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本发明公开了一种晶圆用覆膜装置及其方法，具体涉及晶圆技术领域，其技术方案是：包括底座、支撑架和通孔，所述支撑架安装在底座的上端，所述通孔开设在底座的右端内壁，还包括：用于对晶圆压膜的按压组件，所述按压组件安装在支撑架上；用于对刀片横向调节的...
该专利属于深圳市新晶路电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市新晶路电子科技有限公司授权不得商用。

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