盒的右端安装侧板一，所述支撑盒的左端安装侧板二，所述支撑盒的下端安装电机六。
[0012]优选的，所述电机六的输出端安装转盘，所述转盘的下端分别安装有切膜刀和支撑筒体，所述支撑筒体下端转动安装滚珠，所述侧板二上端安装有伸缩杆二，所述伸缩杆二输出端安装裁切刀片。
[0013]优选的，所述侧板一上端安装伸缩杆一，所述伸缩杆一输出端安装压板，所述压板的下端分别安装有支撑块三和压杆，所述支撑块三内侧转动安装锯齿轮，所述支撑块三外侧安装小型电机，所述小型电机输出端连接锯齿轮。
[0014]优选的，所述底座上端转动安装支撑盘，所述支撑盘上端开设有放置槽，所述放置槽侧端开设有凹槽，所述底座下端安装电机一，所述电机一输出端连接支撑盘，所述底座的右下端卡接有收集盒，所述底座的左上端安装有支撑块一，所述支撑块一内侧转动安装支撑杆一，所述支撑杆一外壁套接有晶圆膜。
[0015]还包括一种操作方法，具体操作步骤为：S1、把晶圆放入支撑盘上端的放置槽内，拉扯晶圆膜，使晶圆膜覆盖在晶圆的上侧；S2、电机二带动丝杆一转动，丝杆一转动带动支撑块二向右移动，支撑块二带动按压辊轮向右滚动，对晶圆膜和晶圆进行来回反复压合；S3、然后电机三转动转杆，转杆带动支撑杆二和按压轮移动，使按压轮匹配压在支撑盘上端边缘处，电机一带动支撑盘转动，压轮再对支撑盘上端边缘处进行再次压合，然后移走压轮和按压辊轮；S4、电机四带动丝杆二转动，丝杆二转动带动支撑座向右移动，使支撑座移动到支撑盘的正上方，液压杆向下推动支撑盒，使滚珠和切膜刀压在撑盘上端边缘处，电机六带动转盘转动，使晶圆膜边压边切割；S5、切膜刀切割的同时伸缩杆二向下推动裁切刀片，裁切刀片对晶圆膜进行裁断；S6、当晶圆上端的膜裁切完毕后，伸缩杆一立刻向下推动压板，使锯齿轮接触多余的晶圆膜，小型电机带动锯齿轮转动，锯齿轮转动拉扯多余的晶圆膜，使多余的晶圆膜向右拉扯到通孔上方，然后支撑座继续向右移动，伸缩杆一再次推动压板，使压杆向下按压多余的晶圆膜，把多余的晶圆膜推入收集盒内进行收集。
[0016]本专利技术的有益效果是：通过对晶圆上侧设置切膜组件，在切膜刀做圆周运动切割晶圆膜前，对晶圆边缘处采用滚珠进行再次压合，使晶圆膜压紧更方便切割，晶圆膜在切割后立马通过锯齿轮拉扯晶圆膜，使晶圆膜自动快速拉扯到收集盒内进行集中收集，提高取膜的效率和安全性；
通过采用橡胶的按压辊轮，按压辊轮压合晶圆膜后，再通过按压轮对晶圆边缘处进行再次压合，使晶圆和晶圆膜贴合效果更好，减少气泡进入。
附图说明
[0017]图1为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法的结构图；图2为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中底座的俯视图；图3为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中A区放大图；图4为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中按压轮安装示意图；图5为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中按压辊轮安装示意图；图6为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法的俯视图；图7为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中切膜组件的示意图；图8为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中压板安装的示意图；图9为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中锯齿轮安装的左视图；图10为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中支撑盘的示意图；图11为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中转盘的仰视图；图12为本专利技术提供的一种晶圆用覆膜装置及其方法中滚珠安装示意图。
[0018]图中：底座1、支撑架11、电机一12、支撑盘13、放置槽131、凹槽132、收集盒14、晶圆膜15、支撑杆一16、支撑块一17、通孔18、按压组件2、电机二21、导杆一211、电机三22本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆用覆膜装置，包括底座（1）、支撑架（11）和通孔（18），所述支撑架（11）安装在底座（1）的上端，所述通孔（18）开设在底座（1）的右端内壁，其特征在于，还包括：用于对晶圆压膜的按压组件（2），所述按压组件（2）安装在支撑架（11）上；用于对刀片横向调节的定位组件（3），所述定位组件（3）安装在支撑架（11）的上端；按压组件（2）包括对按压辊轮移动的移动组件（4），所述移动组件（4）安装在按压组件（2）上；用于对晶圆膜切割的切膜组件（5），所述切膜组件（5）安装在支撑架（11）的上端。2.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述按压组件（2）包括电机二（21）、导杆一（211）和丝杆一（25），所述丝杆一（25）转动安装在支撑架（11）下端内侧，所述电机二（21）安装在支撑架（11）的左端，所述电机二（21）输出端连接丝杆一（25），所述导杆一（211）安装在支撑架（11）下端内侧。3.根据权利要求2所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述导杆一（211）外壁滑动安装滑块（23），所述滑块（23）上端安装电机三（22），所述电机三（22）输出端安装转杆（221），所述转杆（221）的侧端安装支撑杆二（222），所述支撑杆二（222）的下端转动安装有按压轮（223）。4.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述移动组件（4）包括支撑块二（41）和电机五（42），所述支撑块二（41）内侧螺纹连接丝杆一（25），所述支撑块二（41）的上端安装电机五（42），所述支撑块二（41）和滑块（23）内侧均转动安装有支撑轴（26），所述支撑轴（26）内侧安装按压辊轮（24），所述支撑轴（26）外壁安装有齿轮二（44），所述电机五（42）输出端连接齿轮一（43），所述齿轮一（43）下端啮合连接齿轮二（44）。5.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述定位组件（3）包括电机四（31）、丝杆二（33）和导杆二（34），所述丝杆二（33）转动安装在支撑架（11）上端内侧，所述导杆二（34）安装在支撑架（11）上端内侧，所述电机四（31）安装在支撑架（11）的左上端，所述电机四（31）输出端连接丝杆二（33），所述丝杆二（33）上螺纹安装支撑座（35），所述支撑座（35）滑动连接导杆二（34），所述支撑座（35）上端安装液压杆（32）。6.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述切膜组件（5）包括侧板一（51）、支撑盒（52）、侧板二（581）和电机六（55），所述支撑盒（52）安装在液压杆（32）的输出端，所述支撑盒（52）的右端安装侧板一（51），所述支撑盒（52）的左端安装侧板二（581），所述支撑盒（52）的下端安装电机六（55）。7.根据权利要求6所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述电机六（55）的输出端安装转盘（56），所述转盘（56）的下端分别安装有切膜刀（57）和支撑筒体（59），所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢亮春，邓攀，张小波，
申请(专利权)人：深圳市新晶路电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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